Электродуговой испаритель металлов

СОЮЭ СОВЕТСНИХ ЦИАЛИСТИЧЕСНИХ СПУБЛИН 3 С 13 12 НИЯ О ЕТЕЛЬСТВУ АВТОРСИОМ ГОСУДАРСТВЕННЦЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОЬРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ САНИЕ ИЗОБ(56) 1. Электродуговой сорбционный .высоковакуумный агрегат ВЭД,-Во росы атомной науки итехники. Серн "физика и техника высокого вакуумафф, вып. 1(1), Харьков, 1973, с.21-29.2. Авторское свидетельство СССР 9 408574, кл. С 23 С 13/12, 1971 (прототип) .(54) (57) ЭЛЕКТРОДУГОВОИ ИСПАРИТЕЛЬМЕТАЛЛОВ, содержащий анод, расходуе-мый катод, выполненный в виде дискас поверхностью испарения и поверхностью охлакдения с цилиндрическимуглублением, и блок управления, о тл и ч а ю ц и й с я тем, что, сцелью улучщения условий эксплуатации,он снабжен электроизолированным проводником, установленным в углублении,.причем проводник соединен с анодомчерез резистор, выводы которого подключены к блоку управления.Изобретение относится к технике ,вакуумной металлизацин и может быть использовано при нанесении тонких пленок и покрытий.Известен электродуговой испаритель металлов, в котором контроаь за расходом материала катода основан на пропорциональности между количеством расходуемого металла и током дуги и осуществляется с помощью счетчика количество, энергии 11. 10НедосТатком данного электродугового испарителя является отсутствие автоматической системы контроля, включающей сигнализацию и отключение испарителя после выработки ресурса 15 работы катода испарителя.Наиболее близким к изобретению является электродуговой испаритель металлов, содержащий водоохлаждаемые анод и расходуемый катод, выполненный 2 О в виде диска с поверхностью испарения, обращенной к подложке, и поверхностью охлаждения с цилиндрическим углублением, контактирующей с держателем катода, и блок управления Г 2 . 25Недостатком известного электро-дугового испарителя является неудобство эксплуатации, обусловленное необходимостью регулярного промера профиля расходуемого катода в процессе его работы.Целью изобретения является улучшение условий эксплуатации.Поставленная цель достигается тем, что электродуговой испаритель металлов, содержащий анод; расходуемый катод, выполненный в виде диска с поверхностью испарения и поверхностью охлаждения с цилиндрическим углублением, И блок управления, снабжен электроизолированным проводником, 4 О установленным в углублении, причем проводник соединен с анодом через резистор, выводы которого подключены к блоку управления.На чертеже схематически представ лен электродуговой испаритель металлов. Электродуговой нспаритель содержит водоохлаждаемые анод (не показан) и расходуемый катод .1, выполненный в виде диска с поверхностью 2 испарения, обращенной к подложке, расположенной над ней (не показана) и поверхностью 3 охлаждения. В теле катода 1 со стороны поверхности охлаждения выполнено цилиндрическое углубление 4, в котором размещен электроизолированный проводник 5, со- единенный с анодом,.испарителя черезрезистор б, выводы которого подключены к блоку 7 управления.Электродуговой испаритель работает следующим образом.При зажигании дугового разряда катодные пятна дуги перемещаются по поверхности 2 испарения, эродируяматериал катода. Когда толщина катода станет равной высоте углубления, в катоде образуется сквозное отверстие. Поскольку проводник 5 находится, под потенциалом анода, то при попадании катодного пятна в полученное сквозное отверстие в цепи проводника протекает ток и на резисторе б возникает падение напряжения, которое поступает в блок 7 управления. При этом блок управления выдает световой или звуковой сигнал,о том, что до окончания ресурса работы катода осталось время, необходимое для проведения технологического цикла, а после окончания необходимо провести смену катода.Предлагаемый электродуговой испаритель применен в электродуговом насосе НЭД. Катод имеет диаметр 250 мм, толщину 80 мм. Насос откачи- вает печь отжига с технологическим циклом Та 100 ч, Испаритель насоса работает при среднем токеА. Предлагаемый электродуговой испаритель удобенв эксплуатации, поскольку отпадает необходимость в регу. лярном контроле толщины катода при работе насоса.1068542 ды Составитель С.Мирошанова Техред Т,Маточка нрректор О.Би Редакто М каз 11420 и.сноССР ИИП е д.4 113 лиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул.:Проектная, 4 Тираж 9 И Государстве делам изобре 5, Москва, Е"3, По ного комитета ений и открыт 5, Раушская н