Патенты с меткой «плоскостности»

Номер патента: 1293485

Опубликовано: 28.02.1987

Авторы: Бережинский, Лисица, Лысенко, Нечепоренко, Сергеев, Усенко

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: пластин, плоскостности, полированных, полупроводниковых

...отражением друг друга относительно нормали к эталонной поверхности клина 5, В качестве источника 1 монохроматического могерентного излучения используется лазер. Коплиматор состоит из двух объективов: первый микрообъектив 2 экране 6 визуально наблюдают интер.Ференционную картину сразу от всейконтролируемой поверхности пластины 7, по которой и производится котроль плоскостности пластины 7, 1 ил. фокусирует излучение лазера в точку, которая лежит в фокусе второго коллимирующего объектива 3, Оба обьектива 2 и 3 подобраны так, что их относительные отверстия предельно, близки. Коллимирующий объектив 3 и микрообьектив 2 установлены с возможностью перемещения относительно друг друга вдоль оси светового пучка. Это позволяет точно совместить...

Номер патента: 1364865

Опубликовано: 07.01.1988

Авторы: Аугулис, Пранявичюс, Рагаускас, Ясюленис

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02, H01J 37/30 ...

Метки: отклонений, плоскостности, поверхности, поля, твердого, тела

...ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Производственно- полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения поля отклоненийот плоскостности поверхности твердого5тела и микрогеометрии поверхности,Цель изобретения - возможность измерения поля отклонений от плоскостности в процессе ионно-лучевой обработки эа счет совместного использования приэменного интерферометра ивакуумной камеры,На чертеже изображена оптическаясхема устройства, 15Устройство содержит за выходнымокном лазера 1 последовательно расположенные коллиматор 2, светоделитель3 и держатель 4 образцов, Далее походу...

Номер патента: 1374035

Опубликовано: 15.02.1988

Автор: Смирнов

МПК: G01B 5/28

Метки: отклонения, плит, плоскостности

...на фиг.3 - базо,вая опора; на фиг.4 - отсчетный узел.Устройство для контроля отклонения от плоскостности плит содержит основание 1, на котором закреплены базовые опоры 2,3,4 и отсчетный узел 5 с измерительным стержнем 6. Третья базовая опора 4 расположена таким образом, что прямые, соединяющие опоры 2,3 и 4, образуют равнобедренный треугольник АВС, Опоры 2,3 и 4 выполнены самоустанавливающимися и взаимодействуют с опорными дисками 7 через. вставки 8 из виброгасящего материа-ла. Отсчетный узел 5 установлен на середине прямой, соединяющей опоры 2 и 3, его измерительный стержень 6 также контактирует с опорным диском 7 через вставку 8. Устройство работает следующим образом. Перед началом измерений устройство располагают на образцовой плите...

Номер патента: 1384942

Опубликовано: 30.03.1988

Авторы: Костава, Отаришвили, Поцхишвили

МПК: G01B 11/24

Метки: зеркальной, изделия, плоскостности, поверхности

...изелия 6. При этом каждому отражению соответствует свое автоколлимационное изображение от соответствующего отверстия решетки 2.Измеряют вертикальные отклонения и-х автоколлимационных изображений для первого и второго пучков и по их разности судят о плоскостности.Если угол между вертикалью и зеркальной поверхностью изделия 6 (в случае первого отражения) равен Л, то угол между входным и выходным лучами автоколлиматора 1 при и-м отражении будет равен 2 п(Л+Л, 1), где величина Л 1 обусловле-. на дополнительным наклоном зеркальной поверхности изделия 6 при ее развороте (что имеет место в случае неперпендикулярности поверхности предметного стола 4 к оси 5вращения) . Если участки зеркальной поверхности изделия 6, на которые падают...

Номер патента: 1411560

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Бердинских, Скуратов

МПК: G01B 5/00

Метки: горизонтальности, плоскостности, поверхности

...4, предназначенные для контктирования с измеряемой поверхностью 5 и выполненные с возможностью вертикаль- и го перемещения. На балке установлены д а уровня 6 и 7, один из которых паралгелен оси, соединяющей опору 2 с опорой 4, а другой параллелен оси, соединяющей опор3 и 4. На конце балки на продолжении о ей, соединяющих опоры 2, 3 и 2, 4, уст новлены указатели 8 и 9 для разметки и меряемой поверхности. Угол разметки соо ветствует углу между осями, соединяю- и ими опоры 2, 3 и 2, 4, и составляет 360/п, где и - четное. Измерительный узел представляет собой совокупность датчиков 1 линейных перемещений.Устройство работает следующим образом.В исхоном положении балки снимаютсяоказания уровней 6 и 7 и датчиков 10. По указате.кз 8 аносится...

Номер патента: 1419776

Опубликовано: 30.08.1988

Авторы: Зиновьев, Петухов, Редькин, Шерстобитов

МПК: B21B 38/00

Метки: плоскостности, полосы, прокатке, холодной

...пазы 7, выполненные с торцов каждого выступа 3, образуют криволинейные упругие балки 17, например в виде круговой арки (фиг.З и 4). Соседние ролики 1 жестко связаны один с другим стяжными элементами 18, установленными в отверстиях 19, выполненных в крайних выступах 3,Криволинейные упругие балки 7 в кольце 1 (фиг.2) в поперечном и продольном разрезах могут иметь переменные сечения, конфигурация которых выбирается оптимальной с учетом требуемых чувствительности и радиальной жесткости балок. Расчет конструктивных размеров и упругих перемещений балок 17 производится по расчетным схемам арок.Устройство работает следующим образом.Холоднокатаная полоса 2 вращает при своем движении измерительные ролики 1. Вертикальная составляющая...

Номер патента: 1435929

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Белоконь, Новобранец, Трубачев, Фадеева

МПК: G01B 5/28

Метки: металлических, отклонений, плоскостности

...фиг. 1 изображено устройство. для измерения отклонений от плоскостности, общий вид; на фиг.2 - то же,вид сверху; на фиг. 3 - сечение А-Ана фиг2.Устройство для измерения отклонений от плоскостности содержит установочный элемент 1, выполненный в видезамкнутой гибкой ленты с образцовой 15поверхностью 2, Установочный элемент 1связан с тремя опорами 3 посредствомтрех головок 4 с пазами 5, установленными на опорах 3 с возможностьюповорота вокруг осей, перпендикулярных образцовой поверхности 2. Отсчетный узел 6 с измерительным стержнем7, контактирующим с образцовой поверхностью 2, располагается междуустановочным элементом 1 и проверяемой деталью 8. Основания опор 3 выполнены магнитными.Устройство работает следующим образом.Перед измерением...

Номер патента: 1502957

Опубликовано: 23.08.1989

Авторы: Зонов, Иванова, Капустин, Кокусев, Непочатых

МПК: G01B 5/28

Метки: настольного, основания, отклонения, параллельности, плоскостности, ракетки, тенниса

...относится к измерительной технике.Цель изобретения - повышение точности измерения. 5На фиг. 1 представлена схема устройства реализации способа, общий вид; на фиг. 2 - шаблон дпя разметки точек измерения на ракетке.Устройство содержит основание 1 10 с базовой плоскостью 2, на котором закреплена державка 3 и установлена подвижная стойка 4 с двумя соосно расположенными отсчетными узлами 5. На основании 1 перед измерением ус танавливают также установочную плиту 6 на ножках 7.Способ осуществляют следувицим образом.Основание ракетки 8 располагают 20 на установочной плите 6 и закрепляют в державке 3 так, чтобы нижняя поверхность 9 ракетки 8 была бы параллельна базовой плоскости 2. Раэмечают оптимальные точки контроля ракетки 825 и убирают...

Номер патента: 1565558

Опубликовано: 23.05.1990

Авторы: Железнов, Журавский, Попов

МПК: B21B 38/02

Метки: измеритель, плоскостности, полосы, прокатываемой

...нижними полюсами, которые могут быть выполнены подвижными. В каждый конкретный момент времени обеспирали-геликоиды имеют одну контактную точку а или Ь с касательной плоскостью,параллельной прокатке, Вовремя вращения измерительных роликов4 и 5 эти точки как бы "бегут" - сканируют полосу 2 поперек ее прокатки,.5 15655 при этом линия а-Ъ прохождения маг" нитного потока в участке полосы 2, передвигаясь поперек полосы 2, остается параллельной самой себе что5 обеспечивается синхронностью вращения измерительных роликов 4 и 5 со спиралями-геликоидами 21 от электродвигателя 7 с помощью редуктора 6. Поскольку зазор между обоими верхними полюсами магнитопровода 12 и кольцами 20 спиралей-геликоидов 21 мал и постоянен, а сопротивление...

Номер патента: 1589045

Опубликовано: 30.08.1990

Авторы: Калбазов, Калбазова

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: плоскостности, прозрачных

...источника 1 излучения направляют зеркалом 2 на объектив 3. Пройдя оптический клин 7, излучение попадает на объектив 4 колпиматора, затем на клиновидную пластину 5 и контролируемую деталь 9. Излучение, отражаемое от контролируемой детали 9 и эталонной 25 30 35 40 45 50 оптический клин, отклоняется от он тической оси и совершает круговое движение на экране 6. В результате чего параэитные интерфереиционные картины и участки с неравномерностью освещения, связанные с дифракцией когерентного излучения, на неизбежных загрязнениях оптических элементов, получают круговое перемещение .в плоскости экрана и при вращении клина с частотой более 24 Гц раэепгваются и становятся невидимыми, а исследуемая интерференционная картина остается при этом...

Номер патента: 1627816

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Бобкова, Коган, Фролов

МПК: G01B 5/24

Метки: плоскостности

...йи (7)В 29и щ + ип(8)2На фиг.З представлена схема для определения второй составляющей отклонений от вспомогательной плоскости точек и, ш, Г, 1 с, 1, 2, ,16 платиков 1, 11, 1 Н и 1 Ч которые вычисляются по формулам-"п,(П,П 1,1 Ч) 1- -Д,(П,1 И, О 1 Ч)(12) Ь, (5 9 13) Д,(пп 11 ч) + +Д,.,(П,П 1,1 Ч) -Д,., (П,П 1,1 Ч)- -Ь., (11, Ш, 1 Ч); (1 З) Д (6,10,14) Ь.(11111,1 Ч) + +Д в. (11, 111, 1 Ч)(14) Дз (7,11,15) Д ,(11,111,1 Ч) + +Д. (П,1 П,1 Ч) Ь.(П,П 1,1 Ч) -Д (11,111,1 Ч)-Д(5,9,13) (15) 20 Д " (8,12,16) Д,(11111,1 Ч) + +Д ,(П,111,1 Ч)- -Д.,(11,111,1 Ч)+ +(П,1 П,1 Ч) -Д (6,1 О 4)(16) В формулах (7) - (16) приняты 25 следующие обозначения;4п 1 (11 111 1 Ч) - показания уровня, устанонленного нл мостике с базой 3 на соответствующих пллтиклх...

Номер патента: 1627831

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Ваганов, Дидур, Кожухарь, Панченко

МПК: G01B 11/30

Метки: плоскостности, поверхности

...2, ческую докусруючую систему б, меялл волокоотцессблок йбе 1, получают Аормлцю остцости поверхности детлл зА-л, 1 ил..Ревск праж 383 одписно и ГКНТ СС НИИ 11 И Государ етениям и открыти шская наб., д. 4/ коктета по изо Мос кв я, Ж, Р венцог 113035 но-издательский комбинат "Патент", г. Ужгоро агарина, 10 иэводст Устройство работает следуюпим образом. Нл контролируемую деталь 7 накллдывттстт эталонную волоконно-оптпческукт пллцглйбу 1, на которут подвтжттст ус гл пл лгилают волоконпо-оптический б:сткпл торце которогорлспо:ож ты сотоприемцпки 3. 7 учи отисточнтпсл э светл направляют через оптпчест;ую 1 ос спрующую систему б цллиппю контакта подвижного ттолокоцностп 1 ческо о блока 2 с тотосонто-оппческой пллпшлйбой 1 тлк, ттобывся...

Номер патента: 1631270

Опубликовано: 28.02.1991

Авторы: Полянский, Филоненко

МПК: G01B 21/00

Метки: отклонений, плоскостности, прямолинейности

...1. С помощью светоделителя 11 происходитразбиение излучения на измерительныйи опорные пучки. Анализатор 16 вьделяет линейную поляризационную составляющую излучения опорного пучка, интенсивность которой преобразуется вэлектрический сигнал фотоприемником 17.Элемент 12 осуществляет поворотплоскости поляризации излучения измерительного пучка, причем данный поворот зависит от измеряемого смещенияэлемента 12, Анализатор 13 выделяетлинейную поляризационную составляющуюизлучения измерительного пучка, интенсивность которой преобразуется вэлектрический сигнал фотоприемником14. Поворот плоскости поляризации излучения элементом 12 приводит к фазовому сдвигу вращения вектора поляри"зации в измерительном пучке относительно вращения вектора...

Номер патента: 1647215

Опубликовано: 07.05.1991

Автор: Гусев

МПК: G01B 11/24, G01B 9/021

Метки: интерферограммы, плоскостности, прозрачных

...изображение пердней грани контролируемого обьекта 3плоскости фотопластинки 6.Способ осуществляют следующим обрВ сигнальном канале диффузноянного когерентного излучения из бпропускают через контронтролиробьект 3 и с помощью обьектива 5 напластинке 6 с использованием оппучка, поступающего на нее из блокаписывают одновременно голограммуЗаказ 1645 Тираж 396 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент". г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 сированного изображения передней грани контролируемого объекта 3 и голограмму Фурье его задней грани. Перед записью второй экспозиции с помощью механизма 4 сдвига и поворота осуществляют...

Номер патента: 1657952

Опубликовано: 23.06.1991

Авторы: Максимович, Тиханович

МПК: G01B 15/00

Метки: плоскостности, расстояния, эллипсометрический

...4, делитель 5, волны на две ортого1657952 Фиг.1 нвльно поляризованные составляющие, первый 6 и второй 7 детекторы СВЧ-излучения, измеритель 8 отношений, экстрематор 9 и блок 10 обработки,Способ осуществляется следующим образом.Линейно поляризованные колебания, частота которых плавно изменяется в диапазоне перестройки используемого свипгенератора 1, а азимут составляет 45 с плоскостью падения, направляют через поляризатор 2 на основание диэлектрической призмы 3 под углом, большим критического угла (полного внутреннего отражения), причем боковые грани призмы 3 составляют 90 с направлением распространения волны. После взаимодействия с контролируемым образцом 4 принимают отраженное излучение и измеряют его эллиптичность, для чего с...

Номер патента: 1670356

Опубликовано: 15.08.1991

Авторы: Борд, Соколовский, Соломахо, Цитович

МПК: G01B 5/28

Метки: кольцевых, плоскостности, поверхностей

...друг от друга щупов 5-8 со сферическими наконечниками 9-12, центры которых расположены в одной плоскости А-А на линии в виде спирали 13 Архимеда, механизма 14 осевого отсчетного перемещения обоймы 4 и измерителя 15 линейных перемещений обоймы 4. Устройство содержит также блок 16 обработки измерительной информации и блок 17 отображения информации.Устройство работает следующим образом,Закрепляют контролируемую деталь 18 на столе 2 и с помощью механизма 14 перемещают обойму 4 в направлении контролируемой детали 18. В моменты электрического контакта каждого иэ наконечников 9-12 с деталью 18 измеритель 15 формирует сигнал измерительной информации, который поступает в блок 16. Перемещение обоймы 4 прекращается после замыкания с деталью всех...

Номер патента: 1672213

Опубликовано: 23.08.1991

Авторы: Даубарис, Нарушевичюс, Рагаускас, Шнейдерис

МПК: G01B 21/00

Метки: модификации, пластины, плоскостности, поверхности, процессе, радиационной, твердотельной

...воздействия на контролируемую 30 пластину, столик 10 выполнен с п отверстиями, в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питания, выход которого подключен к входу питания блока 12, вход управления блока 12 подключен к второму выходу 35 блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучения, предназначенного для модификации контролируемой пластины, Преобразователь 5 оптически связан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, 40 что направление сканирования его растра параллельно плоскости, проходящей через направления распространения лучей от объектива 3 и отражателя 4, 45Способ реализуется следующим образом.Источником 14 модифицируется пластина 15. С помощью лазера 1, светоделителя 2, объектива 3 и отражателя 4 в плоскости 50...

Номер патента: 1298529

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Духопел, Логачева, Мартынова, Прохорова, Серегин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, отклонений, переменной, плоскостности, поверхности, чувствительности

...полосы црп соответст вующих углах падения пучка лучей, а также устройство синхронного поворота осветительной и регистрирующей3 1298 систем це показано), кицематцческц связанное с ОРОротцыми Основаниями Зи 5,.Конструктивно особенностью интерферометра является наг нчие двух центров вращения: С для основания 3 осветительной системы и С для ос 2 новация 5 регистрирующей системы, расцоложенцьх симметрично относительно плоскости симметрии призмы 4. 10Центр;С, находится на пересечении перпендикуляра, опущенного иэ середины образцовой грани на входную грань, с продолжением луча осветительной системы, падающего после 15 преломления н призме на середину основания под углом полного внутреннего отражения.Ицтерферометр работает...

Номер патента: 1725072

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Дружинин, Космович, Костогрыз, Мазин, Овсянников, Пенников, Родионов, Шукшина

МПК: G01B 11/30

Метки: пластины, плоскостности, поверхности

...коэффициент отражения, что устраняет дополнительные погрешности измерения, возникающие за счет отражения преломленных лучей от других (неконтролируемых) поверхностей (от поверхностей, находящихся за контролируемой поверхностью). Одновременно с этим возрастает производительность способа контроля плоскостности пластин за счет одноразовой настройки лучей на контролируемую и эталонную поверхности и исключения необходимости перемещения ее в процессе контроля попеременно (или одновременно) в двух направлениях,Кроме того, вертикальная установка контролируемой пластины в процессе контроля устраняет изгибающие деформации в ней, в результате чего отсутствует прогиб пластины во время контроля, а следовательно, и не искажаются результаты...

Номер патента: 1738398

Опубликовано: 07.06.1992

Авторы: Божков, Колпаков, Корнеев, Настич, Ролдугин, Ульяничев

МПК: B21B 37/00, B21B 37/04

Метки: плоскостности, полосы, прокатке, холодной

...значения текущего расхода СОЖ по зонам коллектора. Для ч выходов арифметического блока 4 расчета текущего расхода СОЖ .дующую структуру: 50СЬрасч К) Ь П,где Кф=1 п) - коэффициенты, учитывающие типоразмер полосы, теплоемкость вал- . ков, температуры СОЖ и и рК определятсяпо экспериментальным данным или теоретическим расчетам для данного стана;Ь П 1 - величина отклонения от плоскостности на участке полосы, соответствующем 1-й зоне коллектора. используется йблоков сравнения. В данном случае ограничились шестью выходами блока 4 и соответственно пятью блоками сравнения.Пятый выход арифметического блока 4соединен с первым входом блоками 11 сравнения, а второй выход - с вторым входом блока 11. Выход блока 11 соединен с первым входом блока 12...

Номер патента: 1744452

Опубликовано: 30.06.1992

Авторы: Котляр, Сойфер, Храмов

МПК: G01B 11/24

Метки: интерферометр, отражающих, плоскостности, поверхностей

...интерферограммы без ее видоизменения, что повышает надежность и достоверность измерений величины отклонения исследуемой поверхности от плоскости. Делительный элемент расположен в сходящемся (или расходящемся) световом пучке в области вблизи фокуса первого объектива и поэтому имеет малые размеры, не зависящие от размеров контролируемой поверхности. Предлагаемая оптическая схема с делительным элементом (дифракционной решеткой) является примером поперечно-сдвигового интерферометра, в котором величина изгибов интерференционных полос на интерферограмме пропорциональна не величине отклонения контролируемой поверхности от плоскости (как в интерферометре Физо), а пропорциональна первой производной функции отклонения от плоскости, так как...

Номер патента: 1760312

Опубликовано: 07.09.1992

Авторы: Котляр, Сойфер, Храмов

МПК: G01B 11/24

Метки: интерферометр, отражающих, плоскостности, поверхностей

...двумя исследуемыми волновыми фронтами, смещенными и наклоненными по отношению друг к другу. Поэтому малые случайные смещения и наклоны любых оптических элементов схемы приводят только к малым смещениям интерферограммы и не искажают ее, а это в свою очередь означает повышение надежности и достоверности результатов измерения отклонения поверхности от плоскости, Во-вторых, вместо двух дифракционных решеток в прототипе в поперечносдвиговом интерферометре использована только одна решетка, которая помещена после второго объектива в сходящемся пучке в области фокуса, и поэтому имеет небольшие размеры, независящие от размеров контролируемой поверхности. В-третьих, предложенная оптическая схема с одним делительным элементом позволяет при...

Номер патента: 1772606

Опубликовано: 30.10.1992

Авторы: Андреев, Гусев, Матвеев, Медведева

МПК: G01B 7/28, G01B 7/34

Метки: отклонения, плоскостности

...выполнены дополнительные направляющие отверстия под штифты, аси которых параллельны осям отверстий под микрометрические винты, датчики зазора закреплены на соответствующих пластинах, а направляющие штифты установлены с возможнос 1 ью скользящего беззазорного перемещения.На фиг.1 показана устройство для измерения отклонения от плоскостности; на 5 10 15 20 25 30 35 40 45 фиг.2 изображен узел крепления датчика зазора,Устройство содержит плиту 2 со сквозными отверстиями 9, оси которых перпендикулярны ее поверхности, и датчики 4 зазора, установленные в соответствующих отверстиях 9, Параллельно поверхности плиты 2 с зазором к ней прикреплена дополнительная плита 1 с оыпалненными о ней сквозными отоерстиями 10, соосными отверстиям 9 о...

Номер патента: 980507

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Духопел, Мышкина, Рассудова, Сердюк, Серегин

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02

Метки: интенферометр, объекта, плоскостности, поверхности, прямолинейности

1. Интерферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта, содержащий источник монохроматического света, телескопическую систему, расширяющую световой пучок и включающую микрообъектив, светоделитель, коллиматорный объектив и светоделительную дифракционную решетку, плоскую отражательную дифракционную решетку, отстоящую от светоделительной дифракционной решетки на расстоянии, превышающем размер контролируемой поверхности объекта, и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, упрощения конструкции и уменьшения габаритов, коллиматорный объектив и светоделительная дифракционная решетка выполнены в виде одной вогнутой отражательной дифракционной решетки, оптическая ось которой...

Номер патента: 1814839

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Зиновьев, Лебедев, Шмырев

МПК: G01B 11/30

Метки: кольцевой, крупногабаритных, отклонения, плоскостности, поверхностей, торцовых, формы

Устройство для контроля отклонения от плоскостности торцовых поверхностей крупногабаритных деталей кольцевой формы, содержащее корпус, плоскопараллельную пластину, зеркало, источники освещения и средство регистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля в цеховых условиях, плоскопараллельная пластина установлена в верхней части корпуса, зеркало расположено в нижней части корпуса параллельно плоскости пластины, источники освещения расположены равномерно вокруг зеркала, а средство регистрации установлено за плоскопараллельной пластиной по ходу излучения.

Номер патента: 1512274

Опубликовано: 20.12.2005

Автор: Попов

МПК: G01B 5/28

Метки: отклонения, плоскостности, тонколистовых

Способ измерения отклонения от плоскостности тонколистовых деталей, заключающийся в том, что деталь размещают на горизонтальной поверхности из легкодеформируемого материала, а величину отклонения от плоскостности определяют как наибольшее расстояние от базовой линии до проверяемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, деталь вилкой опускают на поверхность прозрачной жидкости, налитой в ванночку из прозрачного материала, проецируют на проверяемую поверхность изображение освещенной щели двойного микроскопа, перемещают деталь и определяют величину отклонения от плоскостности.