Устройство для совмещения заготовки твердой схемы с фотошаблоном и экспонирования

О П И С А Н И Е 367571ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союэ Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваН 05 с 3/10Н 011 19/О аявлено 23.ЧШ,1968 ( 126423826-2 М,инением заявкис при ори Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано 23,1,1973, Бюллетень8Дата опубликования описания 16.1 П.1973 К 621.382.2/3(088. Авторы зобретен Коровин, Н. А, ХолстоваН. П, Лесковская нко, М. П, Шеходанов, И А, Сиянов, В. Н, Крепцев явитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВКИ ТВЕРД СХЕМЫ С фОТОШАБЛОНОМ И ЗКСПОНИРОВАНИЯ Изобретение относится к области электронной техники и предназначено для изготовления твердых схем и полупроводниковых приборов.Известные устройства для совмещения заготовки твердой схемы с фотошаблоном и экспонирования, содержащие манипулятор для совмещения заготовки с фотошаблоном, микроскоп, лампу экспонирования, блоки управления и питания, характеризуются недостаточно высокой точностью совмещения, так как рабочий зазор между заготовкой и фотошаблоном, необходимый для совмещения, устанавливается или щупом, или по базовым упорам.В предлагаемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что манипулятор снабжен механизмом прецизионной регулировки рабочего зазора между заготовкой твердой схемы и фотошаблоном,Кроме того, механизм прецизионной регулировки рабочего зазора выполнен в виде двух подвижных плит, одна из которых снабжена микровинтом и неподвижно соединена с подвижной гильзой, в которой шарнирно закреплен рычаг, проходящий через окно штока манипулятора и связанный с другой подвижной плитой. При этом свободный конец рычага взаимодействует с микровинтом так, что заданный посредством лимба зазор между рычагом и пятой микровинта при движении штока манипулятора вверх образует соответствгнно зазор между подвижными плитами, обеспечивающий при последующем опускании штока манипулятора и зафиксированном положении подвижной гильзы рабочий зазор между 5 фотошаблоном и заготовкой твердой схемы.На чертеже показан манипулятор с механизмом регулировки рабочего зазора.Манипулятор содержит шток 1 с плитой 2,подвижную гильзу 3 с плитой 4, цилиндр 5, 10 жестко связанный с каретками б и 7, корпус8 с закрепленным на нем фотошаблоном 9 и опорную плиту 10. На штоке размещена колонка 11 со сферическим столиком 12 и закрепленной на нем заготовкой 13 твердой 15 схемы. На плите 4 размещена резьбоваявтулка 14 с микровинтом 15 и лимбом 1 б. Рьтчаг 17, шарнирно связанный с подвижной гильзой 3, выступом опирается на основание паза штока манипулятора. На цилиндре 5 20 размещена тормозная камера 18 с плунжером 19.Под действием сжатого воздуха шток двигается вверх и поворачивает рычаг 17, который свободным концом упирается в микро винт 15 и обеспечивает жесткую кинематическую связь с плитой 4 гильзы 3, Система шток - подвижная гильза двигается.вверх до прижатия заготовки 13 к фотошаблону. Тормозная камера 18 плунжером 19 фиксирует 30 подвижную гильзу в верхнем положении.Полость цилиндра 5 соединена с вакуумной367571 Поднисное Тираж 755 Изд.1164 Заказ 530/12 Типография, пр, Сапунова, 2 3магистралью и шток 1 со столиком 12 опускаются вниз относительно зафиксированной подвижной гильзы до упора плиты 2 в плиту 4; Рычаг 17 возвращается в исходное положение. В случае необходимости изменение величины рабочего зазора достигается поворотом микровинта, после чего цикл повторяется,Точная ориентация по углу заготовки относительно фотошаблона производится механизмом, выполненным в виде гидропровода, который содержит две камеры, соединенные гидропроводом, два сильфона со штоками, Кроме того, он снабжен микровинтом, который воздействует через систему шток - сильфон - шток на рычаг, обеспечивающий точный поворот заготовки твердой схемы.Контроль за процессом совмещения осуществляется при помощи микроскопа. Экспонирование проводится после совмещения рисунка заготовки и прижатия к фотошаблону. Предмет изобретения 1. Устройство для совмещения заготовкитвердой схемы с фотошаблоном и экспониро 4вания, содержащее манипулятор для совмещения заготовки с фотошаблоном, микроскоп,лампу экспонирования, отличающееся тем, что,с целью повышения точности совмещения, в5 него введен механизм прецизионной регулировки рабочего зазора между заготовкой твердой схемы и фотошаблоном,2. Устройство по и. 1, отличающееся тем,что механизм прецизионной регулировки рабо 10 чего зазора выполнен в виде двух подвижныхплит, одна яз которых снабжена микровинтом и неподвижно соединена с подвижнойгильзой, в которой шарнирно закреплен рычаг, проходящий через окно штока манипулятора и связанный с другой подвижной плитой;при этом свободный конец рычага взаимодействует с микровинтом таким образом, что заданный посредством лимба зазор между рычагом и пятой микровинта при движении штока манипулятора вверх образует соответственно зазор между подвижными плитами, обеспечивающий при последующем опускании штока манипулятора и зафиксированном положении подвижной гильзы рабочий зазор между25 фотошаблоном и заготовкой твердой схемы.