Патенты с меткой «твердотельной»

Номер патента: 1672213

Опубликовано: 23.08.1991

Авторы: Даубарис, Нарушевичюс, Рагаускас, Шнейдерис

МПК: G01B 21/00

Метки: модификации, пластины, плоскостности, поверхности, процессе, радиационной, твердотельной

...воздействия на контролируемую 30 пластину, столик 10 выполнен с п отверстиями, в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питания, выход которого подключен к входу питания блока 12, вход управления блока 12 подключен к второму выходу 35 блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучения, предназначенного для модификации контролируемой пластины, Преобразователь 5 оптически связан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, 40 что направление сканирования его растра параллельно плоскости, проходящей через направления распространения лучей от объектива 3 и отражателя 4, 45Способ реализуется следующим образом.Источником 14 модифицируется пластина 15. С помощью лазера 1, светоделителя 2, объектива 3 и отражателя 4 в плоскости 50...

Номер патента: 1485938

Опубликовано: 27.01.2003

Авторы: Китаев, Костюков, Кузнецов, Марков

МПК: H01L 21/66

Метки: спектральной, схемы, твердотельной, фоточувствительной, характеристики, чувствительности

Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы, включающий измерение отклика схемы на облучение ее фоточувствительной области излучением с различными длинами волн, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения спектральной характеристики чувствительности схемы как в процессе изготовления, так и после него, в качестве отклика используют спектр отражения фоточувствительной области исследуемой схемы или тестовой полупроводниковой пластины, созданной в едином технологическом процессе с исследуемой схемой при формировании ее фоточувствительной области, дополнительно измеряют спектр отражения фоточувствительной области и...