Устройство для испарения

9) 1 С 23 С 131 ИЕ ИЗОБРЕТЕМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ПИС АВТОРС Лихттво СССР1965.репЬчаМццвс. 16 АРЕНАМ,атель,стержДЛЯ ИСПдерж емого ы о СООЭ СОВЕТСКИХС(:)ЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИ(56) 1. Авторское свидетель1 191602, кл. С 23 С 13/12,2.МОегСг-Гр дев Мегдаввй еехйопеп Бегаеп и НоЧ аКццв" Тесйпц, 1963, Р 1( 54 ) ( 57 ) УСРОЙСВОсодержащее охлаждаемыймеханизм подачи испаря зону испарения и источник гии для нагрева и испарения жня, о т л и ч а ю щ е е с я что, с целью повышения скоросспарения, охлаждаемый держатель лнен в виде трубы, на торцах рой расположены призматические мы, расстояние между зажимами о 1-2 диаметрам стержня, призажим, размещенный в зоне исния, имеет толщину, равную в.1/б диаметра стержня и выен из теплопроводного материаа зажим, размещенный со стороеханизма подачи, выполнен из туавкого материала,ня в энер стер тем, ти и выпо кото важи рави чем паре 1/4 полнИзобретение относится к электронной технике и может быть использовано при проектировании устройствдля металлизации изделий.Известно устройство для испарения материалов в вакууме, содержащее электронную пушку, механизм подачи испаряемого материала в зонуиспарения, охлаждаемый тигель и тигель-спутник, который вводится вохлаждаемый тигель 1 3,Недостатком этого устройства является отсутствие механизма удержания жидкой фазы испаряемого материала над изделиями при напылениисверху вниз, так как отвод теплаосуществляется через дополнительное устройство ( тигель-спутник ),создающее тепловое сопротивление.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является уст.ройство для испарения, содержащееохлаждаемый держатель, механизм подачи испаряемого стержня в зону испарения и источник энергии для нагрева и испарения стержня ( 2 ).Недостатком известного устройстваявляется низкая скорость испарения.Цель изобретения - повышениескорости испарения.Поставленная цель достигаетсятем, что в устройстве для испарения, содержащем охлаждаемый держатель, механизм подачи испаряемого стержня в зону испарения и источник энергии для нагрева и испарения стержня, охлаждаемый.держатель выполнен в виде трубы, на торцах которой расположены призматические зажимы, расстояние между которыми равно 1-2 диаметрам стержня, причем зажим, размещенный в зоне испарения, имеет толщинуравную1/4 - 1/б диаметра стержня, и выполнен из теплопроводного материала,а зажим, размещенный со стороны механизма подачи, выполнен из тугоплавкого материала,Выполнение держателя в виде трубы, на торцах которой расположеныдве пары призм, подпружиненных относительно друг друга с регулируемымусилием, обеспечивает удержаниестержня во время процесса испаренияс одновременной его подачей (проталкиванием сквозь держатель ) в зонуиспарения.Выполнение. держателя и зажима, расположенного в зоне испарения, извысокотеплопроводного материала(например, меди )обеспечивает надежный Отвод излишков теплоты, проникающей в массу стержня от жидкойфазы испаряемого материала, обеспечивая тем самым оптимальные условияудержания расплавленной фазы испаряемого материала, снижения энергозатрат на испарение без каплеобразования.Держатель снабжен каналами 8 и 9для циркуляции охлаждающей воды.Сжатие призм относительно друг друга осуществляется пружинками 10, натяг которых регулируется с помощьювинтов 11 и гаек 12, Стержень взону 13 испарения подается механизмом 14 подачи, Для нагрева и испа рения стержня используется электронная пушка 15 с отклоняющимсялучом 16.Для проведения рабочего процесса испарения стержень 1 устанавли вается в держатель. С помощью пружин 10 призмы 4 - 7 сдвигаются, и ихповерхности соприкасаются с поверхностью стержня 1. Поворотомвинта 11устанавливается сила за жатия стержня призмами С помощьюмеханизма 14 подачи стержень подается в зону испарения.Во время рабочего процесса испарения излучаемый электронной,пушкой 15 электронный луч 16 фокусируетсяна нижней торцевой поверхности стерж.ня, образуя зону испарения. Поддействием электронов поверхностьторца стержня разогревается до тем.- пературы кипения испаряемого мате риала. для предотвращения увеличения плавления материала стержня,от него через расположенные в непосредственной близости от зоны испарения каналы 8 и 9 с помощью во 65 ды отводится излишнее тепло. 5 10 15 20 25 30 Выполнение этого зажима толщиной1/4 - 1/б диаметра стержня обеспечивает отвод тепла таким образом,что на нижнем торце стержня образуется жидкий перегретый материал втонком .слое, удерживающемся на поверхности за счет сил сцепления жидкости с твердым телом и сил давленияистекающего пара, а отводимое черезнего тепло обеспечивает уменьшениепереходного слоя от парообразногок жидкому и далее к твердому состоянию без увеличения энергетическихзатрат.Выполнение зажима, размещенного состороны механизма подачи, из материала с низкой теплопроводностью ина расстоянии от другого зажима,равном 1-2 диаметрам стержня, удерживает стержень испаряемого материала в вертикальном положении и предотвращает механизм подачи от поломки.На фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - держатель,поперечный разрез.Устройство содержит стержень 1испаряемого материала, размещенныйтрубчатом держателе, выполненномиз двух частей 2 и 3, на торцахдержателя размещены зажимы, выполненные ввиде двух пар призм, нижних4 и 5 и верхних б и 7,1030422 ствуют удержанию стержня в вертикальном положении. Составитель Н. Серебрянникова едактор О. Половка Техред Т.фанта Корректор С. ШекмПодписное 37/30 Тираж 956 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и от 113035, Москва, Ж, РаушскаяЗака ета СССрытийнаб., д 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 По мере расходования испаряемого материаламеханизм 14 подачи подает стержень в зону испарения стрелка Б ). Отвод тепла, осуществляемый через призмы 4 и 5, позволяет поддерживать расплавленную фазу испаряемого материала очень малых размеров по глубине, Это дает возможность удерживать каплю расплава на торце стержня за счет сил истекающего пара и сил счепления жидкой фазы с твердым материалом Призмы б и 7 способм. Использование предлагаемогоустройства позволяет: увеличить 5 скорость испарения и высокую скорость роста покрытия без увеличения энергозатрат, обеспечить получение покрытия с более высокимифизико-механическими параметрами;1 о.снизить теплоотвод и лакализоватьохлаждение стержня испаряемого материала