Полупроводниковый тензорезистор

Номер патента: 302589

Авторы: Заган, Рыбак, Сандулова

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОВРЕТЕН И ЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 302589 Союз Соввтскнк Социалистическиз РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМПК 6 011) 7/1 11.1969 ( 1316047/25-28 аявле ением заявк с присое Го Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР. В. Саидулова. Заявите ОРЕЗИСТОР ЛУПРОВОДНИКОВЫЙ чения концентрации примесей 10 зсЯ. Посл" откачки до вакуума 10 -.г рт. ст. и отпайки ампулу помещают в печь, где температура зоны источника составляет 650 - 800 С, а температура зонь; кристаллизации 450 - 550 С.При небольшом перепаде температуры из 40 - 50 лг йода вырастают кристаллы совершенной формы,с идеально гладкими гранямп. Выращенные нитевидные кристаллы име 1 от форму правильн 11 х трехгранных призм толщиной 20 - 40,гк, длиной от 3 до 10 1,1, вытянутых вдоль кристаллографического направления (111). Коэффициент тензочувствительности нитевидных кристаллов антимонида галлия гг-тита с концепт;)ацией пр 111 ссей 1,4 10 в с,7 з равен - 110. 10 15 О Полупроводниковый тензорезистор на основе антимонида галлия гг-типа, выполненный в виде нитевидного кристалла, от.гичаго 1111 ся тем, что, с целью повышения тензочувствитсльности, он выполнен в виде монокристал.5 ла, выращенного в кристаллографическом папавлени 11 (111) посрсдс Гвом хи)11 сск 1 х азотранспортных реакций. ПриоритетОпубликовано 28.1 т 7.1971.Дата опубликования опи Изобретение относится к области полупроводниковой тензометрии и может быть использовано для измерения деформаций и механических напряжений деталей и конструкций.Известен полупроводниковый тензорезистор на основе антимонида галлия тг-типа, выполненный в виде нитевидного кристалла.Цель предлагаемого изобретения - повысить тензочувствительность подобного рода тензорезисторов,Это достигается тем, что тензорезистор выполнен в виде монокристалла, выращенного в кристаллографическом направлении (111) посредством химических газотранспортных реакций.Полупроводниковый тензорезистор выполнен следующим образом. Нитевидные кристаллы антимонида галлия выращивают методом химических газотранспортных реакций в закрытой ампуле. В роли транспортирующего агента используот йод и бром. В кварцевую ампулу объемом примерно 60 с загружают галлий и сурьму в стехиометрическом соотношении, йод и бром в количестве 30 - 200 гиг и тсллур в качестве легирующего коми)Нечта и количестве, необходимом для пол,Предмет изобретенп

Смотреть

Заявка

1316047

А. В. СандуловаИ. И. Марь мова, В. М. Рыбак, Ю. И. Заган

МПК / Метки

МПК: G01B 7/16

Метки: полупроводниковый, тензорезистор

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-302589-poluprovodnikovyjj-tenzorezistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полупроводниковый тензорезистор</a>

Похожие патенты