150940

Номер патента: 1724744

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Лиманов, Молоствов, Пашкуденко

МПК: C30B 13/00, C30B 29/06, H01L 21/20

Метки: боковой, кремнии, кремния, методом, окисленном, ориентированных, пленок, эпитаксии

...глубину. В случае использования в окрестности затравочных окон пленок кремния толщиной более 0,8 мкм плавление подложки практически не имеет места. Если ширина участка с повышенной толщиной пленки кремния меньше 10 мкм (по 3 мкм с двух сторон затравочного окна и 4 мкм ширина окна), теплоотвод от затравочного окна осуществляется недостаточно эффективно. Увеличение ширины затравочного окна также приводит к снижению эффективности способа, Толщина пленки на этих участках выбирается исходя из того, что, если она превышает толщину пленки на рабочих участках менее, чем в 1,5 раза, не удается избежать локального плавления подложки. Максимальное значение отношения толщин пленки кремния используется для пленок толщиной около 0,2 мкм и...

Номер патента: 898133

Опубликовано: 15.01.1982

Авторы: Лебедев, Чупейдо

МПК: F16B 13/00

Метки: больших, крепежное, перепадов, работы, температуры, условиях

...вставками, испарительноконденсаторный элемент выполнен в виде тепловой трубы, установленной в отверстии, выполненном в силовом элементе, а центрирующие теплопроводящие вставки размещены концентрично тепловой трубе в отверстии с илового элемента.формула изобретения 8981На фиа фиг, 1 показано крепежное устройство в сборе, разрез; на фиг. 2расположение тепловой трубы в отве си силового элемента при помощиотверсцентрирующих перфорированных вставок;.на фиг. 3 - центрирующие вставки,варианты.Конструкция 1 крепится к Фундамент 2у при помощи предложенного устройства, установленного в полости а и 1 Осодержащего силовой элемент 3 с гайкой 4, в отверстии о которого концентрично размещен испарительно-конденсаторный элемент, выполненный...

Номер патента: 1076848

Опубликовано: 28.02.1984

Авторы: Пахомов, Седин, Ульянов, Шаманаева

МПК: G01S 13/95

Метки: атмосферы, зондирования, путем, радиоакустического, температуры

...содержит радиопередат чик 1, соединенныи с передающей антенной 2, приемную антенну 3, соединенную через радиоприемник 4 с блоком 5 регистрации и обработки сигнала, акустическую приемопередающую 5 О антенну б, соединенную через комму- татор 7 с выходом импульсного генератора 8 звуковой частоты, последовательно соединенные акустический приемник 9, блок 10 измерения углов прихода акустического сигнала и пово,ротное устройство 11.Способ реализуется следующим образом. Генератор 8 формирует импульсный сигнал звуковой частоты, который через антенный коммутатор 7 поступает на акустическую антенну б, представляющую собой решетку электроакустических преобразователей, и излучается в атмосферу,в вертикальном направлении, Акустический импульс,...

Номер патента: 593646

Опубликовано: 15.02.1978

Авторы: Вольфганг, Конрад

МПК: B01J 17/32

Метки: карбида, кремния, труб

...ета Совета Мииистровй и открьггидушскаи иаб., д, 4/5 го комит изобретеи ЖЗЬ, Р Государствеипо делам 35, Москва ППППа тъ,г.У род, уя. или ет токовые контакты, снабженные патрубками для ввода и вывода газов, содержащих кремний или карбид кремния. Кожух может быть снабжен средствами ввода и вывода инертного газа, чтобы защитить графитовый носитель от обжига во время нагревания.На чертеже изображено предлагаемое устройство. Оно содержит трубчатое полое тело из графита 1 с токовыми контактами по бокам 2 и 3, которое используется в качестве .носителя для внутреннего осаждения полупроводникового материала, Для этой цели графитовая трубка 1 снабжена затворами для впуска 4 и выпуска 5 газа для реакции. Для защиты тлеющего графитового тела 1 во...

Номер патента: 774478

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Булгаков, Косоплеткин, Красножон

МПК: H01L 21/3065

Метки: двуокиси, ионно-химического, кремния, нитрида, травления

...же режимах процесса селективность травления Я 10 г/Я лучше, чем 12:1. По мере истощения используемого раствора фтористого водорода его концентрация уменьшается до концентрации,соответствующей азеотропному составу,т.е. 38,3 масс. Опри нормальном атмосферном давлении.Использование 38,3-ного растворафтористого водорода в воде, соответствующего азеотропному составу при нормальном атмосферном давлении, при испаренииего в условиях повышенного давления врезервуаре приводит к тому, что, в соответствии со вторым законом Вревского, составнераздельно кипящей смеси при увеличении общего давления изменяется в сторонууменьшения содержания компоненты сменьшей дифференциальной теплотой парообразования, т,е. НГ, и составляет в исходном молекулярном...