Патенты с меткой «411171»

Номер патента: 411171

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: C23C 14/56

Метки: 411171

...уплотнен по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной камерой, причем полость, образованная корпусом и затвором, соединена с пневмосистемой, а затвор зажат в крахиих точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пиевмосистсмой. Зто обеспечивает надежную работу устройства.На фиг. 1 показано описываемое устройство в закрытом положении, поперечный разрез и разрез по А - А; на фнг. 2 - устройство в открытом положении, поперечиьи 1 разрез и разрез по Б - Б.Устройство включает корпус 1, внутри которого смо тироваи затвор 2 в виде чулкообразпой диафрагмы из эластичного материала, герметично уплотненный по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной...