Раствор для избирательного травления алюминия
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 31.Ч 111.1970 ( 1470916/22-1) М. Кл. С 231 1(02 с присоединением заявки-Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРПриоритетОпубликовано 23.Ч 111.1972. Бюллетень25Дата опубликования описания 7,1 Х.1972 УДК 621.794.424(088.8) Авторыизобретения Б, Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова, Г. М. Белевич и А. М. Сорокина Заявитель РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯП р н м е р 1. Травление15 ре следующего состава, г:Хромовый ангидридФторид цатрняБромнд кадмияКрахмал20 Вода проводят в раство 50540 0,1 до 1 л Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для изготовления тонкопленочных конденсаторов, элементов контактов для схем микроэлектроники и т. д.Известен раствор для избирательного травления алюминия, содержащий хромовый ангидрид и соединение фтора,Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав коллоида н соли кадмия, а в качестве, соединения фтора - фторид щелочного металла при определенном соотношении компонентов, что обеспечивает воспроизводимость процесса. Раствор содержит хромовый ангидрид, фторид щелочного металла, коллоид и соль кадмия при следующем соотношении компонентов, г/л;Хромовый ангидрид 40 - 80 Фторид щелочного металла 5 - 15 Коллоид (сухое вещество) 0,1 - 5 Соль кадмия 20 - 40 Вода Остальное Раствор приготавливают путем растворения хромового ангидрида, фторида и соли кадмия в воде и введения в приготовленный раствор коллоида, После приготовления раствор необходимо выдержать в течение суток в закрытом фторопластовом сосуде прц комнатной температуре, после чего раствор готов к работе.В качестве фторида могут применять фторнды натрия, калия и аммония. В качестве кол лоида используют раствор жидкого стекла(ТУ- 62), декстрин или крахмал, Соль кадмия добавляют в раствор для повышения стойкости используемых фоторезистов в травителе, Для этой же цели можцо использовать 10 соли кобальта. В качестве солей кадмия плцкобальта могут быть применены ацетаты илц бромнды. прн комнатной температуре,Время травления пленки толщиной 2,4 лтк -2 лтик 15 сек при перемешцваниц, Данный со став обеспечивает качественное воспроизведение микрорельефа со штрнхамц Зъ;200 льк с использованием фоторсзцстов ФП-ЗЗЗВ н ФП (НИОП и К).П р и м е р 2. Травлецие проводят в раство- ЗО ре следующего состава, г;348645 Предмет изобретения Хромовый ангидридФторид аммонияЖидкое, стеклоАцетат кадмияВода 8060,4 34 до 1 л при комнатной температуре. Составитель В, Лебедева Техред Л. КуклинаРедактор О. Филиппова Корректор Т. Китаева Заказ 2876,15 Изд. Мв 1193 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делана изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Время травления пленки толщиной 2,4 мк - 2 мин 15 сек при перемешивании. Состав обеспечивает качественное воспроизведение штрихов ЗХЗОО мк с фоторезистами ФП-ЗЗЗП, ФП(НИОП и К) и ФП(ЭЛМА). Раствор для избирательного травленияалюминия, содержащий хромовый ангидрид и 5 соединение фтора, отличающийся тем, что, сцелью обеспечения воспроизводимости процесса, в его состав введены коллоид и,соль кадмия, а в качестве соединения фтора - фторид щелочного металла при следующем соотноше нии компонентов, г/л;Хромовый ангидрид 40 - 80 Фторид щелочного металла 5 - 15 Коллоид (сухое вещество) 0,1 - 5 Соль кадмия 20 - 40 Вода Остальное
СмотретьЗаявка
1470916
Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова, Г. М. Белевич, А. М. Сорокина
МПК / Метки
Метки: алюминия, избирательного, раствор, травления
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-348645-rastvor-dlya-izbiratelnogo-travleniya-alyuminiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для избирательного травления алюминия</a>
3-(5-арилоксазолил-2)фталевые кислоты или их ангидриды или соли в качестве люминофоров
Номер патента: 558914
Опубликовано: 25.05.1977
Авторы: Ковалев, Красовицкий, Шершуков, Юшко
МПК: C07D 263/32
Метки: 3-(5-арилоксазолил-2)фталевые, ангидриды, качестве, кислоты, люминофоров, соли
...кислоты,0,5 г 3-(5-фенипоксазопип)-фтапевоого ангидрида растворяют при 40 С в 200 мп5%-ного раствора едкого натра.Л макс. люминесценции раствора - 405 нм.Абсопютный квантовый выход раствораО 36.П р и м е р 6. Получение 3-(5-(оксазопип-фтапевого ангидрида.Реакцию проводят анапогично примеру 1,оисходя из охлажденной до 10 С смеси растворов 20 г хпорангидрида тримеппитовойкислоты и 16,5 г хпоргидрата и-метил-Ы-аминоацетофенона в указанном для примера 1 копичестве тех же растворитепей.Количество уксусного ангидрида для перекристаппизации - 85 мп.Выход целевого пРодУкта 17,4 г (63%)т. пп. 210-211 С.Найдено,4: С 70,3; Н 3 6;М 4,6С, Н,МО.Вычиснейо%; С 70 8; Н 3, 6; Я 4, 6.П р и м е р 7. Целевой продукт примера 6 попучают описанным в...
Способ получения щелочной или аммониевой соли инсулина
Номер патента: 624563
Опубликовано: 15.09.1978
Автор: Ричард
МПК: A61K 38/28
Метки: аммониевой, инсулина, соли, щелочной
...в водной щелочной среде с рН, равным приблизительно 8 - 9,5, рН конечного раствора 7,6 - 8,6. Щелочность исходного водного раствора обеспечивают за счет гидроокиси щелочного металла или аммония,Восстановление щелочности достигают добавлением разбавленной неорганической кислоты, соляной нли фосфорной,Концентрированные растворы в инсулине на двухвалентном металле являются более трудными для приготовления, чем разбавленные растворы из-за пониженной растворимости инсулинов на двухвалентном металле в щелочном растворе,Хелатообразующий агент и ионы щелочного металла или аммония можно вводить в любое время, обычно их вводят перед стадией окончательной доводки рН.После приготовления водного раствора инсулина с двухвалентным металлом,...
Раствор для травления тонкопленочной структуры титан алюминий
Номер патента: 968098
Опубликовано: 23.10.1982
МПК: C23F 1/00
Метки: алюминий, раствор, структуры, титан, тонкопленочной, травления
...травления по примеру 2 для граничных и средних значений концентраций компонентов, входящих в раствор, сведены в таблицу (изменение скорости и состояние качества травления структуры титан- алюминий от содержания компонентов в растворе). 35 Скорость травления, НАВОЗ (МН) 5 Ге мкм/мин Содержание компонентов Рас тПримечание вор 0,22 50 300 3,0 0,36 4,0 0,4 80 400 5,0 0,41 405 0,41 410 90 5,5 0,41 415 95 0,41 420 100 6,0 0,38 ч 80 120 7,0 0,38 140 8,0 500 0,36 160600 10,0 10 алюминий на топологическом рисунке микросхем наблюдаются перетравы, неровности края элементов составляют более 5 мкм,Вследствие большого содержания хромового ангидрида раствор имеет интенсивную окраску, что значительно затрудняет визуальный контроль за процессом...
4-(3-арил-5-фенил-2-пиразолинил-1)фталевые кислоты, или их метиловые эфиры, или ангидриды, или соли в качестве фотостабильных органических люминофоров сине-зеленого свечения
Номер патента: 1173705
Опубликовано: 30.12.1993
Авторы: Красовицкий, Шершуков, Шеховцова
МПК: C07D 231/06, C09K 11/06
Метки: 4-(3-арил-5-фенил-2-пиразолинил-1)фталевые, ангидриды, качестве, кислоты, люминофоров, метиловые, органических, свечения, сине-зеленого, соли, фотостабильных, эфиры
...Н 4,2; й 7,9.С 23 Н 16 И 203.Вычислено, %: С 77,0; Н 4,4; й 7,8.П р и м е р 6, Ангидрид 4-(З-стирил-фе-.нил-пираэолинил)фталевой кислоты (Зб),Получают аналогично примеру 5 иэ7,9 г (0,02 моль) 4-(3-стирил-фенилпираэолинил)фталевой кислоты (1 б), выход 6,9 г(87%),Соединение Зб очищают путем хроматографирования его бензольного растворав колонке непрерывного действия с окисьюалюминия, т,пл. 267 - 268 С.Найдено, %; С 76,0; Н 4,7; й 7.3,С 25 Н 188203,Вычислено, %: С 76,2; Н 4,6; й 7,1,П р и м е р 7, Динатриевая соль 43.5-дифенил-пиразолинил)фталевой кислоты (4 а),В колбу емкостью 500 мл, снабженную механической мешалкой и обратным холодильником, помещают 29 г (0,07 моль) диметиловогоэфира 4-(3,5-дифенил-пиразолинил)фталевой кислоты (2 а)...
Способ получения щелочных или щелочноземельных солей 2сульфат-аскорбиновой кислоты
Номер патента: 582763
Опубликовано: 30.11.1977
Авторы: Киеси, Хиронари, Эйичи, Юкио
МПК: C07D 307/62
Метки: 2сульфат-аскорбиновой, кислоты, солей, щелочноземельных, щелочных
...С 19,60; Н 2,74П р и м е р 3. 43,2 г 5,6-0-иэопропилиден -аскорбиновой кислоты бб растворяют в 300 мл днметилформамидК полученной смеси по каплям добавляют 274 мл раствора 48 г серногоан гидрида н 700 мл диметнлформамидапри 0-10 С. Смесь перемешивают прикомнатной темпераутре 3 ч, затемдобавляют 2 н. раствор едкого натрадо рН 7. Продукт отфильтровывают,фильтрат концентрируют и р .творяютн воде, добавляют 2 н. раствор соляной кислоты до рН 2, 3 и получают24,6 г белых кристаллов мононатриевой соли 2-сульфат,6-0-изопропилиден- ( -аскорбиновой кислоты. Продукт растворяют н 60 мл воды, перемешивают при 60 С 45 мин, охлаждают,добанляют метанол, кристаллиэуя продукт, и получают 83,3 г (88,7) белых кристаллон динатриевой соли 2-сульфат...