C23C 13/12 — C23C 13/12

Номер патента: 901358

Опубликовано: 30.01.1982

Авторы: Андреев, Киршфельд, Сермулис, Чудинов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, сплавов, электродуговой

...электрод соединен с анодом через стабилитрон источника электропитания.На фиг. 1 схематично представлена конструкция испарителя с линейным протяженным катодом незамкнутой формы; на фиг. 2 - структурная схема испарителя.Электродуговой испаритель состоит из протяженного катода 1 в виде водоохлаждаемой трубы с токоподводом 2, анода 3 (корпус вакуумной камеры), поджигающего электрода 4 и источника 5 электропитания. Поджигающий электрод 4 соединен с анодом 3 через стабилитрон 6. Вблизи токоподвода 2 катода 1 размещен дугогасящий электрод 7. Все элементы испарителя конструктивно закреплены на фланце 8 с вакуумно-плотным вводом 9.Электродуговой испаритель работает следующим образом.После достижения в вакуумной,камере разряжения ниже 1"10...

Номер патента: 907085

Опубликовано: 23.02.1982

Авторы: Аргудяев, Быстрова, Коваленко, Коноводченко, Тесленко

МПК: C23C 13/12

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...изображенопредлагаемое устройство,Устро ство состоит из резистивного испарителя 1 с испаряемым мате907085 3риалом 2, подложкодержателя 3 иускоряющего электрода, соединенногос положительным полюсом источника4 постоянного напужения и выполненного в виде двух полуколец 5 и б,подсоединенных к дополнительномуисточнику 7 переменного напряжения.Испаритель снабжен экраном 8 с отверстием 9, расположенным сооснополукольцам 5 и 6 ускоряющего элект Орода,Устройство для нанесения покрытийработает следующим образом.Посуе достижения разрежейия ниже 10 Па в технологическом объеме,где размещено устройство, осуществляется разогрев резистивного испарителя 1,который является источником паров наносимого материала 2и электронов, Поток пара...

Номер патента: 910842

Опубликовано: 07.03.1982

Авторы: Гранкин, Гудкова, Корчков, Мартынова

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель

...нагрев происходит внизу тигля 1 за счет того, что более плотный шаг(плотная45 намотка) расположен внизу нагревательного элемента 9 втулка 2,дно 3 тигля 1 прогревают практически одно" временно до той же температуры, что и боковые стенки тигля 1, в это же50 время прогревается и испаряемое вещество, контактируемое с ними. Достигнув температуры сублимации, вещество начинает испаряться. Внутри тигля 1 создается давление паров испаряемого вещества, но истечение молекулярного потока через зазор 7 и выходной канал 4 не происходит, так как температура крышки 5 тигля 1 пока еще ниже,чем температура остальных элементов испарителя; за счеттого, что толщина ее больше толщиныдна З,а наиболее интенсивный нагревпроисходит в нижней части тигля 1.Это...

Номер патента: 933802

Опубликовано: 07.06.1982

Авторы: Белоусов, Зайцев, Ключников, Левина, Меламид

МПК: C23C 13/12

Метки: испарителей, проволочного, типа

...покрытия укаэанными растворами необходима для удаления трех окиси сурьмы, образуюцейся на воздухе при высоких температурах, с поверхности покрытия, Перенос сурьмяного покрытия в раствор соединения, растворяющего трехокись сурьмы, непосред ственно после его нагрева до температуры плавления сурьмы сводит к минимуму контакт сильно нагретой сурьмы с кислородом воздуха и к тому же способствует быстрому удалению трехокиси 25 сурьмы с поверхности покрытия, вследствие ее высокой температуры, Предпочтительным для обработки покрытия являются концентрированный раствор, нагретый до 80-100 С. За счет высо- зо кой температуры поверхности навески сурьмы, а также повышенной температуры раствора удаление пленки трехокиси сурьмы проводят за время не...

Номер патента: 950796

Опубликовано: 15.08.1982

Авторы: Васильчикова, Клебанов

МПК: C23C 13/12

Метки: вакууме, испарения, конденсации, материалы, нанесения, покрытий, порошковые, путем

...вид сверху.Установка состоит из вакуумной камеры1, испарителя 2, входного бункера-дозатора 3, ссыпного бункера 4, держателя-перемешива теля порошка 5 с нагревателем и виброприводом 6, причем перемешиватель выполнен в виде круглой гибкой мембраны с бортами по периферии и радиальными перегородками 7, расположенными на ее рабочей поверхности от ссыпного отверстия в центре мембраны до периферийного борта. Ссыпное отверстие закрывается конусной пробкой 8, которая при помощи системы рычагов 9 соединяется с механизмом 10 подъема и опускания проб950796 Формула изобретения ребс Сос ан т т НИИПИ Госу по делам 113035, Москва,Филиал ППП Патетавитель Н. Сехред А. Боиираж 1053дарственногоизобретенийЖ - 35, Раунт, г. Ужго нниковаКорректор...

Номер патента: 510978

Опубликовано: 30.06.1983

Автор: Жданов

МПК: C23C 13/12

Метки: микроскопа, нанесения, объектодержатель, пленок, тонких, электронного

...в канале объектодержателя со стороны, обращенной к объектодержателю.Сущность изобретения поясняетсячертежом,Объект 1 расположен в патроне 2и прижат к поверхности патрона.втулкой объектодержателя 3, в расширенииканала объектодержателя помещенадиафрагма 4, покрытая слоем испаряемого вещества 5 на части поверхности,.обращенной к объекту, Трубка 6 препят-; ЗЧствует перекосу диафрагмы при уста- .новке объектодержателя в прибор.Испаряемое вещество наносят предварительно на несколько диафрагмво вспомогательной вакуумной установ ке или другим путем, например электролитическим осаждением. Одну .издиафрагм устанавливают в канал объектодержателя так, чтобы слой испаряемого вещества находился на стороне, 40обращенной к объекту. Нагрев...

Номер патента: 1030422

Опубликовано: 23.07.1983

Авторы: Загородников, Лихтман, Митин, Синев, Смирнов

МПК: C23C 13/12

Метки: испарения

...в зоне испарения, извысокотеплопроводного материала(например, меди )обеспечивает надежный Отвод излишков теплоты, проникающей в массу стержня от жидкойфазы испаряемого материала, обеспечивая тем самым оптимальные условияудержания расплавленной фазы испаряемого материала, снижения энергозатрат на испарение без каплеобразования.Держатель снабжен каналами 8 и 9для циркуляции охлаждающей воды.Сжатие призм относительно друг друга осуществляется пружинками 10, натяг которых регулируется с помощьювинтов 11 и гаек 12, Стержень взону 13 испарения подается механизмом 14 подачи, Для нагрева и испа рения стержня используется электронная пушка 15 с отклоняющимсялучом 16.Для проведения рабочего процесса испарения стержень 1 устанавли вается в...

Номер патента: 1046344

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Гупалов, Михеев, Стацура

МПК: C23C 13/12

Метки: нанесения, покрытий

...содержащее испарительную камерусоединенную с источником газа, и тигель, расположенный в испарительнойкамере, снабжено крышкой с отверстием в центральной части и перфорированным коллектором, расположенным на крышке вокруг отверстияи соединенным с источником газа.На чертеже изображено устройство о бщи й вид.г Составитель И.Серебрянникова Редактор А.Шандор Техред И,Метелева Корректор О,ТигорЗаказ 7670/27 Тираж 956 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Устройство содержит камеру 1 испарения, графитовый тигель 2, расположенный в корпусе 3 и установлен ный на основании 4, Сверху корпуса установлена крышка 5 с...

Номер патента: 1051134

Опубликовано: 30.10.1983

Авторы: Зеберинь, Колесников, Мармер, Разумов, Силис, Ядин

МПК: C23C 13/12

Метки: испарения

...постоянно таким жечто и в тигле. Это позволяет испольэовать свободно лежашую на тигле теплоизолированную крышку, которая обеспечивает достаточную тепло- изоляцию верхней крышки камеры от тиг О ля и ограничивает проникновение паров металла в камеру. Пары металла, например магния, проникающие через щель между теплоиэолированной крышкой и верхним фланцем, ко нденсируются на внутренней поверхности водоохлаждаемой крышки камеры, откуда конденсат легко удаляется при обслуживании устройства. При загрузке тигля новой порцией металла крышка тигля легко снимается, не требуется частотой смены уплотняющих элементов, что значительно облегчает и упрощает обслуживание устройства, ведет к повышению производительностиНа чертеже изображено...

Номер патента: 1063860

Опубликовано: 30.12.1983

Авторы: Дехтяр, Дубиковский, Силантьев, Сухоручкин

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, нагревом, электронным

...с электронным нагревом,содержащий катод, выполненный в виденити накала и расположенный внутрифокусирующего цилиндра, анод иисточник питания и управления 2 .В известном устройстве в качественити катода служит вольфрамоваяпроволока, применяемая в виде спирали типа "улитка". Анод - плоскийобразец - выполнен из испаряемогоматериала. Между горячим катодом 35и анодом прикладывается постоянноенапряжение. Однако катод долженбыть нагрет до весьма высокой температуры для испускания достаточногоколичества электронов. При этом 40нйть катода довольно часто обрывается из-за перегрева или механических напряжений. Кроме того, нитькатода подвержена обратному напылению с нагреваемого образца и разрушению потоком ионов, что значительноснижает...

Номер патента: 1068542

Опубликовано: 23.01.1984

Авторы: Аркусский, Гербовицкий, Саблев, Слуцкий

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...является неудобство эксплуатации, обусловленное необходимостью регулярного промера профиля расходуемого катода в процессе его работы.Целью изобретения является улучшение условий эксплуатации.Поставленная цель достигается тем, что электродуговой испаритель металлов, содержащий анод; расходуемый катод, выполненный в виде диска с поверхностью испарения и поверхностью охлаждения с цилиндрическим углублением, И блок управления, снабжен электроизолированным проводником, 4 О установленным в углублении, причем проводник соединен с анодом через резистор, выводы которого подключены к блоку управления.На чертеже схематически представ лен электродуговой испаритель металлов. Электродуговой нспаритель содержит водоохлаждаемые анод (не показан) и...

Номер патента: 1092209

Опубликовано: 15.05.1984

Авторы: Груич, Пичко, Тангриберганов, Эстерлис

МПК: C23C 13/12

Метки: легкоплавких, металлов, нанесения, покрытий

...и электрод 14 образ лот короткофокусную линзу, формир глощую сходявийся пучок ионов иепарлемага металла, Изменением разности поте - циалов между анодам 1 к электродом можно управлять кривизной плазменной поверхности в объеме анода и изменять фокусное расстояние образующей линзы, Цилиндрические электроды 14 и 15 в свою очередь образуют длиннафокусную иммерсианную линзу, в которой иаыдополнительно ускоряются да высоких энергкй приложением между ними саответствуошей разности потенциалов ат высоковольтного ксточнкка. Выборам соотношений разностей потенциалов, приложенных между электродами 1, 14 и 15 плязмооптическсй систены можно добиться параллельности пучка ионов и размера плащадк подложки, обрабаты 50 ваемой пучком с равномерной...

Номер патента: 1114707

Опубликовано: 23.09.1984

Авторы: Ашманис, Бай, Зеберинь, Малинина, Хунда

МПК: C23C 13/12

Метки: вакууме, испарения

...имеется зазор9 величиной дПод каналом 7 располагается изложница 10,состоящая из съемной части (лотка) 11, дни.ща 12, в котором в углублении расположензаподлицо с плоскостью днища приемник 13металла из тугоплавкого материала, напримерграфита или нитрида бора. В днище изложницы и стопора имеются каналы 14 охлаждения.,В спивном канале показана металлическаяпробка 15 из застывшего испаряемого металла.Устройство работает следуюшим образом. Тигель 1 загружается испаряемым металлом2, например алюминием или медью. Включается нагреватель 3 (высокочастотный индуктор) и1 загруженный в тигель 1 испаряемый металл 2 плавится. Часть испаряемого металла 2 стекает через канал 7, попадает на стопор 8 и засть 1- вает, так как поверхность стопора 8...

Номер патента: 1118713

Опубликовано: 15.10.1984

Автор: Олеськив

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, многокомпонентных

...в выходном отверстии,Испаритель позволяет получить воспроизводимые пленки сложного состава за счет 25"самоавтоматнзации" процесса выпуска пара,в состав которого входят все компонентыисходного вешества, так как выходное отверстие открывается только при расплавлении наиболее тугоплавкой компоненты,30На чертеже показан предлагаемый испаритель, обший вид.Испаритель состоит из корпуса 1, разделен.ного диафрагмой 2 на емкость 3 для испа.ряемого материала и камеру смешивания 4,на торец которой одета заслонка 5 с выход. 35ным отверстием 6. Для разогрева испарителяджоулевым теплом за счет пропускания токапо корпусу используется токоподводы 7,Выходное отверстие закрывается пробкой 8,выполненной иэ наиболее тугоплавкой компо.венты...

Номер патента: 1125290

Опубликовано: 23.11.1984

Авторы: Глускин, Димант, Егоров, Трушин

МПК: C23C 13/12

Метки: вакуумная, нанесения, покрытий

...приводом планетарного вращения. Фланец 4 снабжен также механизмом 7для поворота вокруг своей оси вращения) и механизмом 8 для возвратно- поступательного перемещения по направляющим 9 вдоль оси камеры. Ие противоположной стороне фланца 4 соосно основному патрубку 3 герметично, установлен дополнительный патрубок 10 с испарителями 11 и подложкодержателями 12, также смонтированными с возможностью их планетарного вращения.Установка для нанесения покрытий работает следующим образом.Фланец с загруженными испарителями 5 и подложкодержателями о с помощью механизма 8 перемещения устанавливается в положение А. После откачки рабочей камеры 1 осуществляется процесс металлиэации изделий, закрепленных в подложкодержателях 6 путем испарения материала...