Способ создания силовых высоковольтных транзисторов

Номер патента: 649270

Опубликовано: 15.02.1984

Авторы: Ботвин, Горелкинский, Невинный, Сигле, Чеканов

МПК: H01L 21/263

Метки: кремнии, проводимости, слоев, создания, типа

...кэВ. Глубина залеганияслоя определяется пробегом протоковв кремнии. Гсли однако, необходимосоздать слой на глубине меньше,чем пробег используемых протонов, то это достигается путем изменения угла падения пучка протонов и плоскости подложки в соответствии с формулой3 л 1 п 0,где О 3Испытание радиационной стойкости проводят на кремнии с проводимостью 5:40 Ом см, который получают путем внедрения "- 10 смпротонов с максимальной энергией 6 МэВ с последующим отжигом при 250 С в течение 20 мин. Исходным материалом служит кремний Г -типа с проводимостью 60-10 Ом см, после отжига при+450 С он инвертируется в И -тип,глубина залегания слоя;пробег протонов в кремнии;угол между направлениемпучка протонов и плоскостьюподложки,Тот факт, что скорость...

Номер патента: 1649909

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Изидинов, Исмайлова, Разяпов

МПК: G01N 15/08

Метки: кремния, пористого, пористости, слоев, степени

Способ определения степени пористости слоев пористого кремния, заключающийся в стравливании слоев пористого кремния, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения экспрессности, проводят локальное травление путем нанесения на поверхность пористого слоя капли 4 - 40%-ного раствора NaOH или КОН с последующей выдержкой в течение 2 - 20 мин, измерением глубины области травления (h, мкм) и расчетом степени пористости (Р,%) по формуле Р = 25 + 3h, при степени пористости, меньшей 30%, промывают поверхность пористого кремния водой, осушают поверхности, производят локальное травление каплей раствора, состоящего из 6 - 10 моль/л HNO3 и 1 - 3 моль/л HF с последующей выдержкой...

Номер патента: 514621

Опубликовано: 25.05.1976

Авторы: Григорьев, Ивин

МПК: B01J 17/34

Метки: кремния, основе, пластин

...от 0,8 ммему;ром 35 мм - 40 мм. Толастины задают изменением ееличиски смеси, загруженной в пресоль, напри ают ав смеси микропорощковов позволяет получить Ввецени тугоплавких высокую те значительно в сост металл пературу плавления смеси при больщем по сравнению с язв бомс содержании в ней галлия. смеси с послецуюшим высоко стным спосо Прессование Это достиг юлей-галлий в группы тита гревают ее давлении О, при 1000-3 оздать прмерно расормнрова пористаястабильног рхн остью Гомогениз пресс-формч тфсм М и 250 сованную пла мы и отжигв в течение ча ные пластины цо 2 мм и ди шая по предлагаемопластина обеспечивает о давления пара галлия3 516621В фваваниык условиях получены размеры"1Ф о р м у л амикропор фвимудественно н диапазоне0,1 мкм120...

Номер патента: 1762689

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Герасименко, Мясников

МПК: H01L 21/268

Метки: геттерирования, дефектов, кремнии, примесей

Способ геттерирования примесей и дефектов в кремнии, включающий создание на нерабочей стороне подложки лазерных нарушений с шагом не более и последующий термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности за счет полного использования лазерных нарушений и производительности процесса геттерирования, лазерные нарушения создают с шагом не менеегде W - плотность энергии импульса, Дж/см2;ф - диаметр пятна лазера на поверхности подложки, см;R - ширина зоны, свободной от дефектов, мкм;d - толщина...

Номер патента: 1806157

Опубликовано: 30.03.1993

Авторы: Кононов, Лашицкий, Липинская, Мельников, Педан, Ревенко, Стрелкова, Чечера, Яцук

МПК: C09G 1/02

Метки: абразивная, дии-20, кремния, монокристаллов, пластин, суспензия, шлифования

...пластин в опытной партии, шлифованной с использованием абразивной суспенэии ДИ Инаблюдалосьдополнительное повышение выхода годныхизделий за счет уменьшения скрытого бракапосле шлифования,Предложенная абразивная суспензияДИИ - 20 бактерицидная, не вызывает раздражения кожи рук рабочего персонала, неимеет неприятного запаха, не корродируетоборудования, легко удаляется с обработанных пластин кремния,Порядок приготовления абразивнойсуспенэии ДИИ.Состав абразивной суспензии готовятследующим образом:1. Сначала в течение 1 - 2 ч выдерживаютв небольшом объеме питьевой воды (1 л)комнатной температуры желатин технический до набухания. Затем разбавляют и растворяют его горячей водой (70-80 С) вобъеме 2 - 3 л. Полученный раствор заливают в...