H01L 21/32 — с использованием масок

Номер патента: 317335

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Георгиевская, Мельникова, Пелезнева

МПК: H01L 21/32

Метки: нанесенным, пластину, полупроводника, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...и фиксируют рисунки наэкране преобразователя инфракрасного излучения в видимое,5Совмещение осуществляют следующим обраПластину с рисунком, нанесенным на однусторону, и фоторезистом, нанесенным на дру.10гую сторону, располагают на столике стандартФной кассеты для совмещения рисунком книзуи освещают снизу лампой с вольфрамовойнитью накала, Сверху накладывают фотошаблон.Столик с пластиной подводят к шаблону, но15между пластиной и шаблоном оставляют зазор,позволяющий перемещать шаблон вдоль плас.тины, Изображения рисунков фокусируют наэкране преобразователя с помощью микроскопа МБС - 2. Шаблон перемещают вдоль пластины до тех пор, пока изображения рисунковпластины и фотошаблона на экране преобразователя не совместятся. Затем пластину...