Санчугова

Номер патента: 1297624

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Барачевский, Бурменко, Гвоздовский, Гудзере, Задонцев, Камардин, Карнаух, Кислица, Козенков, Маслакова, Нерозник, Осташкова, Передереева, Санчугова, Стрежнев

МПК: G03F 7/004

Метки: дифракционной, копии, решетки

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОПИИ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ, включающий последовательное нанесение на стеклянную матрицу маннита, алюминия, моноокиси кремния и олигомерной композиции, содержащей олигомер, стирол и фотоинициатор, наложение на слой олигомерной композиции стеклянной подложки, обработанной метакрилоксиметилтриэтоксисиланом, отверждение композиции ультрафиолетовым светом и отделение подложки, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени изготовления копии решетки и повышения ее климатической устойчивости, в качестве олигомера используют олигоуретанакрилат формулы(CH2= CH- -O-CH2-

Номер патента: 471402

Опубликовано: 25.05.1975

Авторы: Ахмадеев, Гисин, Дедюхин, Караулова, Санчугова

МПК: C23F 1/00

Метки: раствор, травильный

...отл ио повышенияельно содередчощем со овышен соде м со жит но 20- 20- 1,2- 49,5.ществляютледующейстиллиро 5 10 - 20 0,5 - 1,218,8 - 49,5 Изобретение относится к технологи ности к составам для травления тонк покрытий из германия и моноокиси и может быть использовано при изго оптических тонкослойных покрытий, радиоэлектронике и полупроводнико нике.Известен травильный ра концентрированную фтори лоту, азотную кислоту и воду.Однако скорость травления германия и моноокиси кремния воре недостаточная.Целью изобретения является п скорости травления.Для этого раствор дополнительно азотнокислое серебро при следующе шении компонентов, вес. %:азотная кислота (концентрированная) 40фтористоводородная кислота (концентрированная)...