Патенты с меткой «рисунку»

Устройство для химического трав-ления изделий по заданному рисунку

Загрузка...

Номер патента: 809435

Опубликовано: 28.02.1981

Авторы: Берг, Большаков, Лурье

МПК: C25D 17/06, H01L 21/461

Метки: заданному, рисунку, трав-ления, химического

...одна20 над другой аксиально-симметрично относительно центральной оси корпуса, смотровое окно 5 с прозрачнойпластиной, внутренняя поверхностькоторой размещена над держателем 225 микросхемы.Устройство работает следующимобразом.Для п травления из в30 держател роведения химическогоделие устананлинаетсяь 2 корпуса 1.809435 Формула изобретения ЗО ИПИ Заказ 444/71 Тираж 795 Подписное Филиал ППП "Патент",г.ужгород,ул.Проектна В корпус 1 подается травильныйраствор через кольцевую проточку 3,а через кольцевую проточку 4 травильный раствор выводится из корпуса 1,Такая конструкция расположенияпроточек 3 и 4 обеспечивает направленный и воспроизводимый поток травителя относительно обрабатываемогоиэделия, Процесс травления производится при...