Ускоритель заряженных частиц
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
1. УСКОРИТЕЛЬ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, содержащий корпус, откачную систему, электронную пушку, геттерную систему, цилиндрический лучевод, охваченный магнитным соленоидом и рабочую камеру, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения удельной мощности, лучевод выполнен в форме двух осесимметричных цилиндров, между удаленными от пушки торцами которых установлена кольцевая перегородка, при этом геттерная система встроена во внутренний цилиндр и выполнена из расположенных симметрично полых профилированных лопаток, причем поверхности внутреннего цилиндра и лопаток покрыты геттерным материалом, а лучевод снабжен полыми фланцами, которые герметично соединены с полыми лопатками, и штуцерами для ввода и вывода хладагента.
2. Ускоритель по п.1, отличающийся тем, что лопатки геттерной системы выполнены в виде сегментных частей металлических цилиндров, ориентированных по эвольвенте вокруг оси симметрии лучевода, а вдоль внешних образующих цилиндрических сегментов установлены трубчатые корпуса дополнительных подогревателей, покрытые титановой губкой.
Описание
Целью изобретения является расширение функциональных возможностей и повышение удельной мощности.
На фиг.1 представлен общий вид устройства; на фиг.2 - лучевод; на фиг.3 - разрез А-А на фиг.2; на фиг.4 - кривые, характеризующие режим самооткачки рабочего объема ускорителя p = f(Q), где р - давление, Q - расход газа.
Ускоритель содержит корпус 1, откачную систему 2, электронную пушку 3, собранную в изоляторе 4. Пушка 3 содержит термокатодный узел 5 с катодом 6, анод 7, установленный на водоохлаждаемом фланце 8, внутренние цилиндрические экраны 9 и 10 и внешний экран 11, установленный на дополнительном изоляторе 12 с встроенным магниторазрядным насосом 13. Насос собран из двух групп постоянных магнитов 14 и плоских решетчатых электродов 15. Питание к пушке подводится через токовводы 16. Цилиндрический лучевод 17 охвачен магнитным соленоидом 18 и переходит в рабочую камеру 19, которая может быть снабжена стационарным откачным насосом. Лучевод собран из двух цилиндров - внешнего 20 и внутреннего 21, покрытого титановой губкой 22, между удаленными от пушки 3 торцами цилиндров 20 и 21 установлена кольцевая перегородка 23. В частном случае лопатки состоят из сегментных частей цилиндров 24, ориентированных по эвольвенте вокруг оси лучеводa и трубчатых корпусов 25 дополнительных подогревателей 26 из нихрома, изолированных алундом. Полые фланцы 27 и 28 лучевода герметично соединены трубчатыми корпусами подогревателей, образуя систему для циркуляции хладагента (азота). Эта герметичная охлаждающая структура лучевода и геттерной системы снабжена штуцерами 29 и 30 для ввода и вывода хладагента. Устройство содержит также металлокерамические вводы 31 к нагревателям геттерной системы, а в отпаянном автономным варианте специальные натекатели 32 газа (типа генераторов водорода).
Устройство работает следующим образом.
После включения откачной системы 2 и получения в электронной пушке 3 рабочего вакуума

Поток газа и заряженных частиц, попадающий из рабочей камеры через отверстие в нижнем фланце в полость лучевода, собирается на полых лопатках, состоящих в частном конкретном случае из сегментных частей цилиндров 24 и трубчатых корпусов 25, а также на поверхности внутреннего цилиндра 21 лучевода. Полые фланцы 27 и 28 лучевода разделяют зоны низкого давления со стороны пушки и высокого давления со стороны рабочей камеры. Скорость сорбции регулируется подбором типа хладагента и его расхода в зависимости от параметров электронного пучка и уровня тока утечки на лопатки. Для восстановления работоспособности геттерной системы по истечении заданной длительности рабочего цикла через штуцера 29 и 30 откачивают хладагент, а нихромовые подогреватели 26 через вводы 31 подключают к источнику накала. Подогреватели, расположенные осесимметрично в трубчатых корпусах 25 лопаток по всей высоте лучевода могут включаться между собой последовательно или параллельно. Происходит разогрев геттерной системы до температуры десорбции поглощенного газа, который поглощается автономным приемником-генератором водорода 32. Разогрев лопаток может производиться несфокусированным электронным пучком при отключении соленоида 18.
Энергия пучка может варьироваться в пределах от десятков до 200 кэВ, интенсивность от единиц до десятков ампер в непрерывном режиме и до сотен ампер в частотно-импульсном. В указанном диапазоне параметров длина электронно-лучевого тракта до выхода в рабочую камеру может составлять 100-200 мм.
Результаты экспериментальной отработки режима самооткачки в лучеводе (см. фиг. 4) при различных температурах геттерной системы и расходах газа Q (Л


Жидкий азот подается через штуцер 29 во внутреннюю герметичную полость нижнего фланца лучевода 28, затем поступает по трубчатым корпусам подогревателей в полость верхнего фланца лучевода 27 и выходит через второй штуцер 30.
В качестве рабочего газа используется водород, поступающий в рабочую камеру 19 после включения накала генератора 32 водорода. Скорость сорбции водорода в полости лучевода - на лопатках и поверхности внутреннего цилиндра 21 регулируется расходом хладагента.
В режиме десорбции геттерной системы водород может вновь поглощаться генератором 32. Поэтому устройство может функционировать в отпаянном исполнении, обеспечивая необходимые вакуумные условия в области формирования и ускорения пучка и регулируемый режим самооткачки.
Положительный эффект от применения изобретения обусловлен увеличением удельной мощности ускорителя, достигаемой за счет конструктивного совмещения геттерной системы и лучевода, а также электронной пушки и откачной системы, выполненной в виде секционированного магниторазрядного насоса, встроенного в экран катодного узла пушки. Такая структура основных узлов ускорителя обеспечивает одновременно расширение его функциональных возможностей за счет регулируемого изменения параметров газовой среды в заанодном пространстве, позволяющего в итоге увеличить характеристическую проводимость всего электронно-лучевого тракта, а следовательно, и мощность прибора в заданных габаритах, а также позволяет разрабатывать компактные, автономные приборы, механически развязанные от внешних откачных систем.
Использование ускорителя заряженных частиц в зависимости от уровня рабочего напряжения (от десятков до сотен киловольт) позволяет улучшить технико-экономические показатели электронно-лучевых технологических установок и электрофизических приборов, в частности применяемых в СВЧ-технике и в экспериментах по исследованию взаимодействия релятивистских пучков с плазмой в импульсном и непрерывном режимах.
Изобретение относится, в частности, к ускорителям электронов прямого действия и предназначено для использования в электрофизических приборах и технологических установках. Ускоритель заряженных частиц (УЗЧ) содержит корпус 1, откачную систему 2, электронную пушку (ЭП) 3, собранную в изоляторе 4 и имеющую термокатодный узел 5 с катодом 6, анод 7, размещенный на водоохлаждаемом фланце 8, внутренние цилиндрические экраны 9, 10 и внешний экран 11, установленный на изоляторе 12 с встроенным магниторазрядным насосом 13, имеющим две группы постоянных магнитов 14 и плоские решетчатые электроды 15. УЗЧ имеет также цилиндрический лучевод (ЦЛ) 17, собранный из внутреннего и внешнего цилиндров 21 и 20 соответственно, между удаленными от ЭН 3 торцами которых имеется кольцевая перегородка 23, геттерную систему, встроенную во внутренний цилиндр 21 и выполненную из расположенных симметрично полых профилированных лопаток, герметично соединенных с ЦЛ 17. Полые фланцы 27 и 28 герметично соединены трубчатыми корпусами подогревателей, образуя систему для циркуляции хладагента. УЗЧ имеет расширенные функциональные возможности за счет регулируемого изменения параметров газовой среды в заанодном пространстве. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.
Рисунки
Заявка
4004356/21, 02.01.1986
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Мартынов В. Ф, Переводчиков В. И, Завьялов М. А, Шапиро А. Л, Лисин В. Н, Неганова Л. А
МПК / Метки
МПК: H01J 29/48, H05H 5/00
Метки: заряженных, ускоритель, частиц
Опубликовано: 30.06.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1400467-uskoritel-zaryazhennykh-chastic.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ускоритель заряженных частиц</a>
Предыдущий патент: Способ диффузии в кремниевые полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы
Следующий патент: Сверхпроводящий ключ
Случайный патент: Гидропривод прижима короснимателей окорочного станка роторного типа