Устройство для стробирования электронного пучка

)5 Н 01 Л 372 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВ вориФ(71) Московский институт электронного машиностроения(156) Авторское свидетельство СССР В 911650, кл. Н 01 3 37/26, 1982.Задорф Кратц. Вставная система прерывания электронного пучка для РЭМ, - Приборы для научных исследований, 1985, ЬЬ 4, с.76-81.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРОБИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА(57) Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов, Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной оаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии, Выполнение внутреннего проводника в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль оптической оси прибора, позволяет за счет уменьшения емкости зазора поднять напряженность поля в зазоре и, следова- ц тельно, увеличить чувствительность системы при одинаковом напряжении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклоняющих электродов. 1 ил.,1647698 формула изобретен ия Составитель Е,барышевскийРедактор Т. Юрчикова Техред М.Моргентал Корректор И.Муска Заказ 1650 Тираж 328 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент"г. Ужгород. ул. Гагарина, 101 Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов,Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов.На чертеже представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.Устройство для стробирования электронного пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора, Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен изтонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии,Пример конкретного выполнения устройства для стробирования электронного пучка, При волновом сопротивлении однородной коаксиальной линии передачи, равном 50 Ом, и ускоряющем напряжении до 15 кВ высота торца Ь) внутреннего ленточного проводника 3 равна 10 мм, ширина торца1 мм, внутренний диаметр(0) внешнего трубчатого проводника 2 должен быть равен 11,5 мм, Торцы внутреннего ленточного проводника 3, вставленного во внешний трубчатый проводник 2, располагаются так, чтобы их поперечное сечение было вытянуто вдоль электронно-оптической осиприбора, и образуют межэлектродный зазор.Устройство для стробирования элект 5 ронного пучка работает следующим образом,Электронный пучок 4 проходит междуторцами внутреннего проводника 3, при подаче на которые переменного напряжения10 от блока управления создается электрическое поле между отклоняющими электродами, под действием которого электронныйпучок 4, проходящий через межэлектродный гзазор, смещается и прерывается диафраг 15 мой 1.Выполнение внутреннего проводникаоднородной коаксиальной линии в виде ленты, поперечное сечение которой вытянутовдоль электронно-оптической оси прибора,20 позволяет по сравнению с устройством прототипа за счет уменьшения емкости зазорапри одинаковом напряжении между отклоняющими электродами, одинаковой ширинезазора и одинаковой длине, на которой25 электронный пучок взаимодействует с отклоняющими электродами, повысить напряженность электрического поля в зазоре и,следовательно, увеличить чувствительностьсистемы.30 Устройство для стробирования электронного пучка, содержащее отсекающую 35 диафрагму и однородную коаксиальную линию, подключенную к блоку управления, с внутренним проводником, разделенным поперечным разрывом на отклоняющие электроды, отл ича ющеес я тем,что, сцелью 40 повышения чувствительности устройствапри сохранении его габаритов, внутренний проводник с максимальным и минимальным поперечными размерами ориентирован максимальным размером вдоль оси элект ронного пучка,