ZIP архив

Текст

Союз СоветскихСоциалистимвскихРеспублик ИЗОБРЕТЕЯ ИЯ етельства М висимое от авт,23 с 13/0,8( 175063/22 1) аявлено 22 11.1 исоединением Гасударственный комитет Совета Министров СССР оо делам иэооретений и открытий(08.8.8) 974, Бюллетень,ге 1 Дата опубликования описания 24.%.1974 Авторыизобретения В. Л. Троицкий, В. Г, Соколов, А. Г. Винокуров и В. Г. Пахмуто аявитель ЫТИЙ В ВАКУУМЕ СТРОЙСТВО 1-1 а чертеже представлена конструкцияпредлагаемого устройства.Устройство состоит из раи шлюзовых камер 2 - 5. На 5 шлюзовых камер 2 и 5 устанмагнитные клапаны 6 и 7, котс атмосферой посредством фмер 8 и 9. Между электромагнами 6 и 7 и крайними шлю 10 ми 2 и 5 смонтированы расшмеры 10, Камера 2 работаобразом. По команде от пулэлектромагнитный клапан 6.через фильтрующую камеру 8 15 ду 11 через входное отверстиеельную камеру 10, и спокрастекается по камере 2.После выравнивания давлесферного открывают крышку 20 3 и следующая заготовка вхвую камеру 2,Шлюзовая камера 5 в конце линии работает аналогично. ния до атмовходного люка одит в шлюзоповышение качеств етени Цель изобр покрытий.Поставленная це электромагнитные мосферой госредст а между электром крайними шлюзовь ны расширительные зобре ется тем, что оедипены с атуюп;их камерклапана: и и ми смонтироваль достига клапаны с вом фильтр агнитными ми камера камеры.редм крытий в в меру, вход е камеры с а входы кра Устрой кууме, с выход к 0 единены нанесения по рабочую к ез шлюзовы ои, причем нтво для держаще торой чеатмосфе Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для металлургии деталей и получения тонких пленок, широко используемых в микроэлектронике.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру, вход и выход которой через шлюзовые камеры соединены с атмосферой, причем на входы крайних шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны для впуска воздуха.Недостатком известного устройства является то, что крайние шлюзовые камеры соединяются с атмосферой через электромагнитные клапаны и в камеру попадает загрязненный воздух и влага.Кроме того, крайние шлюзовые камеры соединяются с атмосферой через небольшие отверстия, в связи с чем воздух врывается в камеры с большой скоростью, образует там завихрение и срывает со стенок, камеры пыль,бочей камеры 1входы крайних овлены электро- орые соединены ильтрующих канитными клапазовыми камераирительные кает следующим ьта срабатывает Воздух проходитпо трубопрово в расшириойным потоком410138 них,шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, электромагнитные клапаны соединены с атмонисимов тавите Техред орректор Н: А Тараненк евина едак Подпиа Тираж 875омитета Совета Министроетений и открытийаушская наб, д 4/5 Заказ 1017/13ЦНИИП пография, пр. Сапунова, 2 Изд. М Збб Государственного по дела 1 е.ааоб Москва, Ж;Рсферой посредством фильтрующих камер, а между электроматнитными клапанами и крайними шлюзовыми камерами смонтированы расширительные камеры.

Смотреть

Заявка

1750632, 22.02.1972

МПК / Метки

МПК: C23C 14/56

Метки: 410138

Опубликовано: 05.01.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-410138-410138.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">410138</a>

Похожие патенты