Косоплеткин

Номер патента: 749293

Опубликовано: 15.05.1994

Авторы: Булгаков, Косоплеткин, Красножон, Толстых

МПК: H01L 21/306

Метки: двуокиси, ионно-химического, кремния, нитрида, травления

СПОСОБ ИОННО-ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ДВУОКИСИ И НИТРИДА КРЕМНИЯ в потоке фторсодержащих ионов и электронов, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности травления по отношению к кремнию, травление проводят в потоке положительных ионов фтористого водорода и продуктов диссоциации аммиака.

Номер патента: 774478

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Булгаков, Косоплеткин, Красножон

МПК: H01L 21/3065

Метки: двуокиси, ионно-химического, кремния, нитрида, травления

...же режимах процесса селективность травления Я 10 г/Я лучше, чем 12:1. По мере истощения используемого раствора фтористого водорода его концентрация уменьшается до концентрации,соответствующей азеотропному составу,т.е. 38,3 масс. Опри нормальном атмосферном давлении.Использование 38,3-ного растворафтористого водорода в воде, соответствующего азеотропному составу при нормальном атмосферном давлении, при испаренииего в условиях повышенного давления врезервуаре приводит к тому, что, в соответствии со вторым законом Вревского, составнераздельно кипящей смеси при увеличении общего давления изменяется в сторонууменьшения содержания компоненты сменьшей дифференциальной теплотой парообразования, т,е. НГ, и составляет в исходном молекулярном...

Номер патента: 813860

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Косоплеткин, Красножон, Шарапов

МПК: B04B 5/02

Метки: вязких, жидкостей, лабораторная, фильтрации, центрифуга

...фильтрующая перегородка 5 для отделения легкой фазы. Дно каждой пробирки снабжено клапаном 6 для отвода тяжелого осадка,Центрифуга работает следующим образом.При остановленной цеки заполняют центрифуг Ы, 813860 А 1 что, с целью улучшения качества разделения фаз, в каждой пробирке установлен над предполагаемой свободной поверхностью разделяемой пробы жидкости поршень с центральным отверстием, в котором укреплена фильтрующая перегородка для отделения легкой фазы, при этом поршень установлен с возможностью перемещения под действием центробежной силы,2. Центрифуга по и, 1, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что дно каждой пробирки снабжено клапаном для отвода тяжелого осадка. м на свободную поверхность массы устанавливают пор льтрующей...

Номер патента: 693219

Опубликовано: 25.10.1979

Авторы: Глухов, Косоплеткин

МПК: G01N 27/56

Метки: дефектов, диэлектрических, пленок

...минимальное значение напряжения, при котором начинается пробой диэлектрической пленки. Посте. пенно повышая напряжение и измеряя число дефектов на каждом значении напряжения в два этапа, можно определить значение напряжения, при котором начинается пробой. Если результаты измерений на первом и втором этапе совпадают, то это означает, что пробой пленки еще не наступил, и увеличение числа выявленных дефектов693219 Этап,52 52 происходит только за счет заполнения электролитом новых сквозных дефектов. Как только численный результат второго этапа измерений превысит результат первого этапа, это будет означать, что при выдержке пленки при большем напряжении между двумя этапами произошел пробой пленки, и это значение напряжения является...

Номер патента: 610050

Опубликовано: 05.06.1978

Авторы: Глухов, Косоплеткин, Толстых

МПК: G03C 5/26

Метки: проявления, светочувствительных

...электроды подают постояниое напряжение, При протекании электрического тока через фотоматериал (светочувствителжый слой) происходит подаелачивапие.:проявляющего раствора вблизи катода. Увеличение рН раствора вызывает увеличение скорости проявления вне зависимости от природы щеб 10 О 50 Составитель Л, ТепловаРедактор О, Филиппова Техред. НеАндРейчук Корректор Й. Ковалева Заказ 3004/34 , Тираж 564,Подписащ ЫНИИИИ Государственного комитета Совета Министров СР по делам изобре"ений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент г, Ужгород, ул, Проектная, 4 употребляемого для достижения заданногозначения рН, Светочувствительные слоипроявляют при комнатной температуре, поскольку увеличение щелочности проявляющего...