Устройство для контроля плоскостности полированных полупроводниковых пластин

(51 Т ССС ОТКРЫ ЭОБРЕТЕН Н П ПЬСТВ Н АВТОРСНОМ ВИ(71) Завод чистых металлов им.50-летия СССР(56) Бережинский Л,И ЛисицаКонтроль качества плоских оптповерхностей. " Журнал прикласпектроскопии, 1965, В 5, с,4Авторское свидетельство ССВ 507771, кл, С 01 В 11/24, 1 зова плоскостности полирводниковых пластин лупрощение конструкцииния основных элементови их расположения. Усжит видеоконтрольный блный в виде матового экческий элемент, выполиплоского зеркала 4, ра положенного1 монохроматиового экрана М,П.ическихдной09-414СР974. тносительно источника еского излучения и ма сть так поверхнтныеФерилируеэталонзеркала ность м чи, пр вавшие(54) УСТРОЙСКОСТНОСТИ ПОЛКОВЫХ ПЛАСТИ(57) Изобртельной те ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСВАННЪХ ПОЛУПРОВОДНИ ой пове ой пове мериисточколл . ляе носитсяожет быт етениехинке и ник1 и. ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ НОМ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ астности, для контрол ных полупро ь изобретения путем упроще устройства ройство содер ок, выполненана 6, оптинный в виде о отражающая поверхн подает на эталонную охроматические когер нимает лучи, проинте в зазоре между контр хностью пластины 7 и хностью клина 5, и н а матовыи экран 6, а ерентного излучения1293485 матором и матовым экраном 6 расположены по одну сторону от плоского зеркала 4 так, что их оптические зрачкиявляются зеркальным отражением другдруга относительно нормали к эталонной поверхности клина 5. На матовом Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено для определения степени дефектности полированных поверхностей,плоскостности полированных плоскостей 5любого профиля и стрелы прогиба однородно изогнутых пластин,Цель изобретения - упрощение конструкции путем упрощения основныхэлементов устройства и их расположения.На. чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроляплоскостности полированных полупроводниковых пластин.15Устройство содержит последовательно установленные на одной оси источник 1 монохроматического когерентного излучения, коллиматор, состоящийиз микрообъектива 2 и коллимирующегообъектива 3, оптический элемент ввиде плоского зеркала 4 и эталонныйоптический клин 5, видеоконтрольныйблок в виде матового экрана 6 с координатной сеткой (на чертеже не по 25казана),Плоское зеркало 4 располагается относительно источника 1 излучения и матового экрана 6 так, что излучение, проинтерферировавшее в зазоре между контролируемой поверхностью пластины 7 и эталонной поверхностью клина 5 и отражаемое поверхностью,. плоского зеркала 4, попадает на матовый экран 6. Источник 1 излучения с коллиматором и матовый экран 6 установлены по одну сторону от плоского зеркала 4, так, что их оптические зрачки являются зеркальным отражением друг друга относительно нормали к эталонной поверхности клина 5, В качестве источника 1 монохроматического могерентного излучения используется лазер. Коплиматор состоит из двух объективов: первый микрообъектив 2 экране 6 визуально наблюдают интер.Ференционную картину сразу от всейконтролируемой поверхности пластины 7, по которой и производится котроль плоскостности пластины 7, 1 ил. фокусирует излучение лазера в точку, которая лежит в фокусе второго коллимирующего объектива 3, Оба обьектива 2 и 3 подобраны так, что их относительные отверстия предельно, близки. Коллимирующий объектив 3 и микрообьектив 2 установлены с возможностью перемещения относительно друг друга вдоль оси светового пучка. Это позволяет точно совместить их фокусы и получить параллельный пучок когерент ного излучения, имеющий поперечный размер, равный диаметру коллимирующего объектива 3.Устройство работает следующим образом,На пути лазерного луча располагают микрообъектив 2 так, чтобы его ось совпадала. с направлением лазерного луча. Вдоль этой оси от фокуса микрообъектива 2 располагают колли-мирующий объектив 3 на расстоянии, равном фокусному расстоянию последнего, Перемещением коллимирующего обьектива 3 вдоль оси около фокуса микрообъектива 2 добиваются того, чтобы после коллимирующегс объектива 3 распространился параллельный пучок, который направляют на поверхность плоского зеркала 4. Над зеркалом 4 располагают эталонный оптический клин и контролируемую пластину 7 так, чтобы нормаль к эталонной поверхности клина 5, восстанавливаемая из ее центра, проходила через центр зеркала 4. Зеркало 4 разворачивают вокруг горизонтальной оси до тех пор, пока эталонный оптический клин 5 и контролируемая пластина 7 будут находиться в середине светового поля параллельного пучка. Матовый экран 6 располагают на оси луча, который является направлением зеркального отражения оси лазера и коллиматора относительно нормали к поверх12934 Составитель Л. ЛобзоваТехред Л.Сердюкова Корректор И, Эрдейи Редактор М. Товтин Заказ 370/41 Тираж 678 Подписное БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 ности клина 5 и получают интерференционную картину контролируемой поверхности пластины 7, которая наблюдается визуально от всей поверхностисразу на матовом экране 6 и по которой производится контроль плоскостности пластины 7,Формула изобретенияУстройство для контроля плоскостности полированных полупроводниковыхпластин, содержащее последовательноустановленные источник монохроматического когерентного излучения, коллиматор, оптический элемент и эталонныйоптический клин, видеоконтрольныйблок, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью упрощения конструкции,85 4видеоконтрольный блок выполнен в виде матового экрана, оптический элемент выполнен в виде плоского зеркала,располагаемого относительно источникаизлучения и видеоконтрольного блокатак, что излучение, проинтерферировавшее в зазоре между контролируемой поверхностью и эталонной поверхностьюклина и отражаемое поверхйостью зеркала, попадает на видеоконтрольныйблок, а источник излучения с коллиматором и видеоконтрольный блок установлены по одну сторону от плоскогозеркала так, что их оптические зрачкиявляются зеркальным отражением другдруга относительно нормали к эталонной поверхности,