Патенты с меткой «интенферометр»
Интенферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта
Номер патента: 980507
Опубликовано: 20.01.1997
Авторы: Духопел, Мышкина, Рассудова, Сердюк, Серегин
МПК: G01B 11/30, G01B 9/02
Метки: интенферометр, объекта, плоскостности, поверхности, прямолинейности
1. Интерферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта, содержащий источник монохроматического света, телескопическую систему, расширяющую световой пучок и включающую микрообъектив, светоделитель, коллиматорный объектив и светоделительную дифракционную решетку, плоскую отражательную дифракционную решетку, отстоящую от светоделительной дифракционной решетки на расстоянии, превышающем размер контролируемой поверхности объекта, и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, упрощения конструкции и уменьшения габаритов, коллиматорный объектив и светоделительная дифракционная решетка выполнены в виде одной вогнутой отражательной дифракционной решетки, оптическая ось которой...