Способ создания омических контактов
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1688743
Авторы: Гурский, Пилипенко, Портнов, Снитовский
Описание
Способ создания омических контактов, включающий обработку кремниевой пластины с активными областями в растворе плавиковой кислоты и нанесение металла, отличающийся тем, что, с целью снижения контактного сопротивления путем перевода диоксида кремния в квазиаморфную структуру типа кварца, перед обработкой в плавиковой кислоте пластину подвергают импульсной фотонной обработке с плотностью энергии 0,8-1,2 МДж/м2 при длительности импульса 0,03-10 с.
Заявка
4710380/25, 26.06.1990
Физико-технический институт АН БССР
Гурский Л. И, Снитовский Ю. П, Пилипенко В. Н, Портнов Л. Я
МПК / Метки
МПК: H01L 21/268
Метки: контактов, омических, создания
Опубликовано: 10.05.2012
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1688743-sposob-sozdaniya-omicheskikh-kontaktov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания омических контактов</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления системы металлизации интегральных схем
Следующий патент: Способ изготовления корпусов коллекторов электрической машины
Случайный патент: Динамический угольный струг