Способ изготовления пластин на основе кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(1 1) 614621 Своа Соеетекна Соцналнстнцеооа Републнн(45) Дата опубликова Гасударственный каинтет Сенате Инннстаав ССС аа делен нзобретеннй 53) УДК 548.58(54) СПОСО РЭТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН НА ОСНОВЕ КРЕМН ИЯ Изобретени ния пластин"температурйозволяет ым б тся пособу изготовния, которыее источников еплавлени ювао нове к чную губчатуюпрецеленным п объему ахоцят применение в качес ну с равно галлием, СФ аров химическ алементов,б изготовлени естен спо ове кремн юший нвгр пластин ллий,1 овва я, содержащегоев смеси компон получение над ее пов юча При 250 Сооанные колпластин ыЛия, 014 Цель изобретения - увеличить стабильность поверхностной концентрации галлия в пластине. Пример,О .перетирают дозирКовых компоненттввв: 0,11 г галмолибдена. смещивают я ичества пороаслецуюшегс соо-.. никеля, 3,84 г я тем, что в см рем водя н, м цо 10 08-1 000 тугоплавкий металл олибден, тантал, ник о 0-300 С, прессуютированную смесь загружают вн прессует под давлением 2,5оС в течение минуты. Пресстнну извлекают из стресс-фо-ют в среде аргона при 1250 Ссв. Приготовляют прессованразличной толшины от 0,8 ммему;ром 35 мм - 40 мм. Толастины задают изменением ееличиски смеси, загруженной в пресоль, напри ают ав смеси микропорощковов позволяет получить Ввецени тугоплавких высокую те значительно в сост металл пературу плавления смеси при больщем по сравнению с язв бомс содержании в ней галлия. смеси с послецуюшим высоко стным спосо Прессование Это достиг юлей-галлий в группы тита гревают ее давлении О, при 1000-3 оздать прмерно расормнрова пористаястабильног рхн остью Гомогениз пресс-формч тфсм М и 250 сованную пла мы и отжигв в течение ча ные пластины цо 2 мм и ди шая по предлагаемопластина обеспечивает о давления пара галлия3 516621В фваваниык условиях получены размеры"1Ф о р м у л амикропор фвимудественно н диапазоне0,1 мкм120 мкм, Способ югИзготовленные по предлагаемому слосо- кремния, содбу пластины на осноее кремнии многократ- Е ванин в качествйо использованы в качестве источника па- включазопогй аров галлии при создании методом дзфФуэии о т л и ч а влегированных слоев в кремнии, еличении ста иеобре т -пня Разброс значений удельного сопротивлений лвгироэаннык Слоен как ь одном оньь те, так и из опыта в опыт не превиаает 2 3%,отселения пластин иа основеержащего галлий, лля испольэое истощена паров галлии,ирев смеси компонентов, щ и й с я тем, что, с пелыо ув бильностн поверхностной концентрапии галлии, в смесь, кремний-галлий вводят тугоплавкий металл иэ группы титан, молибден, тантал, никель, нагревают ее по 100-300 С, прессуют при давлении 0,06 о12,8 таем и отаигавт прк 1000-3000 С.Составитель В. Григорьев1Редактор Л, Народная ТехреаА. ЙемьяноваКорректор. Й. МельниченкоЗаказ 1507/103 Тираж 866 Подписное ОНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раущская наб., д, 6/5 Филиал ППЙ "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
СмотретьЗаявка
2027969, 30.05.1974
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4367
ГРИГОРЬЕВ ВИКТОР ЕФИМОВИЧ, ИВИН АЛЕКСАНДР ЛЕОНИДОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B01J 17/34
Метки: кремния, основе, пластин
Опубликовано: 25.05.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-514621-sposob-izgotovleniya-plastin-na-osnove-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления пластин на основе кремния</a>
Предыдущий патент: Способ регулирования процесса обработки высокодисперсных материалов
Следующий патент: Катализатор для изомеризации м-ксилола
Случайный патент: Устройство для отделения нижнего листа от стопы и подачи его в зону обработки