Нарушевичюс
Способ контроля плоскостности поверхности твердотельной пластины в процессе ее радиационной модификации
Номер патента: 1672213
Опубликовано: 23.08.1991
Авторы: Даубарис, Нарушевичюс, Рагаускас, Шнейдерис
МПК: G01B 21/00
Метки: модификации, пластины, плоскостности, поверхности, процессе, радиационной, твердотельной
...воздействия на контролируемую 30 пластину, столик 10 выполнен с п отверстиями, в которые вставлены иглы блока 12, блока 13 питания, выход которого подключен к входу питания блока 12, вход управления блока 12 подключен к второму выходу 35 блока 7, и источника 14 потока модифицирующего излучения, предназначенного для модификации контролируемой пластины, Преобразователь 5 оптически связан с отражателем 4 и объективом 3 и расположен так, 40 что направление сканирования его растра параллельно плоскости, проходящей через направления распространения лучей от объектива 3 и отражателя 4, 45Способ реализуется следующим образом.Источником 14 модифицируется пластина 15. С помощью лазера 1, светоделителя 2, объектива 3 и отражателя 4 в плоскости 50...
Устройство контроля синхронностидвижения обектов
Номер патента: 838559
Опубликовано: 15.06.1981
Авторы: Балтрушайтис, Малеюс, Нарушевичюс
МПК: G01P 3/04
Метки: объектов, синхронностидвижения
...6, Поршень 5 механн ческой связью 7 соединен с однимиэ контролируемых объектов 8, а поршень 6 соединен механической связью9 с другим контролируемым объектом 10.Для индикации перемещения индикаторной жидкости с наружной стороны вверхней части герметичной камерыприкреплена прозрачная капиллярнаятрубка 11, другой конец которой сообщается с атмосферой. К этой капиллярной трубке выставлен фотоэлектрический датчик 12 и 13. Для уравновешивания гидростатического давления,к поршню 5 прикреплены грузики 14.С целью калибровки устройства к камере присоединена дополнительнаятрубка 15 с поршнем 16, соединеннымс микрометрическим винтом 17. 15Устройство работает следующим образом.При движении контролируемых объектов кинематические связи обеспечивают...