Сермулис

Номер патента: 901358

Опубликовано: 30.01.1982

Авторы: Андреев, Киршфельд, Сермулис, Чудинов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, сплавов, электродуговой

...электрод соединен с анодом через стабилитрон источника электропитания.На фиг. 1 схематично представлена конструкция испарителя с линейным протяженным катодом незамкнутой формы; на фиг. 2 - структурная схема испарителя.Электродуговой испаритель состоит из протяженного катода 1 в виде водоохлаждаемой трубы с токоподводом 2, анода 3 (корпус вакуумной камеры), поджигающего электрода 4 и источника 5 электропитания. Поджигающий электрод 4 соединен с анодом 3 через стабилитрон 6. Вблизи токоподвода 2 катода 1 размещен дугогасящий электрод 7. Все элементы испарителя конструктивно закреплены на фланце 8 с вакуумно-плотным вводом 9.Электродуговой испаритель работает следующим образом.После достижения в вакуумной,камере разряжения ниже 1"10...