G03F — Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей

Номер патента: 439220

Опубликовано: 15.01.1984

Авторы: Боголюбская, Котик, Павленко, Петраков, Пятигорская, Соколов, Фурсов, Фурсова, Чепурнова

МПК: G03F 7/00

Метки: печатной, формы, фототипной

...Фототипных печатных форм.Известен способ изготовления Фототипных печатных форм путем нанесения на подложку двух светочувствительных слоев на основе желатина.Недостатки такого способа - низкая тиражеустойчивость, невысокоекачество изображения при печатина ротационных машинах и необходимость в частом прерывании процессапечати для увлажнения форм, чтоспособствует Нестабильности процесса.Для устранения указанных недостат ков в предлагаемом способе в нижнийслой вводят вещества, увеличивающиевлагосодержание слоя и ограничивающие его набухание во времени.Благодаря этому увеличивается продолжительность печати без повторногоувлажнения, так как верхний слойФормы сохраняет влагу длительноевремя, принимая влагу из нижнегослоя, 25В...

Номер патента: 1068881

Опубликовано: 23.01.1984

Авторы: Бурмистров, Резник, Сеин, Шрамко

МПК: G03F 7/20

Метки: гибких, печатных, плат, экспонирования

...на валу, причем в полость между двойными стенками барабана помещена надувная резиновая оболочка с ниппелем.Надувная резиновая оболочка мо-. жет выполняться.в виде незамкнутого кольца с разъемом. вдоль оси барабана.Кроме того, надувная резиновая оболочка может быть выполнена в виде замкнутогО кольца из автономных секций, разделенных плоскими перемычками, причем каждая секция снабжена,ниппелем.5 О стекла, внутреннего. цилиндра 2 изтакого же материала, торцовогофланца 3, болтов 4 с резиновыми шайбами 5, которыми наружный 1 и внут ренний 2 цилиндры крепятся к торцовому фланцу 3, кольцевой надувнойоболочки б с .радиальными секциямии перемычками и ниппелями 7 - длямалогабаритных печатных плат (фиг.4.),незамкнутой кольцевой надувнойоболочки 8 с...

Номер патента: 1075229

Опубликовано: 23.02.1984

Авторы: Кузьмин, Логинов, Шагисултанова, Яковлев

МПК: G03F 1/00

Метки: маскирующем, проколов, слое, устранения, фотошаблона

...теряют способность растворяться в органических растворителях. Частицы, платины и палладия, распредЕлены в Тх(ОН), являются катализаторами осаждения меди и никеля иэ растворов физических проявителей, что позволяет усиливать первоначальную оптическую плотность покрытий до Р 1 2. Пленка гидроокиси титана используется как адгеэия, обеспечивающая прочное 65 сцепление получаемых покрытий к йо-,верхности базового материала и их износоустойчивость. После операции экспонирования образец обрабатывают, толуолом для удаления необлученного Фотослоя. На заключительной стадии в растворе медного или никелевогофизического проявителя усиливают изображение до требуемой оптической плотности, В качестве источника све,та используют лазер, или ртутно-...

Номер патента: 1078398

Опубликовано: 07.03.1984

Авторы: Вдовин, Ганиев, Сысуев

МПК: G03F 3/00

Метки: изображений, полиграфических, цветокоррекции, электронной

...и синефильтрового сигналов, полусуммесинефильтрового и зеленофильтрового сигналов, а также одной третисуммы краснофильтрового, синефильтрового и зеленофильтрового сигналов.С целью расширения возможностейцветокоррекциицветоделенные откорректированные сигналы, пропорцио.нальные автотипным координатам цвета, получают аддиативным суммированием сигналов, взятых в пропорциях,определяемых величиной элементовобратной матрицы линейного решенияуравнений Нюберга- Нойгебаузра, затемпдлученные сигналы умножают на коэффициенты, определяющие степень изменения цветосодержания ори. гикала, и суммируютНа фиг. 1 изображена блок-схема получения семи сигналов, необходимых для выполнения решения уравне- ний Нюберга-Нойгебауэра, на фиг.2 диаграмма сигнала...

Номер патента: 1078399

Опубликовано: 07.03.1984

Авторы: Басенко, Воронков, Данилович, Корчков, Мартынова, Мирсков, Рахлин

МПК: G03F 7/26

Метки: электронорезист

...ЭЛЛИС). В результате воздействия электронов на полученный таким образом слой в нем формируется скрытое изображение за счет способности предлагаемых материалов полимеризоваться под воздействием электронного облучения.Экспериментально установлено, что наиболее чувствительными к действию облучения являются слои на основе аллил- и винилсилатранов. Изображение проявляют путем вакуумного термического реиспарения, для чего под" ложку с пленкой выдерживают в том ;же вакууме в течение 10-15 минопри 110-140 С. При этом не подвергшиеся воздействию облучения участки чувствительного слоя реиспаряются с поверхности подложки.В результате проведенных экспериментов установлено, что рельеф, полученный на пленках метил- и хлорметилсилатрана является...

Номер патента: 1081618

Опубликовано: 23.03.1984

Авторы: Аргунов, Баршаба, Брейтман, Раков, Хасин

МПК: G03F 7/16

Метки: нанесения, пластины, светочувствительного, слоя, формные, центрифуга

...2для крепления формной пластины 3 с помощью зажимов 4. Ротор 2 соединен с приводом 5.На внутренней поверхности двери 6 установлены устройство 7 сушки и рычаг 8, шарнирно соединенный с регулятором 9 скорости, имеющим регулируемый дроссель 10.Шток 11 регулятора 9 скорости шарнирно соединен с дверью 6.На конце рычага 8 установлено сопло 12 с запирающим плунжером 13.На рычаге 8 неподвижно установлен механизм перемещения запирающего плунжера 13, состоящий из переключателя 14 с пружиной 15 и тяги 16.На внутренней поверхности двери 6 закреплен неподвижный упор 17 и подвижный упор 18, на котором установлен датчик 19 включения цепи питания(не показан) устройства 7 сушки.В цепь питания устройства 7 сушки кроме датчика 19, которым может слу108161...

Номер патента: 1084717

Опубликовано: 07.04.1984

Авторы: Гильманов, Ерихов, Злотопольский, Паутов, Эрлих

МПК: G03F 7/04

Метки: сеткотрафаретного, экрана

...экрана, повышение разрешающей способности и тиражестой З 5 кости.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения сеткотрафаретного экрана, включающему нанесение на сетку водного раствора 4 О пленкообразующего полимера, способного к фотохимическому структуриро-. ванию в присутствии соединения хрома:(У 1), экспонирование и проявление водой, раствор ппенкообразующе го полимера поливают на полиэтилентерефтапатную основу, высушивают, полученный пленочный материал накатывают стороной, противоположной основе, на сетку, предварительно смоченную водным раствором соединения хрома (У 1), сборку высушивают, и полиэтилентерефталатную основу отслаивают.В качестве пленкообразующего по лимера используют композицию с вяз-костью...

Номер патента: 1091109

Опубликовано: 07.05.1984

Автор: Уманский

МПК: G03F 3/00

Метки: качества, телевизионное, фотоформ, цветоделения, цветоделенных, цветокорректирования, цветопробное

...фотоформа 2, которая равномерно освещается осветителем 3. Изображение фотоформы при помощи объектива 4 переменного фокусного расстояния проецируется на плоскость светочувствительной пластины 5 сканируюцего устройства 6 (например, видикона) передаюцей черно-белой телекамеры 7. Изображение считывается телекамерой; электрические видеосигналы преобразуются в цифровую Форму аналого-цифровым преобразователем 8 и заносятся в запоминающее устройство 9. Из запоминающего устройства 9 сигналы передаются в пересчетную матрицу 10, а затем в цифроаналоговые преобразователи 11, которые управляют соответствующими электродами 12 трехлучевого цветного кинескопа 13, на экране которого воспроизводится .цветное изображение соответствующей...

Номер патента: 1091110

Опубликовано: 07.05.1984

Авторы: Аргунов, Баршаба, Зельцер

МПК: G03F 7/00

Метки: копировальная, рама

...установлена с возможностью поворота, а механизм транспортированиярассеивающей пленки выполнен в видедвух частей, каждая из которых 50установлена на соответствующей стороне поворотной рами и содержит дваперемоточных валика, на одном изкоторых закреплен фрикционный диск,причем электродвигатель установлен 55шарнирно и подпружинен в направленииповорота поворотной рамы, а наего валу закреплен фрикционныйдиск, взаимодействующий с Фрикционным диском перемоточного валика 6 рв рабочем положении поворотнойрамы.Кроме того, механизм транспортирования рассеивающей пленки снабженпбдпружиненными перемоточными валиками. Благодаря тому, что реверсивный электродвигатель шарнирно закреплен и подпружинен на остове рамь приводятся в движение оба...

Номер патента: 1094017

Опубликовано: 23.05.1984

Авторы: Белицкая, Белицкий, Вайнер, Емельянова, Ковалишин

МПК: G03F 7/00

Метки: печатных, форм, фотополимерных

...результате испытаний, с подго товленного образца удалось снять 4 матрицы.П р и м е р. 4. Образец готовят аналогично примеру 1, применяя для нанесения на рабочую и боковые поверхности печатающих элементов фотополимерной печатной форйы жидкий полисилоксан указанной формулы, где К- фенил, й 2- метил,=9.Толщина слоя 20 мкм.В результате испытания, с подготовленного образца удалось снять четыре матрицы.П р и м е р 5. Образец готовят аналогично примеру 1, применяя для . нанесения на рабочую и боковые поверхности печатающйх элементов фотополимерной печатной формы жидкий полисилоксан указаннойформулы, где Й 1 - водород, Я 2- фенил, л :4.Толщина слоя 15 мкм.В результате испытаний, с подготовленного образца удалось снять три матрицы.П р и м е р...

Номер патента: 1098529

Опубликовано: 15.06.1984

Авторы: Герхард, Клаус

МПК: G03F 5/00

Метки: воспроизведения, репродукции, штриховых, электронной, элементов

...растрового такта датчик 13 создаеттакже импульс, задающий начало каждой окружной линии. Лва тактовыхимпульса подводятся через линии 14и 15 к умножителю 16, который подготавливает тактовый импульс для вычислительного растрового устройства 17,в котором в соответствии с величинойразложения полутонового изображения2 создаются форма и величина записываемых растровых точек или элементов. Значения развертки проходятсначала от развертывающего органа 8через аналогччно работающее цветовоевычислительное устройство 18, котороепроизводит корректировку цветовыхискажений. Растровое вычислительноеустройство 17 работает дискретно илипо цифровому методу. Поэтому значения, коррегированные по искажениюцвета в вычислительное устройство 18,преобразуются...

Номер патента: 1100604

Опубликовано: 30.06.1984

Авторы: Кизилов, Курмачев, Мартыненко, Рубцов, Цветков, Якименко

МПК: G03F 7/26

Метки: изображения, подложке, формирования

...к фото- шаблону их иэгибают так, что контакт произошел прежде всего по их центральным участкам, по периферии подложки и фотошаблона оставался зазор, не менее Эн, , где И а - неплоскостность пластин фотошаблона и подложки. При дальнейшем прижиме фото- шаблона к подложке и одновременном их изгибе до положения коррекции происходит облегание рабочих поверхностей подложки и фотошаблона, причем координатно сопряженные участки этих поверхностей движутся навстречу друг другу без существенных касательных составляющих. Это уменьшает относительное проскальзывание рабочих поверхностей и повышает качество изображения за счет уменьшения плотности локальных дефектов.На фиг, 1 и 2 для вариантов одно- и разнонаправленного изгиба пластин показаны...

Номер патента: 401243

Опубликовано: 15.07.1984

Авторы: Котик, Павленко, Пятигорская, Соколов

МПК: G03F 7/04

Метки: двухслойный, материал, светочувствительный

...слой, предназначенныйдля изготовления фототипной формы,можно вводить только гидрофильныесоединения, способные образовыватьсетчато-цепочечную структуру в гидратированном состоянии.К таким соединениям принадлежатглинистые минералы, относящиеся кклассу слоисто-ленточных силикатов.К этому классу относится и бентонит, имеющий следующий химическийсостав,7:810 г 56,07А 1 0 15,181,03М 8 О 3,10СаО 3,571 агО 0,70,28Прочие примеси 8,64По предлагаемому способу в нижнийслой вводят от 1 до 37 бентонита, углекислого кальция, каолина или ихсмеси по отношению к весу желатины.П р и м е р. Изготовление формы.Состав раствора для получения. Глиоксаль (1 Е-ныйраствор), мл 15,0Вода, мл 230,0Состав раствора для образованияверхнего...

Номер патента: 402319

Опубликовано: 15.07.1984

Авторы: Котик, Павленко, Соколов

МПК: G03F 7/04

Метки: двухслойный, материал, светочувствительный

...материалам, применяемым для из готовлен ия фототипных печатных форм.. Известен двухслойный светочувствительный материал для фототипной печати, содержащий желатину и соли хрома, равномерно распределенные на обоих слоях. Недостатком такого материала является большое 1 О различие между скоростями испарения влаги с участков верхнего слоя, име. ющих различную степень дубления, что вызывает необходимость проводить общее увлажнение формы раньше, 15 чем это требуется для слабозадубленных участков. Следствием такого увлажнения является избыточное набухание слабозадубленных участков и потеря ими способности воспри нимать краску.С целью выравнивания скорости испарения влаги с задубленных в раз" личной степени участков и предотвращения...

Номер патента: 1103193

Опубликовано: 15.07.1984

Авторы: Баран, Гергиль, Гройсман, Макаровский

МПК: G03F 7/20

Метки: копировальное

...и экранирующей светозащитной шторкой с планетарным механизмом ее перемещения, водило которого закреплено на раме, центральное колесо установлено неподвижно на остове, а выход этого механизма кинематически связан с бесконечной гибкой лентой, связанной с экранирующей шторкой, причем передаточное отношение указанного механизма таково, что при повороте рамы на 180 экранирующей шторке всегда обеспечивается верхнее положение.На фиг, 1 изображена принципиальная схема и редл ага емого устройства; на фи г. 2 - разрез А - А на фиг. 1.Копировальное устройство включает остов 1, на котором жестко закреплены полые полуоси 2. На последних свободно сидит поворотная рама 3, соединенная тягами 4 с панелями-створками 5, на которых смонтированы...

Номер патента: 1117575

Опубликовано: 07.10.1984

Авторы: Безпрозванный, Добрыднев, Добрыднева, Рабинович

МПК: G03F 5/00

Метки: изменением, линиатуры, масштаба, оригиналов, преобразований, процессе, репродукций, связанных

...на оригинале;линиатура на оригинале;порядковый номер растровойлинии на репродукции;линиатура репродукции;масштаб;координаты по направлениямлинии развертки.скобках принимается за целое Ох ПЧ Выражение вЧИСЛО.На чертеже показано взаимное расположе.ние элементов анализируемого изображения ирепродукции.На изображении 1 показано вавиле расположение растровых решеток; оригинала 2 ирепродукции 3; в узлах первой расположеныэлементы 4 оригинала, величина оптическойплотности которых обозначена А, Ь,С, ЭЦодлежат определению оптические плотностиа, 8 с, б элементов 5 растровой решеткирепродукции. Направление развертки показанострелками О и 7Сущность предложенного способа видна напримере определения величины оптическойплотности а одного из...

Номер патента: 1117576

Опубликовано: 07.10.1984

Авторы: Анисимова, Барановский, Дудяк, Яхимович

МПК: G03F 5/00

Метки: печатной, формы, фотополимерной

...- ернзовыщые участки слоя образуют :,-точную арматуру, выполняющую одновремен. :-., рель пробельных элементов и основырафаре гной формыПрименяемый предпочтительно для дискрети з;:.щ:, изобажения гексагонапьньш рас:;р обесф начинает необходимую скважность растровых элементов в зависимости от участка полутоновой шкалы и формирует более прочную арматуру по сравнению с другими типами растров.Интервал относительных площадей растро. ваго диапозитива составляет от 5% в светлых до 70% в темных местах оригинала, по связало с необходимостью получения механически прочной,. щражестойкой сеточной арматуры в тенях оригинала и закопировкои мелких растровых элеМентов вследствие светорассеяния, Применение гексагональной растровой сгр 1 гктуры с...

Номер патента: 1117577

Опубликовано: 07.10.1984

Авторы: Анчихоров, Артюшин, Винокур

МПК: G03F 5/00

Метки: проекционный, растр

...с коэффициентом пре. 77 2ломлекия, равным коэффициенту преломления стеклянных пластин,и нижнюю 1:теклянную пластину растра 4.Свет, прошедший через растр, проецируется на фотоматериал 5. Величина пр)екции диафрагмы по оси О определяется расстоянием межтгу непрозрачными полосами верхней стеклянной пластины растра 2, а по оси О. расстоянием между непрозрачными полосами нижней стеклянной пластины 4, Хотя расстояние между непрозрачными полосами одинако. во и определяется линийтурой растра, их проекции на фотоматериал для пластин 2 и 4 различны. Это связано с тем, что проекция диафрагмы ло оси 0 на фотоматериал 5 ограничивается непрозрачными полосами верх". ней пластины 2, расположенной далыце от фотоматериала 5 на величину зазора 3, чем...

Номер патента: 1123017

Опубликовано: 07.11.1984

Автор: Касяненко

МПК: G03F 9/00

Метки: базовых, выполнения, отверстий, фотошаблонах

...- повышение точности 35изготовления базовых отверстий в фотошаблонах.Поставленная цельдостигается тем, что в устройство для выполнения базовых отверстийв фотошаблонах; содержащее корпус с установ.ленным на нем в опорах скольжения шпинде. 40лем со сверлом, установленным с возможностьювозвратно-поступательного перемещения и свя.занного со шкивом, и механизм подачи сверла,введен узел прижима фотошаблона, шпиндельи сверло выполнены как единое целое, причем 45в центральной его части выполнен сквознойканал с установленным в нем с возможностьювозвратно.поступательного перемещения штокоммеханизм подачи сверла выполнен в виде цент.робежного преобразователя., жестко связанного 50со шкивом и шпинделем, а узел прижима черезпружину связан ео...

Номер патента: 1132801

Опубликовано: 30.12.1984

Автор: Винрих

МПК: G03F 3/08

Метки: блока, записи, калибровки, репродукции, фотомеханической

...должны определяться не все данные коррекции, можно применять запоминающее устройство корректирующих величин незначительной емкости. Кроме того, емкости;запоминающих устройств как измеренных значений, так и корректирующих уменьшаются.На фиг.1 дана линеаризирующая схема, на фиг.2 - то же, пример ис-, 403полнения; на фиг,3 - пример исполнения интерполяционной схемы, на фиг. 4 - пример исполнения линеариэирующей схемы; на фиг.5 - пример исполнения другой интерполяционной схемы, на Фиг.б - другой пример исполнения линеаризирующей схемы.На фиг.1 показан пример исполнения устройства для получения и накопления данных коррекции для линеаризации, в котором данные коррекции перед регистрацией перезаписываются в расположенном в тракте...

Номер патента: 1140090

Опубликовано: 15.02.1985

Авторы: Безпрозванный, Добрыднев, Добрыднева, Рабинович

МПК: G03F 5/00

Метки: масштабирующее

...изменения масштаба 13 содержит транслятор 14, два блока расчетакоординат 15 и 16, триггер 17 и схему разрешения 18, при этом первый входтранслятора соединен с задатчиком12 масштабов, второй вход - с блокомвыбора координат 11 и первыми входами блоков 15 и 16, а выход - с вторыми входами блоков 15 и 16 третий -,Увход первого блока расчета координат15 объединен с выходом схемы синхрони. зации 10 и синхровходом аналогоцифрового преобразователя 8, выходэтого блока 15 соединен с первым входом схемы разрешения 18, третий вход 15второго блока расчета координат 16объединен с вторым выходом схемысинхронизации 10, предназначеннымдля передачи сигнала о начале строки, и одним из входов триггера 17,выход этого блока 16 соединен с другим входом...

Номер патента: 1142807

Опубликовано: 28.02.1985

Авторы: Кашин, Слипченко

МПК: G03F 7/20

Метки: фотокоординатограф

...привод 40набора сменных диафрагм, первый модулятор и блок управления, выполненный с элементами И, ИЛИ, одновибратором и задатчиком с выходами сигналов команд включения первого и второго приводных механизмов и выходомсиГнала команды смены диафрагм, подключенным к приводу набора сменныхдиафрагм, снабжен дополнительным модулятором повышенной мощности, а 50блок управления снабжен элементамизадержки, при этом выход сигнала команды включения первого приводногомеханизма подключен непосредственно кпервым входам первого, второго и третьего элементов И и через первый элемент задержки - к второму входу второго элемента И, выход сигнала ко-807 2 манды включения второго приводного .механизма подключен непосредственнок первым входам...

Номер патента: 1150614

Опубликовано: 15.04.1985

Авторы: Лазаренко, Мервинский, Слывко, Сысюк

МПК: G03F 7/16

Метки: композиция, олигокарбонатметакрилата, олигоэфиракрилата, основе, печатной, подслоя, формы, фотоотверждаемая, фотополимерной

...угол у основания элемента, заплывание узких пробелов). За счет присутствия в подслое двуокиси титана в количестве 20-35 мас.7 максимум спектральной чувствительности основного слоя фотополимерных печатных форм сдвигается в область Ь 9 370- 380 нм, что согласовуется с областью излучения применяемых источников света.Готовят композицию адгезионнопротивоореольного подслоя следующим образом.Двуокись титана в виде порошка с крупностью зерен в пределах 120- 130 мкм растирают с добавлением небольшого количества эпоксидной смолы ЭД(ММ й 390-430) до образования однородной массы.Перхлорвиниловую смолу марки ПВХ-С (ММ = 57000) растворяют в триэтиленгликольдиметакрилате в отношении 1:2 при интенсивном перемешива35 40 Триэ тилен...

Номер патента: 1166049

Опубликовано: 07.07.1985

Авторы: Грибков, Морозов, Морозова

МПК: G03F 7/20, G03F 7/24

Метки: полиграфических, форм, экспонирования

...и экспонируемой пластиной достигается за счет центробежной силы, прижимающей пластину и фотоформу к внутренней поверхности цилиндра, в результате чего необходимость в покровном стекле отпадает.На фиг. 1 представлена схема установки для экспонирования полиграфических Аорм; на фиг 2 - цилиндр в положении установки; на Аиг. 3 - цилиндр в" положении съема форм; на фиг. 4 - разрез А-А на фиг. 2, зажим для крепления пластин на цилиндре.Установка состоит из цилиндра 1, который при помощи своего фланца 2 сопрягается со средством 3 фиксации, которое может быть выполнено в виде ряда свободно вращающихся роликов или в виде кольца подшипника, На другом торце цилиндра 1 имеется полумуфта 4, кинематически связанная с приводной полумуфтой 5,...

Номер патента: 1167572

Опубликовано: 15.07.1985

Авторы: Ганиев, Гуров, Лабзин, Первушин

МПК: G03F 3/06

Метки: фотоформ, цветоделенных, цветокорректированных

...входное окно каждой из которых сопряжено посредством объектива соответствующего дополнительного входного канала с плоскостью оригинала, а также телевизионным проекционным приемником, фазовым инвертором и сумматором, при этом выход одной из телевизионных камер связан через фазовый инвертор с одним из входов сумматора, второй вход которого соединен с выходом другой телевизионной камеры, а выход сумма тора связан с входом телевизионного проекционного приемника.Сущность способа заключается в том, что цветоделенное изображение оригинала, спроецированное на фотослой, совмещается с цветокорректирующим изображением, по- З 5 лученным посредством электронной обработки сформированных двух дополнительных цветоделенных изображений, при этом...

Номер патента: 1185305

Опубликовано: 15.10.1985

Авторы: Потапов, Шевлик, Яцевич

МПК: G03F 5/00

Метки: линейных, линзовых, растворов

...(фиг. 2) равен периоду 1 Р образуемых линз на подложке растра, 15т.е. Е, = 1 р (фиг. 2), причем пробельные участки между линзами непревышают 1 мкм.При травлении в жидкой фазе с маскирующим покрытием наибольшая ско-20рость удаления материала подложкив центральной части полосы; по мере увеличения расстояния от центра кпериферии скорость уменьшается. Врезультате протравленный на глубину 25рельеф имеет цилиндрическое или близкоек цилиндрическо,лу дно с несколькоуменьшенными по сравнению с профилемлинз радиусами. После удаления маскирующего покрытия 2 наибольшая скорость травления - у края полос и самих пробельных участков, Поэтомупри формировании в пленках маскирующего покрытия сквозных полос шириной .,Ь= 0,1- 0,5 периода растра и...

Номер патента: 1196796

Опубликовано: 07.12.1985

Авторы: Валиев, Великов, Душенков, Леонтьева, Махмутов, Прохоров

МПК: G03F 7/26

Метки: изображений, рельефных, формирования

...изображения можно использоватьрезистные пленки, сформированныена подложке 7, В этом случае подложку покрывают слоем резиста (например, центрифугированием) и сушат,Затем готовую резистную пленку, нанесенную .на подложку, селективноэкспонируют мягким рентгеном илиэлектронами и проявляют ВУФ (фиг,2 б),Селективное экспонирование электронами можно осуществлять без шаблона на электронно-лучевых установкахс управляемым лучом,П .р и м е р 1, Полимерный резист ПММА толщиной 1 мм экспонируют через шаблон с размерами окон1 х 1 мкм мягким рентгеновским излучением (Л. = 0,8 - 3,0 нм). Данныйспектральный диапазон выделяют изспектра синхронного излучения алюминиевым фильтром толщиной 1,1 мкм,Доза экспонирования Д = 15 Дж/смф.Затем скрытое...

Номер патента: 1203474

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Гладка, Дмитришак, Ференц

МПК: G03F 3/06

Метки: маскирования, негативов, цветоделенных

...и го;убой красок оОрр(сировзц.1 цо хроматическим и ахроматически., цветам.и ри использовании и:ображеция цветноймаски для маскироваця цуменьценио хо- М с 1 Т И с С С К И Х КРаСОК В 11 Е ИР с 1. 1 Ь 1 1 Ц - С (. Р Ь Х У Ч а С Т - л ках изображеция опадает цеооходимость в т изготовлении сцециальной д(цгс лнительной ц- маски, в результате снижается расход фото( материалов и цовьпц ается 1 роизводительт- И)сть труда цри изготцвлсчии цветоделенз- цых фотоформ. Формула изобретения 1Изобретение относится к фоторецродук ционным процессам, в частности к способа маскирования цветоделенных растровы негативов, изготовляемых методом прямо растрирования.Целью настоящего изобретения являегс снижение расхода фотоматериалов и сокра шение процесса...

Номер патента: 1145847

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Аристов, Бабин, Ерко

МПК: G03F 7/26, H01L 21/312

Метки: коррекции, литографии, экспозиции, электронно-лучевой

...и недоста точной точностью. Целью изобретения является увеличение точности и упрощение процесса.45 Цель достигается тем, что в известном способе коррекции экспозиции при электронно-лучевой литографии, включающем нанесение ревиста на подложку, экспонирование тестовой струк туры, проявление резиста,и определение доз экспонирования, экспонирование проводят с линейно нарастающей дозой до получения теса.овой структу.ры прямоугольной формы, после чего 55 экспонируют по прямоугольной структуре прямую линию с размером не более 0,1 мкм и с постоянной дозой,Недостатком этого метода является невысокая точность. 1 ос кольку в р езисте происходит сложение формы, то для экспонирования линии и клина экспозиции, образуемого при экспонировании тестовой...

Номер патента: 1205119

Опубликовано: 15.01.1986

Авторы: Зайцев, Копылова, Шилов

МПК: G03F 9/00

Метки: картографии, перфоратор

...головка (фиг. 3)состоит из матрицы 8, стержневогопуансона 9 со штампом и установочнымвинтом, пружины 10 принудительногоподъема пуансоНа и пружинного Фиксатора 11. Пружинный фиксатор (Фиг,4)предназначен для прочного удержанияперфорируемого материала в периодпробивки отверстий,При опускании головку фиксатораповорачивают влево или вправо, а приподъеме ее устанавливают поперек паза.Для принудительного подъема стержневых пуансонов, установленных наклапанной стороне, при пробивке отверстий на оригиналах и алюминиевыхили стальных формах пластинах предусмотрено дополнительное приспособление в виде кронштейна-крючка. Вседевять перфорирующих головок имеютприспособления для их отключения,Для точного равнения любого перфорирующего...