Курмачев

Номер патента: 1501756

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Бунин, Курмачев, Мякиненков, Николенков, Павлова

МПК: G03F 1/00, G03F 7/26

Метки: фотошаблонов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ, включающий нанесение на подложку металлического маскирующего слоя, нанесение слоя электронорезиста на основе полиметилметакрилата, его сушку, экспонирование, проявление, термическое задубливание и селективное травление маскирующего слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет улучшения адгезии электронорезиста к металлическому маскирующему слою, перед травлением проводят обработку подложки в СВЧ-поле с удельной мощностью 0,2 - 0,8 Вт/см2 в течение 10 - 60 с.

Номер патента: 1834868

Опубликовано: 15.08.1993

Авторы: Концевой, Курмачев

МПК: C03C 17/22, G02B 5/18

Метки: декоративное, стекло

...ресурс в производстве или забракованные по несоответствию требованиям, предъявляемым к рабочим шаблонам. Отработанные шаблоны проходят весь цикл фотолитографии с получением по выбору дифракционной решеткис шагом от 2,0 - 3,0 мкм до 10 - 12 мкм. Сформированное декоративное стекло отмывают, разрезают при необходимости на элементы требуемых размеров, притупляют острые кромки или снимают фаску,При выходе за указанные пределы декоративный эффект ухудшается, причем, если в сторону уменьшения периода, то из-за усложнения условий фотолитографии и появления областей непропечатки дифракционной решетки, а если в сторону увеличения периода, то из-за ослабления разделения цвета дифракционной решеткой, так как бытовые источники освещения (лампы...

Номер патента: 1682715

Опубликовано: 07.10.1991

Авторы: Концевой, Курмачев

МПК: F21V 15/01

Метки: подвес, светильника

...эффекта.На фиг. 1 показан подвес для светильника, общий вид; на фиг. 2 - 4 - фрагменты периодической дифракционной структуры.Подвес для светильника выполнен из прозрачного материала в форме многогранника 1, на одной или нескольких гранях которого выполнена периодическая дифракционная структура 2.Дифракционная структура 1 представляет собой чередующиеся выступы 3 и впаА 2 ь 1682715 А(57) Изобретение относится а именно к бытовым свето Целью изобретения являе декоративного эффекта. П тильника выполнен из проз ала в форме многогранни мере на одной из граней вы дическая дифракционная ст одом от 0,4 до 50 мкм. 4 ил. к светотехнике, вым приборам. тся повышение одвес для сверачного материка. по крайней полнена периоруктура с пери 1 е на гранях...

Номер патента: 1246764

Опубликовано: 15.04.1991

Авторы: Кизилов, Курмачев, Мартыненко, Рубцов, Цветков

МПК: G03F 7/26

Метки: изображения, подложке, формирования, фоторезистором

...высотой и стороной трапеции)Искажения первого вида могут появляться нэ-за иеортогональности перемещений кареток кобрдинатного столафотоповторителя при мультиплицированни иэобрайения, искажения второговида " это температурные деформации ,фотошаблоиа 2 или дифракционных ре-,шеток датчиков перемещений стола фотоповторителя.,Величины углов д и ф, характе"риэующие соответственно неортогонапькость и трапециевидность рисунка 1,могут составлять +(1,3 1,7) 10, рад,что на расстоянии ЗО мм от центрафотошаблона 2 вызывает смещения элементов относительно номинально 1 о положения +(0,4,.0,6) мкмП р и м е р. После выявления искажений с помощью компаратора прямоугольный фотошаблон 2 прижимают кподложке 3, (фнг.З, 4) и совместноизгибавт до...

Номер патента: 1311966

Опубликовано: 23.05.1987

Авторы: Авербух, Артюшенков, Веденин, Горяев, Курмачев

МПК: B60P 7/10

Метки: грузов, крепления, кузове, средства, транспортного, цилиндрических

...8 в пазах 13 с возможностью вращательного перемещения, а к направляющим 1 О - посредством телескопического шарнира 14. Основание 9 смонтирован на боковинах 8 с возможностью вращения вокруг своей оси и поступательного перемещения в пределах пазов 15, К боковинам 8 в средней части жестко прикреплены кронштейны 16 с фиксаторами 17, обеспечивающими возможность фиксации талрепа 4 в плоскости, перпендикулярной плоскости О-образной рамы 3. Основание 9 имеет неподвижно присоединенную к нему П- образную скобу 18, а обжимные элементы- ограничители 19 поворота. Направляющие 10 снабжены по краям жестко присоединенными к ним крючьями 20. Устройство работает следующим образом.Часть рулонов 21 устанавливается при погрузке на торец, а часть рулонов 22 -...

Номер патента: 1100604

Опубликовано: 30.06.1984

Авторы: Кизилов, Курмачев, Мартыненко, Рубцов, Цветков, Якименко

МПК: G03F 7/26

Метки: изображения, подложке, формирования

...к фото- шаблону их иэгибают так, что контакт произошел прежде всего по их центральным участкам, по периферии подложки и фотошаблона оставался зазор, не менее Эн, , где И а - неплоскостность пластин фотошаблона и подложки. При дальнейшем прижиме фото- шаблона к подложке и одновременном их изгибе до положения коррекции происходит облегание рабочих поверхностей подложки и фотошаблона, причем координатно сопряженные участки этих поверхностей движутся навстречу друг другу без существенных касательных составляющих. Это уменьшает относительное проскальзывание рабочих поверхностей и повышает качество изображения за счет уменьшения плотности локальных дефектов.На фиг, 1 и 2 для вариантов одно- и разнонаправленного изгиба пластин показаны...

Номер патента: 139245

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Буткевич, Волчков, Курмачев, Решетников

МПК: B65G 57/09, B65H 45/04

Метки: листов, пакет, укладки

...его по направляющим угольникам 9 и подают на часть 10 стола, В процессе протягивания по направляющим угольникам поворотная часть 11 придает анодному остатку горизонтальное положение, а упоры 7 кронштейнов б удерживают захваты 8 в вертикальном положении, При ходе (холостом) штоков 3 и поперечины 5 в обратном направлении захваты 8. наталкиваясь на отростки а очередного анодного остатка, отклоняются и переваливаются через них, а часть 11 стола поворачивается на 180.Так укладывают необходимое количество остатков в пакет, который затем при помощи крана погружают на катодные вагонетки.Свердловский совнархоз признал изобретение полезным и принял его для внедрения Пышминском медеэлектролитном заводе, Он считает также целесообразным...