Способ создания омических контактов

Номер патента: 1688743

Авторы: Гурский, Пилипенко, Портнов, Снитовский

ZIP архив

Описание

Способ создания омических контактов, включающий обработку кремниевой пластины с активными областями в растворе плавиковой кислоты и нанесение металла, отличающийся тем, что, с целью снижения контактного сопротивления путем перевода диоксида кремния в квазиаморфную структуру типа кварца, перед обработкой в плавиковой кислоте пластину подвергают импульсной фотонной обработке с плотностью энергии 0,8-1,2 МДж/м2 при длительности импульса 0,03-10 с.

Заявка

4710380/25, 26.06.1990

Физико-технический институт АН БССР

Гурский Л. И, Снитовский Ю. П, Пилипенко В. Н, Портнов Л. Я

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: контактов, омических, создания

Опубликовано: 10.05.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1688743-sposob-sozdaniya-omicheskikh-kontaktov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания омических контактов</a>

Похожие патенты