Хунда
Устройство для испарения материалов в вакууме
Номер патента: 1114707
Опубликовано: 23.09.1984
Авторы: Ашманис, Бай, Зеберинь, Малинина, Хунда
МПК: C23C 13/12
...имеется зазор9 величиной дПод каналом 7 располагается изложница 10,состоящая из съемной части (лотка) 11, дни.ща 12, в котором в углублении расположензаподлицо с плоскостью днища приемник 13металла из тугоплавкого материала, напримерграфита или нитрида бора. В днище изложницы и стопора имеются каналы 14 охлаждения.,В спивном канале показана металлическаяпробка 15 из застывшего испаряемого металла.Устройство работает следуюшим образом. Тигель 1 загружается испаряемым металлом2, например алюминием или медью. Включается нагреватель 3 (высокочастотный индуктор) и1 загруженный в тигель 1 испаряемый металл 2 плавится. Часть испаряемого металла 2 стекает через канал 7, попадает на стопор 8 и засть 1- вает, так как поверхность стопора 8...