Электродуговой испаритель металлов и сплавов

Союз СоватскнкСоцналнстнческикРеспублик ОттИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 901358(51)М. Кл, С 23 С 13/12 9 аударстванвй квлктет Юьь. Р ае аавл азебветевкЯ и еткрнтиЯ(3) УДК 621.793, .14(088.8) Дата опубликования описания 30.01.82(72) Авторы изобретения 10.Н. Андреев, К.Т. Киршфельд, Х,П. Сермулис- и-Гг ИтЧудийбв 1йс1Специальное конструкторское бюро вакх покрытийпри Госплане Латвийской ССР(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ Изобретение относится к технологии получения, покрытий в вакууме и может быть использовано в различных отраслях техники, например электронной, приборостроительной, вакуумной и др.Известны электродуговые испарители, в которых испарение металлов и сппавов осуществляется катодным пятном вакуумной дуги 111 . Основным недостатком известйых испарителей является малая протяженчность расходуемого катода, что не позволяет наносить покрытия на дли 13 номерные изделия с большой равномерностью.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является электродуговой испаритель металлов и сплавов, содержащий протяженный катод незамкнутой формы с двумя токоподводами, размещенными на его торцах, анод, поджигающий электрод и источник электропитания со стабилитроном.Укаэанная конструкция испарителя позволяет обеспечить регулирование скорости и направления перемещения катодных пятен вакуумной формы дуги вдоль протяженного катоданезамкнутой формы за счет йоочередного переключения полярности источника питания:.с одного токоподводана другой датчиками, фиксируницимиположение микропятен на катоде 121 .Недостатком известного устройства является сложность конструкциии управления и, вследствие этого,низкая надежность работы,Цель изобретения - упрощение кон"струкции и повышение надежностиработы.Укаэанная цель достигаетсяблагодаря тому, что электродуговойиспаритель металлов н сплавов, со-держащий протяженный катод с токоподводом, анод,поджигающий элек901358 3 О 15 20 Формула изобретения трод и источник электропитания со стабилитроном, снабжен дополни-, тельным дугогасящим электродом, раз, мещенным на торце катода, соединенным с токоподводом, а поджигающий электрод установлен на противоположном торце катода, причем поджигающий электрод соединен с анодом через стабилитрон источника электропитания.На фиг. 1 схематично представлена конструкция испарителя с линейным протяженным катодом незамкнутой формы; на фиг. 2 - структурная схема испарителя.Электродуговой испаритель состоит из протяженного катода 1 в виде водоохлаждаемой трубы с токоподводом 2, анода 3 (корпус вакуумной камеры), поджигающего электрода 4 и источника 5 электропитания. Поджигающий электрод 4 соединен с анодом 3 через стабилитрон 6. Вблизи токоподвода 2 катода 1 размещен дугогасящий электрод 7. Все элементы испарителя конструктивно закреплены на фланце 8 с вакуумно-плотным вводом 9.Электродуговой испаритель работает следующим образом.После достижения в вакуумной,камере разряжения ниже 1"10 Па от источника 5 электропитания на рабочие электроды подается напряжение, в результате чего в цепи анод 3 - поджигающий электрод 4 - катод 1 протекает ток, возбуждакщий микропятна на катоде, приводящие к инициированию дугового разряда между расходуемым катодом 1 и анодом 3. При горении дуги ток в цепи поджигающего " электрода не протекает, поскольку напряжение пробоя стабилитрона 6 больше напряжения горения дугового разряда, но меньше напряжения холостого хода источника 5 электропита" иня. При горении дуги вследствие взаимодействия собственного поля дуги с полем токодугового разряда катодные микропятна перемещаются в фсторону токоподвода 2, попадают в зазор, образованный дугогасящим электродом 7 и катодом 1,идуга гаснет. Прн гашении дуги на промежутке анод 3 - катод 1 автоматически устанавливается напряжение, равное напряжению холостого хода источника 5 электропитания, что вызы" вает поджиг дугового разряда на противоположном от дугогасящего электрода конце катода. Испарение материала катода 1 в непрерывном перемещающихся микропятнах продолжается неограниченное время до отключения источника 5 электропитания.Предлагаемая конструкция электро- дугового испарителя металлов и сплавов экспериментально испытана на вакуумных напылительных установках для нанесейия покрытий на пластмассы, металлические иэделия с грунтовым лаковым покрытием и др. и подтверждена высокая надежность работы. Электродуговой испаритель металлов и сплавов, содержащий протяженный катод с токоподводом, анод, поджигающий электрод и источник электропитания со стабилитроном, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы, он снабжен дугогасящим электродом, размещенным на торце катода, соединенным с токо- подводом, а поджигающий электрод установлен на противоположном торце катода, причем поджигающий электрод соединен с анодом через стабилитрон источника электропитания. Источники информации,принятые во внимание прн экспертизе1. Авторское свидетельство СССРВ 341327, кл. С 23 С 13/12, 1969.2. Авторское свидетельство СССРВ 461163, кл, С 23 С 13/08, 197190358 НИИПИ Ти Риг. Заказ 12309/2748 Подписное филиал ППП "Патент",г.Ужгород,ул.Проектная,4