Способ изготовления линейных линзовых растворов

/00 ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ПИСА ОБРЕТЕНИ СВИДЕТЕЛЬСТВ ТОРСН 3693172/24-1013. 01. 8415. 10, 85, Бюл. У 38Н.Н.Яцевич, Н.В.Шевлик.Потапов678,029(088.8)Федотов А.И. Технология автоированного нанесения штрихов ив. - Л.; Машиностроение, 19772-210.Валюс Н.А. Растровые оптическиры.-М.; Машиностроение, 1966,7)(5ЗОВЬ но нане оптичес окры- покние тия,фиР 1 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАСТРОВ преимуществеого стекла, включающи подложку маскирующегмирование в маскирующ ытии сквозных полос с периодо растра, травление материала поки через сквозные полосы и удамаскирующего покрытия, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюулучшения оптических характеристикрастра путем исключения пробельныхучастков и повышения качества профиля линз, ширина сквозных полоссоставляет 0,1-0,5 периода растра,а травление проводят в два этапа,причем предварительное травление проводят в жидкой фазе через сквозныеполосы на глубину 2,5-5 высот профилялинз, а после удаления маскирующегопокрытия проводят дополнительноетравление до глубины 1,2-1,5 упомянутой высоты, после чего растр подвергают химической полировке.1185305 РазрешаюРазно- фокусОтноси- тельная Относищая способность,ммтельная глубина предваностьлинзполю ширинасквозных рительного полос в растра, 7. покрытии,, 0,5 105 10 Изобретение относится к оптическому приборостроению и может бытьиспользовано в производстве линзовых растров.Цель изобретения - улучшение опти. 5ческих характеристик растра путемисключения пробельных участков и повышения качества профиля линз,На фиг. 1 изображен исходный рисунок на фотошаблоне; на фиг. 2 - получаемый рельеф на подложке.Период 1, расположения сквозныхполос шириной Ь на подложке 1 фотошаблона (фиг. 2) равен периоду 1 Р образуемых линз на подложке растра, 15т.е. Е, = 1 р (фиг. 2), причем пробельные участки между линзами непревышают 1 мкм.При травлении в жидкой фазе с маскирующим покрытием наибольшая ско-20рость удаления материала подложкив центральной части полосы; по мере увеличения расстояния от центра кпериферии скорость уменьшается. Врезультате протравленный на глубину 25рельеф имеет цилиндрическое или близкоек цилиндрическо,лу дно с несколькоуменьшенными по сравнению с профилемлинз радиусами. После удаления маскирующего покрытия 2 наибольшая скорость травления - у края полос и самих пробельных участков, Поэтомупри формировании в пленках маскирующего покрытия сквозных полос шириной .,Ь= 0,1- 0,5 периода растра и глубиной З 5предварительного травления 2,5-5высот профиля линз удается получитьнужный профиль с высотой линз М ивысокими оптическими характеристиками: разрешающей способностью и стабильным фокусным расстоянием по полю растра,Требуемая глубина предварительного травления и ширина сквозных полос выбираются в указанных пределах в зависимости от периода растра и высоты профиля линз экспериментальным путем.Результаты экспериментальных измерений сведены в табл. 1 и 2. Как видно из табл. 1, разнофокусность линз по полю растра увеличивается до 6-83 на предельных значениях ширины сквозных полос в маскирующем покрытии и глубины предварительного травления. Т а блица.1 Зависимость оптических характе-. ристик линейных линзовых растров от глубины предварительного травления и ширина сквозных полос в маскирующем покрытии3 1185305Продолжение табл. 1 Таблица 2 Зависимость коэффициента светопропускания растров относительно коэффициента светопропускания стекла от наличия операциихимической полировки 1 2 3 4)10д 1 00 6,5 0,5- ,10 с 100 Относитель 7,5 Образец Наличие операции химической поли 0,5 ная величина коэффицис 100 7,5 0,55 1 О ровки(100 1,5 0,5 П р и м е ч а н и е. К - коэффициентсветопропусд 100 1 О 1,5 0,45 ла, из которого изготовлен растр,Составитель Л.Беспрозванныйедактор Л.Пчелинская Техред О.Неце Корректор С.Шекмаро Заказ 6364/4ВН дписно комитета СССР открытий шская наб., д.4/ 130 илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул.Проектная, 4 П р и м е ч а н и е: Ю - глубина пред - ЗОварительного травления подложки через сквозные окна в маскирующем покрытии (на схеме не35показана). Тираж 447 И Государственно делам изобретениМосква, Ж,кания ра"тра;К - коэффициент светопропускания стек