Всесоюзная•1-
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 368350
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Сенатских Сспиалистическик РоспаликЗависимое от авт, свидетельстваМ, Кл. С 23 с 13/08 Заявлено 27.Ч.1970 ( 1465536/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 26.1,1973. Бюллетень9Дата опубликования описания 4.1 Ч.1973 Комитет по делам иаосретений и открытий при Совете Министров СССР".;"ЕСОЮЗЬАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован паворотный шлюзовой ротор. Однако в этой установке ротор по периферии недостаточно уплотнен,Цель изобретения - создание герметичного периферийного уплотнения ротора. Это достигается тем, что ротор выполнен из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством.На фиг, 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1,Установка состоит из камеры 1, внутри которой расположен испаритель 2, и шлюзового устройства, выполненного в виде корпуса 3, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор 4 из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями 5, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством, например вакуумной резиной, поджимаемой со стороны торцов тарелками б и создающей под действием торцового прижима тарелок радиальное расширение поворотного шлюзового ротора и герметичное прижатие его к поверхности трения, Корпус со стороны торцов герметично уплотнен крышками 7 и 8, в которых встроены подшипники 9 и манжет ное уплотнение вала шлюзового ротора, соединенного с приводом поворота 1 О. К корпусу 3 пристыкована система промежуточной откачки 11 для создания предварительного разряжения в кармане шлюзового ротора с 10 изделием, поступающим с загрузочной позиции, находящейся в зоне с атмосферным давлением.Изделие загружают из атмосферы черезбоковое отверстие корпуса в карман шлюзо вого ротора 4. Ротор от привода 10 поворачивается и переводит изделие на позицию про- межуточноЙ окачки 11, а затем в камеру 1.Далее транспортным механизмом 12 изделие из кармана шлюзового ротора перемецается 20 иа позицию технологической обработки ИВ данном случае в качестве технологической обработки показан процесс катодного распыления в среде инертного или химически активного газа (реактивное распыление), для ко торого наиболее эффективно применениепредлагаемой полуавтоматической вакуумной шлюзовой установки в силу высокой произво.дительности, простоты регулирования и кон.троля параметров процесса. Напуск заданно го газа происходит непрерывно через систему368350 Предмет изобретения остави гель А, Смирнов Техред Т. Усков Редактор О. Филиппова а Корректоры: Н. Аук и Е. ДенисоваЗаказ 675/19 Изд,187 Тираж 826Ц 1.111 ИПИ Когннгета во делам нзобретенн 1 г н открытий нргг Совете М.1 оскв;, Ж.35, Раугнская наб., д, 4)5 Подписноеистров СССР пографня, нр. С нова,3напуска 14. Одновременно с технологической обработкой изделия идет выгрузка в атмосферу готового изделия и загрузка очередного полуфабриката в диаметрально расположенный,карман шлюзовото ротора 4.После технологической обраоотки изделие перемегцается транспортным механизмом 12 обратно в карман шлюзового ротора 4 и выводится на исходную позицию. Причем, одновременно в камеру 1 поступает очередной полуфабрикат, ранее загруженный оператором в диаметрально расположенный карман шл,юза,Установка для нанесения покрытий в ваууме, содержащая камеру, внутри которой 5 расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовый ротор, отличающийся тем, что, с целью создания герметичного периферийного уплот нения ротора, последний выполнен из самосмазывающегося материала с,кольцевыми и полукольцевыми полостями, запюлненными материалом, обладающим гидростатическим свойством.
СмотретьЗаявка
1465536
МПК / Метки
МПК: C23C 14/56
Метки: всесоюзная1
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-368350-vsesoyuznaya1.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всесоюзная•1-</a>
Предыдущий патент: Установка для нанесения покрытий в вакууме
Следующий патент: Устройство для автоматической компенсации блуждающих токов знакопеременных направлений
Случайный патент: Способ приготовления катализатора для риформинга н-гептана