Патенты с меткой «эллипсометрический»

Номер патента: 1366878

Опубликовано: 15.01.1988

Авторы: Маслов, Мельник, Одарич

МПК: G01B 11/30

Метки: качества, полирования, эллипсометрический

...осуществляют следующим образом.Предварительно на столик эллипсометра устанавливают эталонную детальи определяют угол падения и азимутполяризатора, при котором отраженное 15излучение будет поляризованным покругу. Это регистрируется по равенству интенсивностей 1, = 1 = 1 , притрех азимутах анализатора, что соответствует достижениюглавного угла паодения ( Д = 90 ) и главного азимутаполяризатора .(=)Эту операцию производят однократно для образцов определенного материала. 25Затем, располагая на столик эллипсометра контролируемый образец, устанавливают угол падения света и ази"мут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии Зос определенными значениями углов дляэталона.Измеряют соответствующие интенсивности...

Номер патента: 1536199

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Маслов, Мельник

МПК: G01B 11/30

Метки: качества, образца, полирования, эллипсометрический

...при одинаковой ориентации образца и эталона относительно внешнегомагнитного поля.При наложении внешнего магнитного поля на образец цз феррита изменяется состояние поляризации страженного от поверхности образ 1 а из ферритапервоначальн.и 1 нсй 1.-поляризованного света вследствие влияния намагниченности. Это извест ия. эффект Керра, падающий под углом лииейио в исляризованньп свет ирис бретиет после отражения ст поверхисстц Феррцта эллиити1536199 ле, и в поверхностном слое частицы Составитель Л. Лобзова Техред М,Ходанич Корректор 11.Мпксимишинец Редактор Н, Горват Заказ 100 Тираж 482 1 тодписносВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при 13.ПТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 1 11Производственно-издательский...

Номер патента: 1657952

Опубликовано: 23.06.1991

Авторы: Максимович, Тиханович

МПК: G01B 15/00

Метки: плоскостности, расстояния, эллипсометрический

...4, делитель 5, волны на две ортого1657952 Фиг.1 нвльно поляризованные составляющие, первый 6 и второй 7 детекторы СВЧ-излучения, измеритель 8 отношений, экстрематор 9 и блок 10 обработки,Способ осуществляется следующим образом.Линейно поляризованные колебания, частота которых плавно изменяется в диапазоне перестройки используемого свипгенератора 1, а азимут составляет 45 с плоскостью падения, направляют через поляризатор 2 на основание диэлектрической призмы 3 под углом, большим критического угла (полного внутреннего отражения), причем боковые грани призмы 3 составляют 90 с направлением распространения волны. После взаимодействия с контролируемым образцом 4 принимают отраженное излучение и измеряют его эллиптичность, для чего с...

Номер патента: 1714479

Опубликовано: 23.02.1992

Авторы: Мишутин, Платонов, Трубицын

МПК: G01N 25/72

Метки: дефектоскопии, эллипсометрический

...треугольника, а одинаковые напряжения подают в средние точки его катетов, измеряют относительно этих точек величины токов по направлениям катетов четырех треугольников, образованных совокупностью измерительных точек, и находят координаты дефекта из системы уравнений у-у(о) (х-х 1(о щ у, 3=1,2п, (1) где х,у - щординаты дефекта, м;хфу - координаты средних точек катетов равнобедренного прямоугольного треугольника,м;=а +аь =1,2, Р)(о) 0) 0) 0) О 3 =агс 9 211 - Ь - зй йгде 1, 1, 1 з - величиных токов, А.На фиг. 1 приведена блзации способа; на фиг. 2 -прямоугольный треугольниформулы для вычисления угСпособ еализ ется сл Р у узом.Устанавливают фиг, 1) четыре источника 1 тока и два источника 2 напряжения, подключенные выходами...