Патенты с меткой «окисленном»

Номер патента: 741116

Опубликовано: 15.06.1980

Авторы: Захаров, Кострыкина, Хведченя

МПК: G01N 21/24

Метки: групп, кислородсодержащих, окисленном, полимере

...кислородсодержащих групп предложенным способом от исследуго емого брутто-полимера отделяли низкомолекулярные фракции путем растворения его в растворителе, имеющем малое сродство с данным полимером. В качестве растворителя использовали н-гексане Раст 25 воримость СКМС-ЗОАРК в н-гексане приотемпературе 20 С составляет 8(опо ределено экспериментально). Образцы (пленки толщиной 30 35 мк) готовили рзо отливкой раствора низкомолекулярных фракций полимера в н-гексане на подложки из НаС 1 с последующим испарением растворителя.При определении кислородсодержащих групп по известным способам пленки ис 35 следуемого брутто-полимера готовили отливкой на подложки из МОСЕ толуольных растворов порощкообразного каучука (СКМС-ЗОАРК растворяется в...

Номер патента: 1724744

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Лиманов, Молоствов, Пашкуденко

МПК: C30B 13/00, C30B 29/06, H01L 21/20 ...

Метки: боковой, кремнии, кремния, методом, окисленном, ориентированных, пленок, эпитаксии

...глубину. В случае использования в окрестности затравочных окон пленок кремния толщиной более 0,8 мкм плавление подложки практически не имеет места. Если ширина участка с повышенной толщиной пленки кремния меньше 10 мкм (по 3 мкм с двух сторон затравочного окна и 4 мкм ширина окна), теплоотвод от затравочного окна осуществляется недостаточно эффективно. Увеличение ширины затравочного окна также приводит к снижению эффективности способа, Толщина пленки на этих участках выбирается исходя из того, что, если она превышает толщину пленки на рабочих участках менее, чем в 1,5 раза, не удается избежать локального плавления подложки. Максимальное значение отношения толщин пленки кремния используется для пленок толщиной около 0,2 мкм и...