Способ изготовления дифракционной решетки на поверхности монокристалла

Номер патента: 705986

Опубликовано: 30.03.1982

Авторы: Волков, Лысогоров, Мизеров, Портной, Смирницкий

МПК: G02B 5/18

Метки: дифракционной, монокристалла, поверхности, решетки

...шагом и различными углами блеска. Решение этой проблемы позволяет существенно расширить спектральный интервал таких приборов, что ведет к расширению круга задач, решаемых,ими. Кроме того, при создании целого ряда интегрально-оптических и оптоэлектронных приборов возможность получать решетки с различными углами блеска позволяет направленно изменять их основные характеристики.Предлагаемый технологический процесс изготовления решетки заключается в следующем.Изготавливают монокристалл (подложка будущей решетки) с исходной кристаллографической плоскостью, наиболее устойчивой к какому-либо химическому травителю (аналогично устойчивой к фотохимическому травителю или устойчивой при ионно-плазменном распылении).705986 Рабочую поверхность...

Номер патента: 1297624

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Барачевский, Бурменко, Гвоздовский, Гудзере, Задонцев, Камардин, Карнаух, Кислица, Козенков, Маслакова, Нерозник, Осташкова, Передереева, Санчугова, Стрежнев

МПК: G03F 7/004

Метки: дифракционной, копии, решетки

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОПИИ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ, включающий последовательное нанесение на стеклянную матрицу маннита, алюминия, моноокиси кремния и олигомерной композиции, содержащей олигомер, стирол и фотоинициатор, наложение на слой олигомерной композиции стеклянной подложки, обработанной метакрилоксиметилтриэтоксисиланом, отверждение композиции ультрафиолетовым светом и отделение подложки, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени изготовления копии решетки и повышения ее климатической устойчивости, в качестве олигомера используют олигоуретанакрилат формулы(CH2= CH- -O-CH2-

Номер патента: 714331

Опубликовано: 05.02.1980

Авторы: Быковский, Смирнов, Шмалько

МПК: G02B 5/14

Метки: дифракционных, поверхности, полупроводниковых, рельефного, решеток, типа

...дифракционные решет. ки рельефного типа с синусоидальным профилем получают в едином технологическомцикле Г 33Однако известный способ не позволяетполучать дифракционные решетки с профилем, отличным от синусоидального.Целью изобретения является получениештрихов с наклонным профилем.Указанная цель достигается тем, чтов процессе фототравления вдоль поверхности полупроводника накладывают алект- рическое поле в пределах от 10 до 3510 ф в/см перпендикулярно направлениюинтерференционных полос излучения засвеъ3" 714сителей заряда вызывает изменение скорости растворения попупроводника в области засветки и приводит к изменениюпрофиля травления дифракционной решетки. Причем угол наклона, профиля получаемых решетчатых структур можно регулировать...

Номер патента: 773557

Опубликовано: 23.10.1980

Авторы: Куинджи, Лукашевич, Петров, Стрежнев

МПК: G02B 5/18

Метки: вакуумной, вогнутая, дифракционная, области, решетка, спектра, ультрафиолетовой

...а границы частей покрытия расположены от начала решеткина расстояниях.где Н - радиус кривизны решеткиК - порядок спектрами- длина волны, при которойвысокоотражающие покрытиясмежных ь и ь+1 частей имеютравные коэффициенты отражения;й .- период решетки;.8 - угол между падающим и дифрагированным пучками в схей ме использования решеткиА - ширина решетки- угол между гранями штрихови плоскостью деления для55центрального участка решетки,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРр Ю 387319, кл. С 02 В 5/18, 1973.2,3 оаейоЕ Орисаб эосе 1 ц а 1 Аеегсап,у,43,1 рбз,с,Вишь,3. Оптика и спектроскопия, Л.,Наука, т.16, 1964 с, 133 (ирототип 1увеличивается до двух и более раз в зависимости от ширины...

Номер патента: 1094007

Опубликовано: 23.05.1984

Авторы: Журавлев, Куинджи, Саамова, Стрежнев

МПК: G02B 5/18

Метки: вогнутая, дифракционная, решетка

...к крутой грани штрихов.На фиг.1 представлена конструкция предлагаемой решетки в разрезе по ширине заштрихованной поверхности; на фиг,2 - схема отражения падающего на решетку излучения при угле "блеска" решетки.Вогнутая дифракционная решетка содержит слой 1 металлизации, на котором сформированы штрихи 2 двугранного ступенчатого профиля и который жестко скреплен с подложкой 3. Пологая 4 и крутая 5 грани всех штрихов 2 снабжены зеркальным покрытием, Угол 6 между этими гранями выполнен прямым, а угол А наклона пологих граней 4 штрихов решетки к касательной 6 ее образующей 7 определяется соотношением (1), При этом угол "блеска" решетки - о( отсчитывается от нормали 8 к ее образующей 7 в направлении нормали 9 к крутой грани 5 штрихов 2 и...