Способ изготовления омических контактов к полупроводниковым соединениям a3b5 p-типа
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМ СОЕДИНЕНИЯМ A3B5 P-ТИПА, включающий химическую обработку полупроводника, его нагрев, напыление слоя ванадия и основного контактного металла, отличающийся тем, что, с целью экономии драгоценных металлов при сохранении качества омических контактов, в качестве основного контактного металла используют никель или алюминий и нагревают полупроводник от 150 до 250oС.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве основного контактного металла используют двухслойную композицию из никеля и алюминия.
Описание
Цель изобретения экономия драгоценных металлов при сохранении качества омических контактов.
П р и м е р. Арсенид галлия p-типа обрабатывали в травителе H2SO4 H2O2 H2O с соотношением компонентов 18:1:1. На обработанную поверхность напыляли слои ванадия и никеля толщиной 0,1 мкм, при температуре подложки 150оС. Величина удельного сопротивления полученного контакта составляла от 5
10-6 до 1 10-5 Ом/см.Антимонид галлия p-типа обрабатывали в травителе НСl. На обработанную поверхность напыляли слои ванадия и алюминия при температуре подложки 250оС. Величина удельного сопротивления полученного контакта составляла от 1,8
10-6 до 6 10-6.Механические напряжения в полупроводнике, возникающие при формировании омических контактов, полученные при использовании изобретения, составляли
2,6 105 Н/м2, а радиусы кривизны полупроводника с контактом 3,0-3,2 м.Контакт согласно изобретению практически не стареет в течение 600 ч испытаний в режиме работы лазерного диода.
Изобретение относится к области полупроводниковой электроники и может быть использовано для изготовления омических контактов к полупроводниковым приборам, изготовленным на основе соединений A3B5 p-типа. Цель изобретения - экономия драгоценных металлов при сохранении качества омических контактов. Согласно изобретению на полупроводниковое соединение после химической обработки наносят слой ванадия, предотвращающего разложение полупроводникового соединения и по крайней мере один слой основного контактного металла алюминия или никеля. Температуру полупроводника при напылении поддерживают от 150 до 250°С. Качественный омический контакт получают и при нанесении двух слоев металлов из никеля и алюминия. 1 з. п. ф-лы.
Заявка
3823606/25, 11.12.1984
Минеева М. А, Миронов Б. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/28
Метки: контактов, омических, п-типа, полупроводниковым, соединениям
Опубликовано: 27.11.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1321313-sposob-izgotovleniya-omicheskikh-kontaktov-k-poluprovodnikovym-soedineniyam-a3b5-p-tipa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления омических контактов к полупроводниковым соединениям a3b5 p-типа</a>
Контактный материал для ультразвуковой дефектоскопии металла
Номер патента: 1193576
Опубликовано: 23.11.1985
Автор: Лантух
МПК: G01N 29/04
Метки: дефектоскопии, контактный, материал, металла, ультразвуковой
...меди 60-70 Применение контактного материала осуществляется следующим образом.Берут 30 г ортофосфорной кислоты и 70 г порошка окиси меди. Смешивают эти компоненты, Через несколько минут пастообразный состав готов для нанесения его на металлическую поверхность. Перед креплением поверхность изделияи волновода очищают от коррозии ортофосфорной кислотой. Затем наносят слой пастообразного состава на поверхность изделия и. торец волновода, Устанавливают волновод на поверхности, прижимают его с усилием не менее 1 кг/см и выдерживают в таком состоянии в течение 1- 3 ч при комнатной температуре, Процесс затвердевания пастообразного состава сокращается до 30 мин приотемпературе 60 С, характерной для ,остановленного...
Устройство для получения хлористого алюминия и других хлористых металлов
Номер патента: 16134
Опубликовано: 31.07.1930
Авторы: Благовещенский, Зайковский, Лукашев, Хакин
Метки: алюминия, других, металлов, хлористого, хлористых
...6 уровня и камера 10 и сосуд 13 - известными поплавковыми запорными клапанами 14 и 17; последние могут подниматься и опускаться, например, на рейках 15 и 18 для уста- новки уровнейв камере 10 и сосуде 13, , а следовательно, и емкости камер, вследствие О БРТ: 11 И Лукашева, Г, В. Благовещенског кабря 1928 года (заяв. свид, М 37108 30 года. Действие патента распростра июля 1930 года. чего клапаны и тдам 16 и 19 гиДля поддержанитевся установка обоппаровых рубашек,почертеже,Устройство действует следугощим образом.Растворы сульфатов и хлористого кальциянаполняют камеру, 10 и сосуд 13 до уста-новленных уровней, определяемых необходимыми количествами взаимодействующих растворов и автоматически отсекаемых поплавковыми клапанами 14 и 17,...
Электролизер для получения алюминия и других легких металлов и сплавов
Номер патента: 55413
Опубликовано: 01.01.1939
Автор: Трунев
Метки: алюминия, других, легких, металлов, сплавов, электролизер
...сводовыми балками 24 и тя.гами 25 каркас ванны, К нижнейполке швеллеров 36 прикрепленаП образная балка 37 с закрепленнымив ней колесами 3, сидящими на круговом рельсе 2. Таким образом, весьсвод с каркасом и электродами 8может вращаться вокруг вертикальной оси, Вращение осуществляетсяэлектродвигателем 30, вращаящим.лебедку 27 с блоками 29, через ко.торые проходит трос 28. Как видноиз чертежа, свод может вращаться,в обе стороны,Электролизе р работает следующимобразом. Пуск ванны может бытьпроизведен как сухим, так и мокрымспособом, причем последний предпочтительнее.После пуска ванна перекрываетсятеплоизолирующим сводом б, регулируется сила тока на анодах 8, и затем последние получают возвратно.вращательное движение вместе совсей верхней...
Способ получения метафосфатов щелочных, щелочноземельных металлов и алюминия
Номер патента: 472898
Опубликовано: 05.06.1975
Авторы: Кузьменков, Печковский, Плышевский
МПК: C01B 25/38
Метки: алюминия, металлов, метафосфатов, щелочноземельных, щелочных
...НеРО 4 до 800 С. Объем полученного продукта больше, чем контрольного, мех О прочность снизилась на 20 - 30%. С ние А 1;О;/РзОв = 1:3, продукт ЯНИЧССКУ 1 О шо с коно анализа(НзРО 4) ця 30/о цическяя оотноше Способ получения метаф щелочноземельных металло тем высокотемпературной д замешеннь 1 х ортофосфато тем, что, с целью получен хнометрического состава, п ции велут в присутствии фосфатя аммония, взято 5 - 7 вес. ,/о. осфатов шслочцых, в и алюминия пуеп 1 лратацип олцов, От,111 чйюцнйс,1 ия пролукта стероцесс леп 1 лратаОДЦОЗЯ МЕГЦЕП 1 ОГО го в коли 1 естве Изобретение относится к области получения метафосфатов щелочных, щелочноземельных металлов и алюминия.Известен способ получения метафосфатов щелочных металлов путем дегидратации...
Способ получения окислов переходных металлов и алюминия
Номер патента: 679527
Опубликовано: 15.08.1979
Авторы: Бабаянц, Гольцова, Жиров, Пирогова
МПК: C01G 1/02
Метки: алюминия, металлов, окислов, переходных
...необходима для ис.ключения возможности загрязнения осадкапродуктами разложения ПАВ, в частностиуглеродистыми соединениями,35Прокаливание при температуре ниже300 С не обеспечивает полного разложения осадка, а при температуре выше 350 Сприводит к сникению удельной поверхностипорошков окислов металлов,П р и м е р 1, 400 г г (ОН) в виде пасты с влажностью 40% растирали вфарФоровой ступке с 20 г моноизооктилфенилового эфира октоэтиленгликоля (ПАВ)суспензировали в 2,0 л дистиллированной ВОЛЫ ПРИ КОМНатНОй ТЕМИ.РВТУ 1 ю Е Чаиение 5-15 мин до образовании 1 овиомерНой СУСПЕНЗИИ, НЕ ОЛЕржчщай КОМКОВ ГИДроокиси, Затем Лг(ОН ) Отфильтровывалина воронке Бюхнера, отмывали От ПАВтрехкратным суспензироввнием в дистиллированной .воде ( 2,0 л нв каждой...
Предыдущий патент: Аппарат для выращивания микроорганизмов
Следующий патент: Способ производства сварочных флюсов
Случайный патент: Система автоматического управления и отладки на основе отображения тактограммы