Способ определения разнотолщинности пленки

(19 4 С 01 В 11/О ОМИТЕТ СССР НИЙ И ОТКРЫТИ ГОСУДАРСТВЕННЫ ПО ДЕЛАМ ИЗОБР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ри 2(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТИ ПЛЕНКИ(57) Изобретение относится к измерительнойтехнике и может быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающиеполупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Светот источника 1 проходит через конденсор 2,светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой, изменяет свои параметры, проходит через фазовую пластину 5 в , анализатор 6 и светофильтр 7. Измен. 4няют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6 и получают минимальную интенсивность света, Визуально оценивают равномерность пленки, выбирают характерные точки и с помощью сетки 8 находят их координаты, по которым строят номограммы. С их помощью определяют поправки к углу наблюдения. Вновь изменяют азимуты поляризации и повторно определяют толщины с учетом поправок к углу наблюдения. По разности полученных значений толщин пленок в выбранных точках Я определяют разнотолщинность пленки. 1 ил.Составитель Н. ЗахаренкоРедактор О. Головач Техред И. Верес Корректор А. ЗимокосовЗаказ 2532/38 Тираж б 80 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки.Целью изобретения является повышение точности.На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.Устройство содержит источник 1 света, конденсор 2, светофильтр 3, линейный по 3.ляризатор 4, фазовую пластину 5 - , анализатор 6, светофильтр 7, координатную сетку 8 с постоянным шагом и пленку 9.Способ реализуют следующим образом.Свет от источника 1 проходит через конденсбр 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на исследуемую пленку 9. Отражаясь от исследуемой пленки 9, линейно поляризованный свет изменяет свои параметры и в общем случае превращается в эллиптически поляризованный свет, азимут которого отличается от азимута, падающего на пленку 9 линейно поляризованного света, проходит через фазовую пластину 5, анализатор 6 и светофильтр 7.Изменяют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6, расположенных в падающем и отраженном свете при неизменном положении фазовой пластины 5, и получают минимальную (нулевую) интенсивность наблюдаемого глазом поляризованного света. Если пленка разнотолщинная, минимальная интенсивность достигается только на тех участках, где толщина пленки одинакова. Остальные участки светлее. Таким образом, получают визуально наблюдаемые изображения темных и светлых участков пленки.Визуально оценивают равномерность пленки и выбирают характерные точки для исследования (количество точек определяется характером наблюдаемой картины и задачей на проведение исследований). Для выбранной точки, например, на темном участке с помощью координатной сетки 8 находят координаты точки х, у., по которым, пользуясь полученными заранее исходя из формулы ьф =1(х;,у;) номограммами, определяют поправку к углу наблюдения по зависимостиХ,+уЬф =+ агс(д5нгде 1. - расстояние от характернои точки довходного зрачка устройства.Изменением азимутов анализатора и поляризатора 4 для данной точки настраивают устройство на минимальную интенсив ность до тех пор, пока светлые участки нестанут темными. Определяют параметры поляризованного света, по ним с учетом поправки к углу наблюдения для вновь выбранной точки находят толщину планки.По разности полученных значений толщин пленки в выбранных точках определяютразнотолщинность пленки. Способ определения разнотолщинностипленки, заключающийся в том, что направляют на поверхность пленки параллельный поляризованный пучок монохроматического света, изменяют параметры поляризованно го пучка света до получения визуально наблюдаемых изображений темных и светлых участков и определяют толщину пленки в разных местах, по разности которых судят о разнотолщинности пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, проЗ 0 изводят выбор нескольких характерных точек на пленке, определяют их координаты с помощью прямоугольной координатной сетки с постоянным шагом, по номограммам зависимости Ьф =1(ху;),35где Ь ф - поправка к углу характерных то.чек;х;, у; - координаты характерных точек,определяют поправку к углу наблюдения позависимости40 где 1. - расстояние от характерной точки довыходного зрачка устройства, а определение разнотолщинности пленки производят с учетом поправки к углу наблюдения.