Способ контроля оптических толщин
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 1 н 1 420871ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик-Государственный хамите Совета Министров ССС но долам изобретении и открытий(32) ПриоритетОпубликовано 25,03.74. Бюллетень Лое 11 Дата опубликования описания 23.08.74 3) УДК 531.717(088.8). Баратов, А, М. Горбань, И. А. Коваленко и Ф, В. Черный ина и ордена Трудового Красного Знаме Арсенал им, В. И. Ленина(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИ Изобретение касается способов контроля толщины оптических покрытий в процессе нх изготовления.Известен способ контроля оптических толщиц, заключающийся в том, что световой поток от источника направляют на подложку и по экстремальному значению отраженного оптическим покрытием светового потока судят об измеряемой толщине. Однако точность фиксации экстремумов невысокая, что связано с определением экстремумов на фоне значительной постоянной составляющей светового потока, Это приводит к сдвигу экстремума в сторону длинных волн относительно контрольной длины волны.Предложенный способ отличается от известного тем, что из излучаемого светового потока выделгпот опорный световой поток, н на уровне опорного светового потока определяют экстремальное значение отраженного оптическим покрытием светового потока. Это повышает точность контроля выполнения,На чертеже изображена схема установки для реализации предложенного способа.Источник света 1 (например, монохроматор) излучает световой поток, падающий нормально на подложку 2 (например, стеклянную пластинку) с напыляемым оптическим покрытием 3 (например, МдГ 2). Между источником света 1 и подложкой 2 размен 1 ают два полупрозрачных зеркала 4 н 5 и оптический аттенюатор 6. Ослабление светового потока, проходящего через аттенюатор 6, определяется величиной управляющего воздействия Г. Световой поток нсточцика 1, отраженный от зеркала 4, является опорным световым потоком Ф,. Световой поток Фотр отраженный подложкой 2, оптическим покры гнем 3 н зеркалом 5, является стабилизированным световым потоком. Управляющее воздействие Р оптического аттенюатора 6 является функцией величины разности Фотр - Фоп В исходном состоянии покрытие 3 не напы лецо, отражение от подложки 2 минимальноеи ослабление аттеьноатора 6 минимальное. По мере нанесения покрыпгня 3 увеличивается величина отражения покрытием 3 и разность Фотр - ФстРемитсЯ к Увеличению, т. е. Уве личивается упрагляющее воздействие Р ца аттеьпоатор 6. С увеличением оптического покрытия 3 увеличивается отражение от него, а следовательно, и ослабление аттегноатором 6 све 1 ового потока, падаощего на подложку 2.25 Происходит стаонлизация величины световогопотока Фитр. Фиксацию толщины покрытия 3, при которой отражение становитсямальным, производят фиксацией смены знака управляющего воздействия г, являющегося 30 мерой толщины покрытия.420871 ноаока судят оо измеряемой толщине, отлии и ю щ и й с я тем, что, с целью повышения очноси контроля, из излучаемого светового потока выделяют опорный световой поток, и 5 на уровне опорного светового потока определяют экстремальное значение отракеиного опическим покрытием светового потока. Составитель В. КлимоваТехред А, Камышиикова Корректор Т. Хворова Редактор Т. Шатова Закз 271,7 1 ад. Ло 663Ц 1 И 11 ПИ Государственного комитетапо ислам изобретений иМоска а, МС, Р а ушс к а я Типография, пр. Сапунова, 2 Предмет изооретсння Способ контроля оптических толгцин н нро- цЕССЕ ИЗ ИЗГОтОВЛЕНИя, ЗаКЛ 1 ОЧавгцнйея В тОМ, что световой поток от истовника направляют на подлокку н но экс;рсмальному значсншо ОтраженОГО Оптчсскнм покрыгисм свеОного Тираж 760 ПодписноеСовета йииистров СССРоткрытийнаб., д 4,5
СмотретьЗаявка
1755389, 03.03.1972
О. Г. Баратов, А. М. Горбань, И. А. Коваленко, Ф. В. Черный, Ордена Ленина, ордена Трудового Красного Знамени завод Арсенал В. И. Ленина
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: оптических, толщин
Опубликовано: 25.03.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-420871-sposob-kontrolya-opticheskikh-tolshhin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля оптических толщин</a>
Способ разделения прямого и обратного световых потоков в лазерных доплеровских измерителях скоростей и лазерный доплеровский измеритель скорости потока обратного рассеяния
Номер патента: 1795371
Опубликовано: 15.02.1993
МПК: G01P 3/36
Метки: доплеровский, доплеровских, измеритель, измерителях, лазерный, лазерных, обратного, потока, потоков, прямого, разделения, рассеяния, световых, скоростей, скорости
...используется режим дифракции Брэгга, а в обратном распространении рассеянного излучения используется режим 45 дифракции Рамена-Ната.Для достижения поставленной цели путем использования акустооптического модулятора-расщепителя 4 для пространственного разделения пучков пря мого и рассеянного назад света в известномустройстве приема оптических сигналов лазерного доплеровского анемометра обратного рассеяния, содержащем передающий канал, состоящий из последовательно рас положенных лазера, коллиматора, акустооптического модулятора-расщепителя, коллиматора, первого и второго объективов, и канал формирования изображения измерительной области, содержащий согласующий объектив, диафрагму и фотоприемник,1795371 15 20 25 ЗО 35 фотоприемник...
Устройство для сравнения интенсивностей двух световых потоков
Номер патента: 106302
Опубликовано: 01.01.1957
Авторы: Гнидко, Затворницкий, Мазур, Мединец
МПК: G01J 1/34
Метки: двух, интенсивностей, потоков, световых, сравнения
...в револьверной головке и могут быть попеременно введены в оптическую систему. Изображение делений шкалы 9 проектируется на экран 12 проекционной системой, состоящей из осветительной лампы И, конденсорной систем и 74 и объектива .7 б.Гексапризма 6 изготовляется из тяжелого флинта (ТФ), т. е, из стекла с большим коэффициентом Верде. и служит одновременно сердечником магнитооптического модулятора.В гексапризме 6 модулятора линейно поляризованный свет модулируется по плоскости поляризации с частотой, пропорциональной частоте переменного тока, которым питается соленоид модулятора.Фотоэлемент 11 включен на вход усилителя 16, усиливающего переменную составляющую фототока. На выходе усилителя 76 включена одна из обмоток двухфазного...
Прибор для усиления слабых световых потоков
Номер патента: 115853
Опубликовано: 01.01.1958
Автор: Левин
МПК: H01J 31/50
Метки: потоков, прибор, световых, слабых, усиления
...Ь, ЗСРХ:ПоО 1 ЦЕ,П Д 11- Яф)аг 1 Ь 1И фОКУС 11 РУСТСЯ П 2 0- токатодс 6 э.)сктроппо.оптического преобразователя 6, Пада 1 ощи На фотокатод ) свстОВОЙ поток иСОбраз" ется электро".По-Оптически) преобразователем 6 В более )ьптсп- сивпь 1 Й СВСТОВОЙ поток, лада 0(п 1 ПЯ ЭК)Яи 7 Э;1 С 1(т,)ОНПО ОПТИЧСС 1;)- го преобразователя 6. Усилспныи свстОВОЙ поток, проид 5 чсрсз и)ПзЬ),1;11,ЗУ ( и пртзмм 1 Ц ЙИКС 1- р,сто(ь как показано ПЯ черте;кс пупк","иро.,1, ця фОтокятодс 11 д)угоо электронно-опти:еского прсооразов)тел 1 12, Госледп 11 Й снова у( 1- ГИВЯЕТ ЯРКОСТЬ СВЕТОВОГО ПОТОКЯ переносит его на свой экран 1). ОтсОда усплспць 1 Й свстОВОЙ поток,11 нформацвоссссо.ссОоьем О,7 и. л. ГГодн, к пен. 17;МГГг,11 ратк 182). Цоиа 25 кои Гор, Алатьсрь,...
Способ сепарации световых потоков
Номер патента: 138485
Опубликовано: 01.01.1961
Автор: Фейст
МПК: G02B 27/28, G03B 15/10
Метки: потоков, световых, сепарации
...баланса достигается тем, что перед объективом съемочнои камеры устанавливается двойной растровый поляроидно-цветовой фильтр, а в съемочной камере перед приемниками устанавливают противоположно ориентированные поляроиды-анализаторы.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для сепарации световых потоков по предложенному способу.Фон 1 освещается световым потоком 2, составленньв из света узких спектральных зон (условно обозначенных на схеме нечетными цифрами 1, 3, 5, 7, 9, 11), а актер 3 освещается световым потоком 4, также составленным из света узких спектральных зон, но выбранных между зонами фонового света (условно обозначены на схеме четными цифрами 2, 4, 6, 8, 10). Перед объективом съемочной камеры 5 на некотором...
Устройство для модуляции светового потока газоразрядных источников света
Номер патента: 439945
Опубликовано: 15.08.1974
Авторы: Бахмутский, Собко
МПК: G02F 1/01, H05B 41/40
Метки: газоразрядных, источников, модуляции, потока, света, светового
...7 и 8 реле, вызывает газовый разряд в зазоре между ними, и немодулированный свет выходит наружу, При подаче модулирующего 2сигнала контакты 7 н 8 замыкаются, газовый разряд прекращается и излучение исчезает, Накопительный конденсатор 4 разряжается.При размьпсании контактов конденсатор сно ва заряжается и при определенном напряжении возникает газовый разряд, вызывающий излучение. Таким образом происходит модуляция света с частотой следования импульсов С. Характеристики изменения интен О сивности излучения во времени зависят отвремени замыкания и размыкания контактов, наличия дребезга, величин сопротивлений 2 и 3, емкости конденсатора 4 и мощности источника 1. Вместо активных ограничительных 15 резисторов 2 и 3 могут быть...
Предыдущий патент: Устройство для измерения смещения фокусирующего элемента визирной трубы
Следующий патент: Прибор для комплексного одпопрофильного контроля зубчатых передач
Случайный патент: Способ очистки растворов бихромата натрия