Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении и прибор для осуществления способа

Номер патента: 72947

Автор: Линник

ZIP архив

Текст

Юо 72947 СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУВ. П. Линник ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ НАБЛЮДЕНИЯ МИКРОПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ В ЗАДАННОМ ЕЕ СЕЧЕНИИ И ПРИБОР ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБАЗаявлено 21 декабря 1944 г. за М 0354/335869 Предлагаемый прибор дает возможность наблюдать интерференционную картину исследуемой поверхности и благодаря этому определять качество обработки поверхности изделий с большей точностью,Схема прибора показана на чертеже.Лучи, выходящие из вертикальной щели 5, освещенной каким-либо и"точником белого света, попадают на полупрозрачное зеркало М. Часть их, отраженная от зеркала М, пройдет через объектив микроскопа О, и даст на наблюдаемом объекте Т изображение щели 5 а, затем лучи пройдут через зеркало М, цилиндрическую линзу С, ось которой лежит в плоскости чертежа, и дадут изображение 5, щели 5, Часть лучей, прошедшая полупрозрачное зеркало М в горизонтальном направлении, .проходит через второй микрообъектив Оъ попадает на систему из двух зеркал Р, и Р 9, составляющих прямой угол друг с другом, и образует в пространстве между зеркалом изображение щели 5,После отражения от зеркал Р, и Р, и прохождения обратно через объектив Оа лучи, отразившись вверх от зеркала М и пройдя через цилиндрическую линзу С, дают второе изображение 5, щели 5.При достаточно малой ширине щели 5 изображения 5, и 5, будут испускать когерентные лучи и, в случае плоского объекта Т, будут подобно изображениям щели в любой из схем фремелевской интерференции давать интерференционную картину, рассматриваемую окуляром О. Если окуляр О будет установлен таким образом, что в него будут четко видны изображения щели 5 без цилиндрической линзы С, или, иначе говоря, лучи, исходящие из точек 5 а и лежащие в плоскости, проходящей через ось цилиндрической линзы С, будут давать изображения в предметной плоскости окуляров О, то интерференционная картина, наблюдаемая в окуляр в каждом ее сечении плоскостью, перпендикулярной изображениям щелей 5, и 52, будет характеризоваться расстоянием со72947ответствующей точки Яз от некоторой постоянной плОскОсти. Если поверхность Т не будет плоской, то сдвиг центральной полосы будет пропорционален этому расстоянию. Иначе говоря, интерференционные полосы 1 будут извилистыми, а их форма будет воспроизводи 1 гь профиль проверяемой поверхности в сечении, определяемом местом изображения.Предмет изобретения1, Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении, основанный на получении интерференции ог двух изображений источника света, одного отраженного испытуемой поверхностью и имеющего разности хода, и второго, образованного;овершенной оптической системой, от л и ч а ющи й с я тем, что в качестве источника света применяют щель, изображение которои проектируют на испытуемую поверхность, а для раздельного наблюдения интерференции в областях, соответствующих каждой точке сечения поверхности, на пути обоих интерферирующих пучков располагают асигматическую систему.2. Прибор для осуществления способа по п. 1, выполненный в виде микроинтерферометра Линника, о тл и ч а ю щи й с я тем, что в качестве источника света в нем применена щель, лежащая в плоскости симметрии прибора, проектируемая на испытуемую поверхность и на эталонную поверхность, выполненную в виде двойного зеркала с двухгранным прямым углом, Оиссектриса коорого расоложеа в плососи симерии прибора и который назначен для смещения одного изображения щели относительно другого, а между диагональным зеркалом микроинтерферометра и окуляром установлена цилиндрическая линза.3. Прибор по п. 2, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что для наблюдения интерференции, соответствующей каждой точке сечения используемой поверхности, применена цилиндрическая линза, установленная между диагональным зеркалом микроинтерферометра и его окуляром.

Смотреть

Заявка

335869, 21.12.1944

Линник В. П

МПК / Метки

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02, G02B 17/06

Метки: заданном, интерференционный, микропрофиля, наблюдения, поверхности, прибор, сечении, способа

Опубликовано: 01.01.1948

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-72947-interferencionnyjj-sposob-nablyudeniya-mikroprofilya-poverkhnosti-v-zadannom-ee-sechenii-i-pribor-dlya-osushhestvleniya-sposoba.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении и прибор для осуществления способа</a>

Похожие патенты