Устройство для нанесения тонких пленок на объектодержатель электронного микроскопа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 510978
Автор: Жданов
Текст
3 госуаю ственный комитет сссРпо делАм изОБРетений и отнРытий ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОБЪЕКТОДЕРЖАТЕЛЬЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащеенагреваемый электронной бомбарщаровкой источник наносимого материала,закрепленронного мнщ е е с яния уровнящения констмого материнанесенногоэакрепленнутеля со сто тодержателю в камере объектов электоскопа, о т л и ч а юем, что, с целью снижеемех от источника и упроукции, источник испаряеала выполнен в виде слоя,на сменную диаФрагму,в канале объектодержаоны, обращенной к объек510978 Редактор О. Юркова ТехредМ.Костик Корректор И. Ватрушкина Заказ 6690/4 Тираж 1106 Подписное ВИИИПИ Государственного комитета СССР по, делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электронной микроскопии, преимущественнок, приборам просвечивающего типа,Известно устройство для нанесениятонких пленок на объектодержательэлектронного микроскопа, содержащеее 5нагреваемый электронной бомбардиров,.кой источник наносимого материала,закрепленный в камере объектов элект-ронного микроскопа.Однако такое устройство отличает Ося сяожностью конструкции и высокимуровнем помех от источника,Цель изобретения - снижение уровня помех от источника и упрощениеконструкции, 15Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве источник испаряе.мого материала выполнен в виде слоя,нанесенного на сменную диафрагму,закрепленную в канале объектодержателя со стороны, обращенной к объектодержателю.Сущность изобретения поясняетсячертежом,Объект 1 расположен в патроне 2и прижат к поверхности патрона.втулкой объектодержателя 3, в расширенииканала объектодержателя помещенадиафрагма 4, покрытая слоем испаряемого вещества 5 на части поверхности,.обращенной к объекту, Трубка 6 препят-; ЗЧствует перекосу диафрагмы при уста- .новке объектодержателя в прибор.Испаряемое вещество наносят предварительно на несколько диафрагмво вспомогательной вакуумной установ ке или другим путем, например электролитическим осаждением. Одну .издиафрагм устанавливают в канал объектодержателя так, чтобы слой испаряемого вещества находился на стороне, 40обращенной к объекту. Нагрев диафрагмы осуществляется электронным лучом мйкроскопа, часть которого проходит через отверстие в диафрагме и создает изображение объекта. Так как диафрагма прижимается к поверхности объектодержателя только за счет собственного веса, отвод тепла от диафрагмы мал. Если между диафрагмой и объектодержателем, находится теплоизолирующий слой, которым может, быть и естественная окисная пленка на поверхности металла, то мощности электронного луча достаточно для нагрева диафрагмы до 3000 С, Температуру нагрева, а значит и скорость напыпения, можно менять потенциометрами регулировки тока луча и тока конденсорной .линзы.Смену диафрагмы после окончания испарения производят одновременно со сменой объекта. Для этого объектодержатель выводят из колонны микроскопа с помощью шлюзового устройства, имеющегося во всех современенных приборах. Промежуток времени между циклами напыления может быть таким путем уменьшен до нескольких минут.Другим преимуществом установки испарителя в виде диафрагмы непосредственно в объектодержатель является уменьшение загрязнения колонны микроскопа испаряемым веществом.Испарение электронным лучом может осуществляться с любой требуемой скоростью, Яркость иэображения, снижающаяся из-за расфокусировки луча, достаточна для наблюдения объекта при увеличении порядка 10 тыс. При напылении пленок на объект не происходит ухудшения .качества изображения или отклонения электронного луча, затрудняющего использование стандартных испарительных приспособлений.
СмотретьЗаявка
1912381, 18.04.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6681
ЖДАНОВ Г. С
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: микроскопа, нанесения, объектодержатель, пленок, тонких, электронного
Опубликовано: 30.06.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-510978-ustrojjstvo-dlya-naneseniya-tonkikh-plenok-na-obektoderzhatel-ehlektronnogo-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для нанесения тонких пленок на объектодержатель электронного микроскопа</a>
Устройство оптического воспроизведения с фокусировкой луча на поверхности носителя
Номер патента: 1137518
Опубликовано: 30.01.1985
Авторы: Бутта, Довгань, Дробот, Сенько, Шрибак
МПК: G11B 7/09
Метки: воспроизведения, луча, носителя, оптического, поверхности, фокусировкой
...между источником света иобъективом, привод перемещения объектива вдоль оптической оси, модулятор отраженного сигнала, фотоприемник, соединенный с формирователем . 55огибающей отраженного сигнала, фазо"вый детектор, выход которого черезусилитель мощности подключен к приводу перемещения объектива, один вход соединен с генератором опорного напряжения, а другой - с выходом формирователя сигнала огибающей отраженного сигнала, модулятор отраженного сигнала выполнен в виде фокусирующей линзы, круглой диафрагмы и зеркала с приводом сканирования, при этом фотоприемник, свето- делитель, фокусирующая линза и зер" кало размещены последовательно на одной прямой, а привод сканирования соединен с выходом генератора опорного напряжения.На фиг,1...
Вращающаяся диафрагма для экранирования вторичных лучей, затуманивающих изображение при рентгеновских снимках
Номер патента: 12165
Опубликовано: 31.12.1929
МПК: A61B 6/06
Метки: вращающаяся, вторичных, диафрагма, затуманивающих, изображение, лучей, рентгеновских, снимках, экранирования
...смещение части 23 на время снимков и тем самым устранить тормозящее действие его на диафрагмовый диск 1, между пла. стинами 18, соответственно обоим конечным положениям, расположены трубки 24, которыми часть 23 может прочно удерживаться в этом положении.В приводном устройстве, изображенном на фиг. 9, для приведения в движение диафрагменного диска служит зубчатая рейка 25, снабжен-, ная выступающей из обоймы 19 рукояткою 20 и подвижная по длине в трубке 26, в которой она помещена. Последняя также подвижна на незначительное расстояние между двумя подшипниками 27, 28 и имеет с обеих сторон по пластинке 29, на каждой из которых вырезается про. рез по кривой 30, По этим кривыморорезам движется своими концами трубка 31, которая укреплена на...
Устройство для активации поверхности полимерной пленки в поле коронного разряда
Номер патента: 581541
Опубликовано: 25.11.1977
Авторы: Значковский, Онатий, Осецкий
МПК: H01T 19/04
Метки: активации, коронного, пленки, поверхности, поле, полимерной, разряда
...11, открывающей нить накала, ноне допускающей вылегания последней: иэканада 10 и образования петель провисанкяцри нагреве нити. Между поверхяостяминити накала, канала 10 и щели 1 1 образуеъся воздушная полость, обеспечивающая нагревовоздуха до 800 С н более и его ионизацив,Подогреваемые электроды повернуты оголенными нитями накал к обрабатываемой поверхности листового материала 12. Электри-ческие нагреватели 3 по существу являютсяивгреватепями счоя воздуха, находящегося вкопьцевом зазоре канала 10 и зазоре щели 11.Теплостойкий каркас и теплоизолирувщийслой позволяют свести до минимума теило 45передачу от нити канала к пленке и в окружающую среду,Для максимального приближения корони- М рувщей, нити накала к обрабатываемой позера кости...
Способ отделения металлической пленки от подложки при изготовлении образцов для электронной микроскопии
Номер патента: 1626115
Опубликовано: 07.02.1991
Авторы: Барташевич, Васьковский, Лепаловский
МПК: G01N 1/28
Метки: изготовлении, металлической, микроскопии, образцов, отделения, пленки, подложки, электронной
...в электронном микроско(е1 мере увеличпия давления и времени выдержки происходит все более полное глезнипленки. При Р, =О" Па и 1=-ЗО миц пленки отделяюгся целиком. Такимбрззм, большие значения указанных пзрдмсрн использовать нецелесообразно.В;(р ьи р вз и не тем пер дтуры водорода показ ы (;с (, (г при Т(Тл 50 в иэе;(ванных ,изп;(.(цх Р,=2 10 О Га и 1=5 60 мин .,(р,к;ерныдх придикнгтелеция илеск це бцдр жи(;стя(1 из рЧстдсх( ныоксчт тцо( о исц сспы.(е(:и 51 цз (оцокристз,(,(ичсских з 0 .рс хи ,(х (,.(т(жкзх получены пленки .рм;(,(,( .,Ь 1 мература подложек и( ции (.(еок сотзвляет 200 или 1,О (.и(дном (т 5(ниц ос(ждец( ,( .(с к,(;( (с(к( вькоЙ .(; сй Г) по(;(ет(яктся т ц длкск дажс при при.+, (:( значительного мехдцицс(,огс цз(ржци (1 (О"...
Способ повышения износостойкости металлокерамических деталей путем нанесения на их поверхность пленки дисульфида молибдена
Номер патента: 125003
Опубликовано: 01.01.1959
Авторы: Альтман, Валакина, Мемелов, Никифоров, Сентюрихина
МПК: C23C 20/06, C23C 24/08
Метки: дисульфида, износостойкости, металлокерамических, молибдена, нанесения, пленки, поверхность, повышения, путем
...СПЕКЗ:1 см и;.При иЗГОтОВ.1 е 11 ии дсталей узс 10 В тре)и 51, нс 1 прмер зкл 2 дь 1:сй, ВтусОк, ск 2 реЙ 11 т. и., методом:1 Орошковой мет 1 лл) рГ;1 и 112 влс)11) Ь 1 ПРЕСС-ФОРМЫ, фОР.ИРУ 10 ШИЕ РЗОО 1 УЮ ПОВЕРКНОСТЬ ИЗДСЛИЯ, ПС;)СД ЗЗСЬП кОЙ пресс-порошка, нанос 51 т слОЙ ч 1 стОГО д;1 сулье 1)ида молОде 12. 1 н)- Всркности пресс-формы должн ь Оь:ть полированными, В п 1)оцсссс прес. соВания дисульфид молиодена, нанссеный н 2 поверкность пресс.формы, и пресс-порошок, Засыпанныи В полость матриць 1, и Ооч 110 сосди И)- ются между сооой, образуя антифрикционный слой на соотзетству:о. шеЙ поверхности изделия, Дальней 1 пая Опср 2 ция спскания уВелич)1 з 1 ст прочность сцепления пленки д.сульфида молибдена с основным матери. алом.,),ТИК...
Предыдущий патент: Плоскодоводочный станок
Следующий патент: Опора для плакирования металлических поверхностей
Случайный патент: Способ квантования и взятия новых значений сигналов