Способ получения интерферограммы для контроля плоскостности прозрачных деталей

(,рсп,дТРГ И ИСА ЛЬСТ ьектов 5 и фот грам нтроедней орый зом рассвлока 2 уемый фотоорн ого1, эа- сфокуГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИ(71) Сибирский физико-технический институт им, В. Д. Кузнецова при Томском гасударственном университете им, В, В. Куйбышева(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИНТЕРФЕРОГРАММЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ДЕТАЛЕЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляконтроля плоскостности оптических деталей. Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля плоскостности оптических деталей.и может быть использовано при изготовлении оптических клиньев плоскопараллельных образцов и т.д.Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины за счет выделения коррелированных спеклполей от каждой из двух контролируемых поверхностей.На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.Устройство включает блок 1 формирования опорного пучка излучения и сигнальный канал, включающий блок 2 формирования когерентного диффузно рассеянного излучения, контролируемый объект 3 с механиз 5 6 01 В 9/021, 11/24 за счет выделения коррелированных спеклполей от каждой из двух контролируемых поверхностей объекта. Пучок инвертного излучения пропускают через диффузный рассеиватель и контролируемый объект, одновременно записывают на регистрирующей среде голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения обьекта, смещают обьект в плоскости, параллельной контролируемым плокостям, вновь на ту же регистрирующую среду одновременно записывают голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, восстанавливают двухэкспозиционную голограмму и путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне дифракции получают интерферограммы, 1 э.п. ф-лы, 1 ил. мом 4 сдвига и поворота, обпластинку 6.Схема устройства для записи голомы достроена так, что задняя грань колируемого объекта 3 находится в перфокальной плоскости обьектива 5, котодновременно строит изображение пердней грани контролируемого обьекта 3плоскости фотопластинки 6.Способ осуществляют следующим обрВ сигнальном канале диффузноянного когерентного излучения из бпропускают через контронтролиробьект 3 и с помощью обьектива 5 напластинке 6 с использованием оппучка, поступающего на нее из блокаписывают одновременно голограммуЗаказ 1645 Тираж 396 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент". г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 сированного изображения передней грани контролируемого объекта 3 и голограмму Фурье его задней грани. Перед записью второй экспозиции с помощью механизма 4 сдвига и поворота осуществляют поворот контролируемого объекта 3 на 180 вокр, г его оптической оси либо смещение его в плоскости, параллельной контролируемым поверхностям; на величину аО/2, где О - размер объекта в направлении смещения,При восстановлении голограммы регистрация интерферограммы, характеризующей качество задней грани контролируемого объекта 3, проводится в аокальной плоскости линзы, установлен ной за галограммой, при проведении пространственной фильтрации в плоскости голограммы с помощью, например, непрозрачного экрана с круглым отверстием.Регистрация интерферограммы, характеризующей качество передней грани контролируемого объекта 3, проводится в плоскости изображения голограммы при проведении пространственной фильтрации в частотной плоскости.По сравнению с известным способом предлагаемый способ позволяет повысить контрастность интерферационной картины за счет обеспечения одновременной записи двухзкспозиционной голограммы Фурье и сфокусированного изображения контролируемых поверхностей, что позволяет на стадии восстановления голограммы выделить коррелированные спекл-поля путем проведенияпространственной фильтрации,5Формула изобретения1. Способ получения интерферограммыдля контроля плоскостности прозрачных деталей, заключающийся в том, что освещаютдиааузно рассеянным когерентным излуче 10 нием контролируемый объект, регистрируют прошедшее через него излучение нарегистрирующей среде, изменяют положения объекта, вновь регистрируют прошедшееизлучение на той же регистрирующей среде и15 фиксируют интерферограмму, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышенияконтраста интерферограммы, регистрациюпрошедшего излучения осуществляют путем одновременной записи голограммы20 Фурье и голограммы сфокусированного изображения поверхностей контролируемогообъекта, а интерферограмму фиксируют путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне25 дифракции,2, Способ по и. 1, от л и ч а ю щи й с ятем, что для изменения положения объектаего смещают в плоскости, параллельной поверхности объекта, на величину а, удовлет 30 воряющую соотношению аО/2, где О -размер обьекта в направлении смещения,