Интерференционный способ измерения толщины пленок

Номер патента: 1401266

Авторы: Бандура, Пашкуденко, Стринадко

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 50 4 6 01 В 11/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Черновицкий государственный университет(56) Авторское свидетельство СССРМ 145756, кл. 6 01 В 11/06, 1962.(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК(57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок ислоев. Цель изобретения - повышение точЯО 1401266 А 1 ности и диапазона измерений достигается использованием рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки. Измеряемую пленку облучают когерентным рассеянным светом. Перемещая интерференционную головку микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, возникающих при интерференции падающего света и отраженного от наружной и внутренней поверхностей пленки, а толщину пленки с 1 определяют по формуле д = и Ь, где и - показатель преломления пленки; Ь - расстояние между систем ам и и нтерферен пи он и ы х полос.1401266 Формула изобретения Составитель Б. ТимофееваРедактор О. Головац Техред И. Верес Корректор А. ЗимокосовЗаказ 2532/38 Тираж 680 Г одни сноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно.полиграфицеское предприятие, г. Ужгород, ул. Проектвая, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок,Цель изобретения - повышение точности и расширение диапазона измерений путем использования рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки. Способ осуществляется следующим образом.Измеряемую пленку облучают когерентным рассеяным светом перпендикулярно ее поверхности, с помощью микроинтерферометра регистрируют интерференционную картину, образованную светом, падающим перпендикулярно поверхности пленки и отраженным от ее наружной и внутренней поверхностей по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, а толщину пленки д определяют по формуле д = и Ь, где и - показатель преломления пленки; Ь - расстояние между системами интерференционных полос.Предлагаемый способ позволяет сущест венно расширить диапазон и повысить точность измерений вследствие использования когерентного излучения с известной длиной волны, а также расширить класс исследуемых материалов пленок путем использования излучения с длиной волны, соответствующей обл асти п розр а ч ности м атер и ал а пленок. Интерференционный способ измерения толщины пленок с известным показателем и преломления, заключающийся в том, что измеряемую пленку облучают когерентным светом перпендикулярно ее поверхности, регистрируют с помощью микроинтерферометра интерференционную картину, образованную светом, нада ющим перпендикулярно поверхности пленки и отраженным от ее наружной и внутренней поверхности, и измеряют расстояние и между системами интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, для облучения пленки используют рассеянный свет, расстояние между системами интерференционных полос определяют по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, а толщину с 1 пленки определяют по формуле с = и Ь.

Смотреть

Заявка

4123773, 16.06.1986

ЧЕРНОВИЦКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

ПАШКУДЕНКО ВАЛЕРИЙ ПЕТРОВИЧ, БАНДУРА МИРОСЛАВ ПЕТРОВИЧ, СТРИНАДКО МИРОСЛАВ ТАНАСИЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 11/02

Метки: интерференционный, пленок, толщины

Опубликовано: 07.06.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1401266-interferencionnyjj-sposob-izmereniya-tolshhiny-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерференционный способ измерения толщины пленок</a>

Похожие патенты