Патенты с меткой «410138»

Номер патента: 410138

Опубликовано: 05.01.1974

МПК: C23C 14/56

Метки: 410138

...а между электром крайними шлюзовь ны расширительные зобре ется тем, что оедипены с атуюп;их камерклапана: и и ми смонтироваль достига клапаны с вом фильтр агнитными ми камера камеры.редм крытий в в меру, вход е камеры с а входы кра Устрой кууме, с выход к 0 единены нанесения по рабочую к ез шлюзовы ои, причем нтво для держаще торой чеатмосфе Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для металлургии деталей и получения тонких пленок, широко используемых в микроэлектронике.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру, вход и выход которой через шлюзовые камеры соединены с атмосферой, причем на входы крайних шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны для...