Глебов

Насос с датчиком расхода

Загрузка...

Номер патента: 980492

Опубликовано: 27.05.2008

Авторы: Овчинников, Глебов

МПК: F04D 15/02

Метки: насос, датчиком, расхода

Насос с датчиком расхода по авт. св. № 406035, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы датчика расхода, в канале по обе стороны от подпружиненного поршня и соосно ему установлены втулки с расположенными в них толкателями, концы которых, выступающие за пределы втулок, соединены между собой при помощи скобы с фиксируемой рукояткой.

Насос с датчиком расхода

Загрузка...

Номер патента: 919436

Опубликовано: 27.05.2008

Авторы: Овчинников, Глебов

МПК: F04D 15/02

Метки: насос, расхода, датчиком

Насос с датчиком расхода по авт. св. № 406035, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, поршень и противолежащая стенка канала снабжены выступами с прорезями, и концы пружины размещены в этих прорезях перпендикулярно оси поршня.

Запорный клапан

Загрузка...

Номер патента: 1591598

Опубликовано: 27.09.2006

Авторы: Овчинников, Котов, Глебов

МПК: F16K 1/20

Метки: запорный, клапан

Запорный клапан, содержащий корпус с седлом, привод со штоком, дисковую заслонку, установленную в корпусе на оси поворота, расположенной вне заслонки, рычаг с пазом и осью, взаимодействующий с заслонкой и со штоком, снабженным пальцем, расположенным в пазу рычага, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы и уменьшения габаритов клапана, рычаг снабжен упором и опорной поверхностью, дисковая заслонка - выступом и упругим элементом, ось рычага совмещена с осью поворота заслонки, а паз рычага выполнен из прямолинейной и криволинейной частей, причем выступ выполнен в месте расположения оси поворота заслонки с возможностью взаимодействия с упором рычага, упругий элемент...

Турбохолодильник

Загрузка...

Номер патента: 854110

Опубликовано: 20.03.2006

Авторы: Луцкий, Глебов, Баранов, Маханьков, Захарова, Брагин

МПК: F25B 11/00

Метки: турбохолодильник

1. Турбохолодильник, содержащий корпус и вал с рабочими колесами, установленный на лепестковых газодинамических подшипниках, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и увеличения демпфирующей способности подшипников, на валу выполнена кольцевая проточка, образующая на рабочем участке вала выступы, на которых установлена дополнительная тонкостенная втулка, покрытая износостойким материалом. 2. Турбохолодильник по п.1, отличающийся тем, что втулка жестко укреплена концами на выступах вала.3. Турбохолодильник по п.1, отличающийся тем, что втулка одним концом жестко закреплена на выступе вала, а другой ее конец установлен на валу с возможностью свободного...

Вращающийся токосъемник

Загрузка...

Номер патента: 869527

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Мясников, Глебов

МПК: H01R 39/00

Метки: вращающийся, токосъемник

1. Вращающийся токосъемник преимущественно для гироприбора, содержащий щеткодержатель, установленный на корпусе гироприбора, щетки и коллектор, содержащий изоляционное основание и токопроводящие элементы, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности гироприбора за счет уменьшения момента трения, токопроводящие элементы выполнены из одного прямого и по крайней мере одного изогнутого стержней одинакового диаметра, закрепленных в изоляционном основании так, что коренная часть прямого стержня расположена на оси вращения коллектора, а коренные части изогнутых стержней расположены от оси вращения на расстоянии, превышающем длину свободных концов щеток, причем...

Устройство для электроэрозионной перфорации изделий

Номер патента: 756741

Опубликовано: 27.11.2004

Авторы: Будин, Перколаб, Глебов, Подкуйко

МПК: B23H 7/26

Метки: электроэрозионной, перфорации

Устройство для электроэрозионной перфорации изделий элементарными электродами, закрепленными в общем держателе, состоящем из верхней, нижней плит, а также установленной между ними промежуточной плиты, подвижной в направлении, перпендикулярном осям элементарных электродов, помещенных в соосных отверстиях, выполненных во всех упомянутых плитах, отличающееся тем, что с целью предотвращения деформации электродов оно снабжено эластичными втулками, установленными в отверстиях промежуточной плиты и упорами, жестко закрепленными на торцах верхней и нижней плит, ограничивающими перемещение промежуточной плиты.

Способ получения дии полициклических углеводородов сочлененного типа

Номер патента: 1467952

Опубликовано: 27.06.2002

Авторы: Клигер, Заикин, Глебов, Яценко, Лесик, Микая, Локтев

МПК: B01J 23/84, C07C 13/08, C07C 13/18 ...

Метки: сочлененного, дии, типа, полициклических, углеводородов

Способ получения ди- и полициклических углеводородов сочлененного типа путем гидродезоксигенирования кислородсодержащих производных циклоалканов при 250 - 350oC, давлении водорода (1,5 - 10) 105 Па, объемной скорости водорода 103 ч-1, удельной скорости подачи сырья 160 - 320 г/кг катализатора в 1 ч в присутствии восстановленного водородом железного плавленного катализатора на основе сплава магнетита с промоторами, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода целевых продуктов, в качестве кислородсодержащих производных циклоалканов используют циклопентанон или циклогексанон, а в...

Способ получения дии полициклических насыщенных углеводородов сочлененного типа с пятичленными кольцами

Номер патента: 1462717

Опубликовано: 27.06.2002

Авторы: Микая, Лесик, Яценко, Заикин, Клигер, Локтев, Глебов

МПК: C07C 2/74, B01J 23/84

Метки: пятичленными, углеводородов, полициклических, сочлененного, насыщенных, дии, типа, кольцами

Способ получения ди- и полициклических насыщенных углеводородов сочлененного типа с пятичленными кольцами путем гидродезоксигенирования циклопентанола при температуре 250oC, давлении водорода 7,5 105 Па, объемной скорости водорода 103 ч-1, удельной скорости подачи циклопентанола 160 - 180 г/кг кат ч в присутствии восстановленного водородом железного промотированного плавленного катализатора на основе сплава магнетита с промоторами, отличающийся тем, что, с целью увеличения селективности процесса по полициклическим...

Способ получения смеси ди-, трии тетрациклических углеводородов сочлененного типа с пятичленными кольцами

Номер патента: 1679751

Опубликовано: 27.06.2002

Авторы: Яценко, Локтев, Глебов, Клигер, Заикин, Шуйкин, Микая

МПК: C07C 13/08, C07C 2/74

Метки: пятичленными, углеводородов, тетрациклических, кольцами, сочлененного, типа, смеси, ди, трии

Способ получения смеси ди-, три- и тетрациклических углеводородов сочлененного типа с пятичленными кольцами путем взаимодействия циклопентанона с водородом при температуре 250 - 350oC и атмосферном давлении в присутствии стационарного слоя восстановленного железного плавленного катализатора, промотированного 0,5 - 2,5 мас.% оксида меди и 4,0 - 6,0 мас.% пентоксида ванадия, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода целевых углеводородов, верхнюю половину слоя катализатора предварительно подвергают термообработке водородом при атмосферном давлении и температуре 700 - 1000oC в течение 2 - 8 мин.

Электронный инжектор

Номер патента: 1450653

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Ивкин, Новичков, Солдатенков, Логинов, Жаринов, Мартынов, Глебов

МПК: H01J 3/02

Метки: электронный, инжектор

1. Электронный инжектор, содержащий плоский термоэлектронный катод, теневую маску с отверстиями для пролета электронов, первый плоский и оконечный аноды, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности мощности потока электронов, отверстия для пролета электронов теневой маски имеют коническую поверхность, большее основание которой обращено к первому аноду, оконечный анод выполнен в виде цилиндра, на входном торце которого установлен диск с отверстиями для пролета электронов, в полости цилиндра вакуумноплотно встроена дрейфовая камера, выполненная в виде телескопического цилиндра, на выходном торце которого установлен диск с центральным отверстием, при этом размеры выбраны из следующих...

Сильноточный инжектор электронов

Номер патента: 1466624

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Ивкин, Глебов, Власов, Малафеев, Новичков

МПК: H05H 7/00

Метки: инжектор, сильноточный, электронов

1. Сильноточный инжектор электронов, содержащий помещенные в вакуумную камеру и последовательно расположенные вдоль оси системы многопучковый катод, анод, трубу дрейфа с магнитной центрирующей системой, диафрагмой и блоком магнитной компрессии, снабженным цилиндрической катушкой, помещенной в ферромагнитный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности мощности в протяженных, однородных по длине потоках электронов, повышения надежности и долговечности, блок магнитной компрессии выполнен с возможностью перемещения вдоль оси инжектора, помещен в трубу дрейфа и снабжен расположенными на его входе и выходе двумя ферромагнитными трубками, встроенными внутрь ферромагнитного экрана, а...

Способ формирования электронных пучков и устройство для его осуществления

Номер патента: 1582960

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Новичков, Жаринов, Ивкин, Солдатенков, Глебов

МПК: H05H 5/00

Метки: формирования, пучков, электронных

1. Способ формирования электронных пучков, включающий наложение импульсного электрического поля на электродную систему, компенсацию пространственного заряда пучка в заанодной области и контроль поперечного размера пучка на выходе области формирования, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем повышения плотности мощности в электронном пучке и снижения его расходимости, наложение электрического поля на электродную систему осуществляют ступенями, пространственный заряд пучка компенсируют в области между первой ступенью ускорения и ступенью доускорения путем напускания газа в полый промежуток дрейфа, регулируют крутизну переднего фронта импульса электрического...

Прямоточный парогенератор

Номер патента: 766211

Опубликовано: 10.03.2000

Авторы: Григорьев, Годик, Глебов, Москвичев, Эскин, Симкин, Трещев, Афанасьев, Левин

МПК: F22B 29/06

Метки: парогенератор, прямоточный

Прямоточный парогенератор, содержащий вертикальный корпус с патрубками подвода воды и отвода пара, в котором размещены включенные в тракт греющего теплоносителя теплообменные трубы, и гидроаккумулирующую емкость, причем последняя и корпус сообщены между собой в верхних и нижних участках, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и упрощения конструкции, гидроаккумулирующая емкость размещена за пределами корпуса и последней сообщен с нижним участком емкости через свой патрубок подвода воды.

Расходуемый электрод для рафинирующих переплавов

Номер патента: 1115661

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Глебов, Ежов, Дашевский, Иващенко, Мартынов, Чевакина, Белоусов

МПК: C22B 9/16, H05B 7/07

Метки: электрод, расходуемый, рафинирующих, переплавов

Расходуемый электрод для рафинирующих переплавов, выполненный в виде полой металлической заготовки с осевой сквозной полостью, заполненной слоями смеси активных металлов со шлакообразующими и углеродсодержащими материалами, отличающийся тем, что, с целью повышения качества выплавляемого слитка за счет улучшения условий рафинирования металла при переплаве электрода, он снабжен установленной в осевой полости заготовки коаксиально с ней с возможностью продольного перемещения металлической трубой, заполненной внутри активными металлами и шлакообразующими материалами, а на наружную поверхность трубы нанесен слой углеродсодержащих материалов толщиной 0,01 - 0,1 наружного диаметра трубы.

Способ электрошлакового переплава

Номер патента: 904332

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Катаев, Ежов, Макуха, Клепиков, Кисурин, Петров, Филорикьян, Мартынов, Глебов

МПК: B22D 27/02, C22B 9/18

Метки: электрошлакового, переплава

Способ электрошлакового переплава в водоохлаждаемом кристаллизаторе, включающий одновременное пропускание через расходуемый электрод рабочего тока и импульсного разрядного тока с напряжением 20 - 50 кВ, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и улучшения качества переплавляемого металла, обработку ведут попеременно чередующимися круто возрастающими-полого спадающими и полого возрастающими-круто спадающими импульсами разрядного тока с максимальной амплитудой тока в импульсе 5 - 50 кА и с частотой импульсов 0,5 - 500 Гц при отношении времени крутого возрастания (убывания) импульса к общему времени разряда его 1/20 - 1/10.

Способ вакуумной дегазации жидкого металла

Номер патента: 1153551

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Глебов, Фурынин, Ежов, Иващенко, Толкачев, Игнатьев, Мартынов, Соболев

МПК: C21C 7/10

Метки: дегазации, жидкого, вакуумной, металла

Способ вакуумной дегазации жидкого металла в ковше с футеровкой, включающий обработку шлаком, нагрев и введение стержней из углеродсодержащего материала в жидкий металл перед окончанием вакуумирования, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса дегазации и повышения качества металла, после создания вакуума нагретые стержни вводят в шлаковый расплав в зону, прилегающую к футеровке на расстоянии 0,05 - 0,25 диаметра ковша, а через 5 - 20 мин - в жидкий металл по оси ковша на глубину 0,1 - 0,5 высоты столба жидкого металла.

Расходуемый электрод для переплава

Номер патента: 1095656

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Ежов, Чевакина, Колпаков, Иващенко, Глебов, Мартынов

МПК: C22B 9/22

Метки: электрод, переплава, расходуемый

Расходуемый электрод для переплава с осевой сквозной полостью, заполненной слоями активных металлов со шлакообразующими материалами и углеродсодержащими материалами, отличающийся тем, что, с целью повышения качества выплавляемого слитка и увеличения производительности процесса переплава, слой углеродсодержащих материалов толщиной 0,005 - 0,1 диаметра сквозной полости расположен на ее поверхности, полость в верхней части заполнена слоем активных металлов высотой 0,01 - 0,2 высоты расходуемого электрода, а в нижней части полость заполнена смесью активных металлов со шлакообразующими материалами, в которую дополнительно введен металл расходуемого электрода в количестве 0,6 - 0,95 от общего...

Способ вакуумной дегазации жидкого металла

Номер патента: 1077291

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Иващенко, Мартынов, Глебов, Соболев, Игнатьев, Ежов, Белоусов

МПК: C21C 7/10

Метки: жидкого, металла, дегазации, вакуумной

Способ вакуумной дегазации жидкого металла по авт.св. N 384886, отличающийся тем, что, с целью повышения качества металла, стержни нагревают до температуры 0,2 - 0,6 температуры жидкого металла и перед окончанием вакуумирования вводят в жидкий металл на глубину 0,05 - 0,4 его высоты.

Расходуемый электрод для переплава

Номер патента: 997590

Опубликовано: 10.01.2000

Авторы: Колпаков, Ежов, Глебов, Белоусов, Иващенко, Мартынов

МПК: C22B 9/20, H05B 7/07

Метки: расходуемый, электрод, переплава

1. Расходуемый электрод для переплава с осевой сквозной полостью, заполненной смесью металлов со шлакообразующими материалами, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества выплавляемого слитка, осевая сквозная полость дополнительно заполнена углеродосодержащим материалом, причем металлы со шлакообразующими материалами и углеродосодержащие материалы уложены в полость чередующимися слоями по высоте электрода, при этом высота слоев составляет 0,1 - 0,9 размера сечения сквозной полости электрода.2. Электрод по п.1, отличающийся тем, что слои, заполняющие отверстие электрода, размещены под углом к его оси, при этом в поперечном сечении полости одновременно расположены слои металла со...

Способ полунепрерывного прессования

Номер патента: 915328

Опубликовано: 10.06.1999

Авторы: Глебов, Николаев

МПК: B21C 23/08

Метки: полунепрерывного, прессования

Способ полунепрерывного прессования прутков и профилей из сплавов на основе меди, включающий выдавливание через очко матрицы одного за другим последовательно вводимых в контейнер нагретых слитков с формированием поверхности их сочленения путем воздействия переднего плоского торца последующего слитка на спрессованный выпуклый задний торец предыдущего слитка, отличающийся тем, что, с целью обеспечения самоотделения готовых изделий при выходе из матрицы, повышения производительности и выхода годного, перед введением в контейнер каждого последующего слитка проводят подстуживание заднего выпуклого торца предыдущего слитка до получения соотношения пределов текучести

Устройство для горячего полунепрерывного прессования

Номер патента: 888372

Опубликовано: 10.06.1999

Авторы: Николаев, Глебов

МПК: B21C 25/00, B21C 27/00

Метки: прессования, горячего, полунепрерывного

1. Устройство для горячего полунепрерывного прессования, содержащее контейнер с цилиндрической полостью для заготовок и закрепленную на пресс-штемпеле пресс-шайбу с вогнутым рабочим торцом, отличающееся тем, что, с целью снижения усилия в начале прессования каждой заготовки и повышения равномерности свойств по длине пресс-изделий за счет исключения подстуживания заготовки при контакте с матрицей во время загрузки последующей заготовки, полость контейнера выполнена ступенчатой с меньшим диаметром со стороны пресс-штемпеля, а на рабочем торце пресс-шайбы выполнена центральная глухая полость с увеличивающимся от торца сечением.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что отношение...

Смесь для изготовления литейных форм и стержней в нагреваемой оснастке

Номер патента: 1809953

Опубликовано: 20.11.1996

Авторы: Игнатьев, Глебов, Пичугина, Андрианов, Шувалов

МПК: B22C 1/18

Метки: стержней, нагреваемой, литейных, смесь, оснастке, форм

Смесь для изготовления литейных форм и стержней в нагреваемой оснастке, включающая огнеупорный наполнитель на основе диоксида кремния, жидкое стекло и продукт конденсации нафталинсульфокислоты и формальдегида с содержанием активного вещества 55 65 мас. отличающаяся тем, что, с целью повышения прочности смеси, снижения ее осыпаемости и продолжительности отверждения теплом, она дополнительно содержит 5 10%-ный водный раствор поливинилового спирта при следующем соотношении компонентов, мас.Жидкое стекло 1,5 1,8Продукт конденсации нафталинсульфокислоты и формальдегида с содержанием активного вещества 55 65 мас. 0,5 0,75 10%-ный водный раствор поливинилового спирта 0,7 1,0Огнеупорный наполнитель на основе диоксида...

Способ получения интерференционного слоя

Номер патента: 1514121

Опубликовано: 10.10.1996

Авторы: Сапелкин, Якунин, Глебов

МПК: G02B 5/28

Метки: интерференционного, слоя

Способ получения интерференционного слоя с заданным значением показателя преломления nз, заключающийся в нанесении на заготовку пленкообразующих материалов с высоким nв и низким nн показателями преломления, причем nн < nз < nв, отличающийся тем, что, с целью повышения точности значения показателя преломления nз и увеличения термической стойкости слоя преимущественно для инфракрасной области спектра при использовании слоя в наклонных пучках лучей с узлом падения последовательно наносят m пар чередующихся слоев пленкообразующих материалов с показателями преломления nв и...

Способ выплавки азотсодержащей стали

Загрузка...

Номер патента: 1812792

Опубликовано: 10.04.1996

Авторы: Хомяков, Дунаев, Кремянский, Штремель, Вишкарев, Иващенко, Глебов, Горохов, Кудря, Петрухин, Ромашин

МПК: C21C 5/52

Метки: стали, азотсодержащей, выплавки

...продувки свыше 3 мин проводит к нежелательной потере времени, снижению температуры разливэемого металла и дрПримеры конкретного выполненияпредлагаемого способа,10 Способ опробован при выплавке азотсодержащей стали 15 СГ 2 Х 9 Н 4 в открытойиндукционной печи ИСТ - 0,05 и дуговой 5-т .электропечи с основной футеровкой,Шихту расплавляли, производили рас 15 кисление и десульфурацию до содержания(О)=0,005 и (Я)=0,002%, затем металл продували азотом до содержания (М)=0,040%.После этого в металл вводили ПАВ, например серу, селен,.теллур и металл разливали20 в изложницы.П р и м е р 1. После продувки азотом вметалл вводили ПАВ - серу в количестве0.006 ов металле и дополнительно продували азотом в течение 0,5 мин.П р и м е р 2, То же,...

Матричный накопитель

Номер патента: 1398666

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Симоненко, Левин, Левченко, Глебов, Ковалев

МПК: G11C 11/40

Метки: матричный, накопитель

МАТРИЧНЫЙ НАКОПИТЕЛЬ, содержащий полупроводниковую подложку первого типа проводимости, первую диффузионную область второго типа проводимости, расположенную в приповерхностной области полупроводниковой подложки, первый слой диэлектрика с отверстиями, расположенный на поверхности полупроводниковой подложки, первую область эпитаксиального слоя второго типа проводимости, расположенную на поверхности полупроводниковой подложки, вторую диффузионную область первого типа проводимости, расположенную в эпитаксиальном слое, третью диффузионную область первого типа проводимости, расположенную в приповерхностной области первой области эпитаксиального слоя, проводящую шину, расположенную на поверхностях первой области эпитаксиального слоя и слоя...

Индукционная вакуумная электропечь

Номер патента: 1098369

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Губченко, Глебов, Шеффер

МПК: F27B 14/04

Метки: вакуумная, индукционная, электропечь

ИНДУКЦИОННАЯ ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ, содержащая секционированный металлический герметичный охлаждаемый тигель с охлаждаемым металлическим поддоном, индуктор, герметично заделанный в неэлектропроводный цилиндр, верхнюю торцевую крышку, с технологическими устройствами для ведения плавки, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности печи, тигель снабжен механизмом вертикального перемещения, а наружная поверхность тигля уплотнена относительно индуктора с помощью кольцевого вакуумного уплотнения, установленного в нижней части индуктора.

Комбинированный ракетный двигатель

Загрузка...

Номер патента: 1828176

Опубликовано: 20.05.1995

Авторы: Демидов, Глебов, Осипов

МПК: F02K 7/18

Метки: комбинированный, двигатель, ракетный

...содержащий прямоточный воздушно-реактивный двигатель 1 с воздухозаборником 2 и камерой дожигания 3, соплом 4, емкость 5 с жидким горючим, в которой расположена разделительная мембрана 6, газогенератор наддува, сообщенный с емкостью 5, форсуночное устройство 8, сообщенное с емкостью 5 через запорные и регулирующие устройства 9 и с камерой дожигания 3, ракетный двигатель 10 с размещенным в нем зарядом твердого топлива 11 сообщен с камерой дожигания 3 через газоводы 12, выполненные в виде сопел Лаваля с выходным сечением раструба 13 эллиптической формы, на боковой поверхности которого образованы равномерно в окружном направлении сквозные окна 14, ветви которых замкнуты на периметре среза сопла, причем одна из ветвей 15 окон 14...

Комбинированный ракетный двигатель

Номер патента: 1734442

Опубликовано: 27.01.1995

Авторы: Осипов, Демидов, Глебов

МПК: F02K 7/18

Метки: комбинированный, двигатель, ракетный

1. КОМБИНИРОВАННЫЙ РАКЕТНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ, состоящий из прямоточного воздушно-реактивного двигателя с камерой дожигания и ракетного двигателя твердого топлива, камера сгорания которого сообщена с камерой дожигания газоводами, устройство регулирования расхода продуктов сгорания, отличающийся тем, что, с целью повышения энергетических характеристик за счет интенсификации смешения продуктов сгорания ракетного двигателя твердого топлива с воздухом для топлив с недостатком окислителя при изменении расхода воздуха, обусловленным изменением скорости набегающего потока, в нем каждый из газоводов выполнен в виде сверхзвукового сопла Лаваля с наклонным входным сечением, точка пересечения оси которого с минимальной образующей профиля раструба размещена в...

Способ лазерной обработки

Номер патента: 1593057

Опубликовано: 15.11.1994

Авторы: Глебов, Мананкова

МПК: B23K 26/00

Метки: лазерной

1. СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ, преимущественно с помощью лазерного комплекса резки портального типа, заключающийся в передаче от лазера и преобразовании с помощью оптической системы высокоотражающих поворотных под углом 90o зеркал, на одно из которых нанесено фазосдвигающее покрытие, горизонтального линейно поляризованного под углом 45o к вертикальной плоскости, проходящей через главную оптическую ось лазера, излучения в вертикальное с круговой поляризацией и последующей его фокусировке на поверхности обрабатываемого материала, отличающийся тем, что, с целью снижения себестоимости и улучшения эксплуатационных свойств зеркал при отражении излучения лазера с помощью по крайней мере четырех зеркал фазосдвигающими...

Способ формирования металлизации межсоединений для интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 1707995

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Лезгян, Хрусталев, Глебов, Фишель, Кузьмин, Валеев, Железнов

МПК: C23C 14/35

Метки: интегральных, металлизации, формирования, межсоединений, схем

...камере держать относитезльно высокое рабочее давление (7 10 - 1 10) мм рт.ст, и обеспечивать откачку диссорбированных атомов гаэоотделения со стенок рабочей камеры при значительном их нагреве во время процесса распыления сплавной мишени АТ 0,5, для стабильности режимов распыления подбирают размер щели между рабочей и общей камерами или в камере делают калибровочное отверстие, чтобы одновре 10 15 20 25 30 35 40 менно обеспечить сопротивление газовому потоку откачки и выдержать необходимый перепад давлений. При этом необходимо отрегулировать подачу плазмообраэующего Аг и откачку потока газоотделений, при этом необходимым условием является Ррвб.квмерыРдегвзвции+ Р дг где РдгРдегазвций активных примесей, в составе Рдегвзвции пик М 2 должен...