Устыменко

Номер патента: 1122761

Опубликовано: 07.11.1984

Авторы: Балясин, Баранов, Устыменко, Щербина

МПК: C25D 19/00

Метки: химической

...17 в месте 10 загрузки-разгрузки загружаются слитки, подлежащие химической обработке. С помощью крана управления гидроцилиндр 11 включается на подъем и перемещает карусель 17 вместе с кассетами 24 по полой направляющей 15 в верхее положение От случайного поворота в процессе подъема карусель удерживается гравитационным фиксатором 16.В конце подъема ролики 25 входят в криволинейные направляющие 26 цилиндрического сегмента. В этот момент гравитационный фиксатор 16 входит во взаимодействие с неподвижным упором 28 и освобождает карусель от стопорения. Происходит поворот каруФ сели на требуемый угол, чем обеспечивается попадание кассеты в следующую ванну Двуплечий рычаг 27 обеспечивает пропускание роликов 25 при2761 3 112 движении карусели 17...

Номер патента: 851556

Опубликовано: 30.07.1981

Авторы: Скворцов, Тузовский, Устыменко, Щербина

МПК: H01L 21/461

Метки: двусторонней, обработкиполупроводниковых, пластин

...находящихся в обработке, не ограничивается,и более высоким качеством обработкн,"так как словил обработки любой точки пластины идентичны 31.Однако интенсивность и качествообработки, определяемые скоростьюобработки,и удельным давлением на абразив, ограничиваются предельной величиной удельного давления, допускаемого с одной стороны прочностью ленты - носителя абразива, а с другой -5максимально допустимой глубиной нарушенного слоя обрабатываемого материала,Цель изобретения - повышение производительности и качества обработки.указанная цель достигается тем,что в устройстве для двустороннейобработки полупроводниковых пластин,содержащем базовые плиты и расположенныемежду ними носители абразива и 15сепаратор, выполненные : виде бесконечных...