Крепцева
Устройство для совмещения заготовки твердой схемы с фотошаблоном и экспонирования
Номер патента: 367571
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Авторы, Коровин, Крепцева, Лесковска, Нов, Холстова, Шеходанов
МПК: H01L 21/027
Метки: заготовки, совмещения, схемы, твердой, фотошаблоном, экспонирования
...4, цилиндр 5, 10 жестко связанный с каретками б и 7, корпус8 с закрепленным на нем фотошаблоном 9 и опорную плиту 10. На штоке размещена колонка 11 со сферическим столиком 12 и закрепленной на нем заготовкой 13 твердой 15 схемы. На плите 4 размещена резьбоваявтулка 14 с микровинтом 15 и лимбом 1 б. Рьтчаг 17, шарнирно связанный с подвижной гильзой 3, выступом опирается на основание паза штока манипулятора. На цилиндре 5 20 размещена тормозная камера 18 с плунжером 19.Под действием сжатого воздуха шток двигается вверх и поворачивает рычаг 17, который свободным концом упирается в микро винт 15 и обеспечивает жесткую кинематическую связь с плитой 4 гильзы 3, Система шток - подвижная гильза двигается.вверх до прижатия заготовки 13 к...