Раствор для избирательного травления алюминия
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 31.Ч 111.1970 ( 1470916/22-1) М. Кл. С 231 1(02 с присоединением заявки-Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРПриоритетОпубликовано 23.Ч 111.1972. Бюллетень25Дата опубликования описания 7,1 Х.1972 УДК 621.794.424(088.8) Авторыизобретения Б, Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова, Г. М. Белевич и А. М. Сорокина Заявитель РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯП р н м е р 1. Травление15 ре следующего состава, г:Хромовый ангидридФторид цатрняБромнд кадмияКрахмал20 Вода проводят в раство 50540 0,1 до 1 л Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для изготовления тонкопленочных конденсаторов, элементов контактов для схем микроэлектроники и т. д.Известен раствор для избирательного травления алюминия, содержащий хромовый ангидрид и соединение фтора,Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав коллоида н соли кадмия, а в качестве, соединения фтора - фторид щелочного металла при определенном соотношении компонентов, что обеспечивает воспроизводимость процесса. Раствор содержит хромовый ангидрид, фторид щелочного металла, коллоид и соль кадмия при следующем соотношении компонентов, г/л;Хромовый ангидрид 40 - 80 Фторид щелочного металла 5 - 15 Коллоид (сухое вещество) 0,1 - 5 Соль кадмия 20 - 40 Вода Остальное Раствор приготавливают путем растворения хромового ангидрида, фторида и соли кадмия в воде и введения в приготовленный раствор коллоида, После приготовления раствор необходимо выдержать в течение суток в закрытом фторопластовом сосуде прц комнатной температуре, после чего раствор готов к работе.В качестве фторида могут применять фторнды натрия, калия и аммония. В качестве кол лоида используют раствор жидкого стекла(ТУ- 62), декстрин или крахмал, Соль кадмия добавляют в раствор для повышения стойкости используемых фоторезистов в травителе, Для этой же цели можцо использовать 10 соли кобальта. В качестве солей кадмия плцкобальта могут быть применены ацетаты илц бромнды. прн комнатной температуре,Время травления пленки толщиной 2,4 лтк -2 лтик 15 сек при перемешцваниц, Данный со став обеспечивает качественное воспроизведение микрорельефа со штрнхамц Зъ;200 льк с использованием фоторсзцстов ФП-ЗЗЗВ н ФП (НИОП и К).П р и м е р 2. Травлецие проводят в раство- ЗО ре следующего состава, г;348645 Предмет изобретения Хромовый ангидридФторид аммонияЖидкое, стеклоАцетат кадмияВода 8060,4 34 до 1 л при комнатной температуре. Составитель В, Лебедева Техред Л. КуклинаРедактор О. Филиппова Корректор Т. Китаева Заказ 2876,15 Изд. Мв 1193 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делана изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Время травления пленки толщиной 2,4 мк - 2 мин 15 сек при перемешивании. Состав обеспечивает качественное воспроизведение штрихов ЗХЗОО мк с фоторезистами ФП-ЗЗЗП, ФП(НИОП и К) и ФП(ЭЛМА). Раствор для избирательного травленияалюминия, содержащий хромовый ангидрид и 5 соединение фтора, отличающийся тем, что, сцелью обеспечения воспроизводимости процесса, в его состав введены коллоид и,соль кадмия, а в качестве соединения фтора - фторид щелочного металла при следующем соотноше нии компонентов, г/л;Хромовый ангидрид 40 - 80 Фторид щелочного металла 5 - 15 Коллоид (сухое вещество) 0,1 - 5 Соль кадмия 20 - 40 Вода Остальное
СмотретьЗаявка
1470916
Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова, Г. М. Белевич, А. М. Сорокина
МПК / Метки
Метки: алюминия, избирательного, раствор, травления
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-348645-rastvor-dlya-izbiratelnogo-travleniya-alyuminiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для избирательного травления алюминия</a>