G01L 9/12 — путем измерения изменений электрической емкости

Номер патента: 1481607

Опубликовано: 23.05.1989

Авторы: Емцев, Раков, Тимошенко

МПК: G01L 7/04, G01L 9/12

Метки: давлений, датчик, разности

...14 диска 13. По наружному диаметру диски 12 и 3 сварены между собой лазерной сваркой на расстоянии фиксированного зазора. На поверхностях дисков, обращенных друг к другу, образовано две пары электродов: дисковые электроды 16 в центре и кольцевые 17 по периферии. Периферийные электроды 17 образуют конденсатор постоянной емкости С а центральные, дисковые электроды 16 - конденсатор переменной емкости С. Зазор между дисками обусловливает начальные емкости конденсаторов. Электроды 16 и 17 нанесены на полированные поверхности металлических дисков 12 и 13 и на жесткий центр 14 через диэлектрический слой методом микроэлектронной технологии, например вакуумным напылением, Кор-.пус датчика закрывается кожухом 18, в который вварена панель 19 с...

Номер патента: 1500887

Опубликовано: 15.08.1989

Авторы: Азоян, Варданян, Панкратов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...наклон платы. Для получения необходимого 5 10 5 20 25 30 35 40 45 зазора между электродами 15, 25 и16, 27 применяется фольговая прокладка 36, Шпильки 37 и 38 крепят к корпусу печатную плату 39 электрической части схемы измерения, Корпус18 закрывается крышкой 40. Черезштуцер передается давление Р.Измерение давления производитсяпо схеме на фиг. 2. Емкости С, иС, образованные между электродами15, 26 и 16, 27, входят в схемуавтогенераторов 42 и 43, выходныесигналы которых с частотой Е, и Гподаются сместителю 44Разностнаячастота подается измерителю частоты 45,Датч;к работает следующим образом.Давление через мембрану с жесткимцентром 2 передается подвижной мембране 15, Если эта мембрана приближается к неподвижному электроду...

Номер патента: 1504523

Опубликовано: 30.08.1989

Авторы: Костин, Левина, Титова, Фурсов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...давлений,На чертеже приведен датчик, общий вид.Датчик содержит плоскую мембрану1, жестко закрепленную в корпусепреобразователя, керамическую плату2 с двумя измерительными электродами 3 и 4, концентрично расположенными друг относительно друга и нарасстоянии дот мембраны и дополнительный электрод 5 на расстояниид+лд от мембраны. 20Датчик работает следующим образом.Под действием давлений Р мембрана1 прогибается и изменяется расстояние межцу мембраной и измерительными электродами 3 н 4. Измерение перемещения мембраны проводится поразности изменений емкостей междумембраной и измерительными электродами 3 и 4, т,е. 30 где ЬС -ЛСэ - изменение емкости между мембраной и измерительным электродом 4 и 353 соответственно,Изменение емкости д С...

Номер патента: 1506312

Опубликовано: 07.09.1989

Авторы: Афанасьев, Крашневская, Севастьянов, Соловьев, Степанов, Супрунюк

МПК: G01L 19/04, G01L 9/12

Метки: давления, датчик, дифференциальный, емкостный

...экран 14 и неподвижный электрод 11 с диском 13. выполнены из материала с одинаковым коэффициентом линейного расширенияДатчик работает следующим образом.Вначале производят загрузку исследуемого вещества в измерительную камеру 1, после чего устанавливают съемный вентиль 7. Затем вакуумируют одновременно измерительную и сравнительную камеры соответственно через штуцер 8 и полый неподвижный электрод 11. С контактов 21-23 считывают начальное значение выходного сигнала -электрической емкости конденсатора,образованного мембраной и неподвижным электродом, После этого вращением съемного вентиля добиваются закрытия иглой 1 О напускного отверстия9 и удаляют съемный вентиль. Далеечасть датчика, расположенную ниже радиатора 15, нагружают в...

Номер патента: 1520367

Опубликовано: 07.11.1989

Автор: Подметухов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, подметухова, телеметрический

...оптимальную связь генерируемой частоты СВЧ-ЧМ-сигнала с передающей антенной 33. Достоинствомтакой связи является то, что не треЬуется дополнительной настройки гене-,ратора по уровню выходной мощностив рабочем диапазоне генерируемых частот,Перестройку выходной резонанснойчастоты можно осуществить при помощиизменения воздушного зазора между нижней металлизированной плоскостью 11кемЬраны 7 и между первой подложкой13 диска СДДР 12.Основным элементом устройства является СДДР, который выполнен из диэлектриков 14 и 16 с малой Е с тремяметаллизированными подложками - пленками; первой 13, второй 17, третьей 15.НаиЬольший диаметр СДДР 12 соответствует четверти длины .волны СВЧЧМ-сигнала, СДДР повышает стабильность генерируемых частот, его...

Номер патента: 1527529

Опубликовано: 07.12.1989

Автор: Смиренский

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Марийский политехнический инсти тут им, А.М.Горького(56) Авторское свидетельство СССР Р 1045024, кл, С 01 Ь 9/12, 1982, (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам давления жидких и газообразных сред, Цель изобретения 901527529 повышение чувствительности емкостногодатчика давленияДатчик содержиткорпус 1 с подводящим штуцером 9,два электрода, выполненных в виде упругих мембран 2, 4, образующих соответственно с корпусом 1 и чашей 5герметичные камеры 3 и 11, соединенные друг с другом сквозным каналом 7,вьполненным в штиОте 6. Изменениедавления в камерах 3 и 11 приводит кизменению взаимного положения...

Номер патента: 1597627

Опубликовано: 07.10.1990

Автор: Малугин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...стойки 4, герметик 5, места 6 крепления кварцевых стоек.Емкостной преобразователь выполнен в виде трех пластин, сделанных иэ кварцевого стекла одной цилиндри" ческой заготовки, что позволяет избежать существующих небольших вари-; аций в коэффициентах линейного расширения различных заготовок. Центральная пластина является мембраной 1 и полностью посеребрена, Крайние пластины 2 неподвижны. В них вьпплифованы углубления и просверлены по два отверстия. Вокруг отверстия каждой пластины вышлифованы кольцевые углуб ления 3 с тем, чтобы к образовавшимся выступам можно было приварить кварцевые стойки 4, Отверстия, в которые вжигается серебро для электрического вывода, герметизируется герметиком 5. Полые кварцевые стойки герметично вставляются...

Номер патента: 1599681

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Артемов, Лобань, Моисейченко, Цветков

МПК: G01L 9/12

Метки: манометр

...сумматора 17 с опорным импульсным напряжением отрицательной полярности источника 18 и подается на электрод 10, являющийся входом активного делителя на усилителе 13.Работа манометра осуществляется следующим образом.В начальном положении при отсутствии измеряемого давления входная мембрана 5 не нагружена, а мембраны 2 и 8 предварительно деформированы так, что при начальных напряжениях на электродах 3 и 11 и соответствующих электростатических давлениях мембраны 2 и 8 имеют плоские поверхности и равные начальные зазоры между электродами 3 и 6, 7 и 11. При этом выходное напряжение сумматора 14 равно нулю.При наличии давления измеряемой среды на входную мембрану 5 последняя прогибается. Ее перемещение отрабатывается мембранами 2 и 8 при...

Номер патента: 1615581

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Абгарян, Варданян, Григорьян, Панкратов

МПК: G01L 13/02, G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...консоли ее опорный участок снизу имеет поперечный паз 33, После шлифовки закрепляющих20 25 30 вставные упругие элементы, закрепляемые35 с наружной рамкой 8 и средним участком 40 50 10 15 поверхностей корпуса 1 и 2 и для получения необходимого зазора между электродами 12, 13 и 22, 23 применяется фольговая прокладка 34 необходимой толщины. К прикрепленному к нижней крышке 3 гермоводу 35 подается напряжение питания, откуда и снимается выходной сигнал. После герметического закрытия корпуса производят по периметрам примыкающих участков сваривание(электронно-лучевая сварка), Для получения температурной стабильности внутри датчика создается вакуум величиной 10-г 10 з мм. рт, ст.Емкости С 1 и С 2, образованные соответственно между...

Номер патента: 1615582

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Секоян, Шмин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...)К, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 10 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляизмерения высоких гидростатичаских давлений.Цель изобретения - повышение чувствительности и расширение диапазона измерения высоких давлений.На фиг. 1 изображена схема устройства;на фиг. 2 - размещение тензорезисторов напротивоположных сторонах монокристаллического диэлектрика.Устройство содержит два идентичныхтонкопленочных тензорезистора 1 и 2 фиг. 1),расположенных на одном и том же монокристаллическом элементе 3, например на 15кварцевом диске У-среза, помсщенном всосуд 4 высокого давления, заполненныйжидкостью 5, передающей давление. Тензорезистор 1 ориентирован...

Номер патента: 1615583

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Кузнецова, Лебедев, Макаров, Степанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...Поддействием измеряемого давления прогибается мембрана 2, уменьшается зазор междуэлектродами рабочего конденсатора и соответственно увеличивается емкость рабочегоконденсатора.На фиг, 2 изображен электрод 7 рабочего конденсатора емкостного датчика давления, на который нанесены четыре линзы 9 - 3512 твердого диэлектрика с разными значениями диэлектрической проницаемости.Нанесение на электрод рабочего конденсатора слоя диэлектрика с изменяющейся по представленному. соотношению диэлектрической проницаемостью позволяетна порядок и более снизить составляющуюпогрешности измерения, обусловленнуюнелинейностью функции преобразования,увеличить емкость и чувствительность датчика, что значительно расширяет сферу егоприменения, При этом...

Номер патента: 1619081

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Гутников, Ибрагимов, Маглыш, Малейко, Соловьев

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...что приводит к уменьшению зазора а 2 между электродами 4 конденсатора С и к увеличению значения этой емкости. Одновременно шток 8, перемещаясь вниз, изгибает консольную балку 5 на величину. равную прогибу мембраны 2. В пьезорезонаторе 6 возникают усилия растяжения, а в пьезорезонаторе 7 - усилие сжатия. Сигнал с выхода смесителя 12 через компаратор 13 подается на схему 14 преобразования.Схема 14 преобразования работает в режиме управляемого делителя частоты. коэффициент деления которого определяется соотношением измеряемой С и образцовой Сз емкостей.На первый вход блока 22 синхронизации подается частота, величина которой пропорциональна измеряемому давлению. Частота коммутации второго переключателя 17 является выходным сигналом...

Номер патента: 1622788

Опубликовано: 23.01.1991

Авторы: Белозубов, Зиновьев

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...участку 3,который перемещается на величину, пропорциональную х, например К с электро 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 дом 11. Следовательно, меняется (увеличивается) зазор на величину Кх +,их междуэлектродом 11, расположенным на периферийном участке 3 мембраны, и электродом12, расположенным на периферии диска 5,в результате чего меняется (уменьшается)емкость периферийного конденсатора навеличину С(Кх+ дх) и становится равнойСл = Со - С(Кх+ ф х) (2)где Сп - емкость периферийного конденсатора, состоящего иэ электродов 11 и12,С(Кх + рх ) - величина уменьшсния емкости от увеличения зазора между электродами 11 и 12 периферийного конденсатора,Таким образом, от давления Гх емкостьцентрального конденсатора. состоящего нзэлектродов 9 и 10,...

Номер патента: 1629763

Опубликовано: 23.02.1991

Авторы: Белозубов, Ишкатов, Каневская, Соболева

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчика, емкостного

...площадках6, что,каждый выводной проводник касается одной из своих поверхностейконтактной площадки, а другой - поверхности диэлектрика 7 для обеспе3 1629 763 4 чения электрической связи между эле- . статочной, то выводной проводник ментами схемы. Помещают пластину и может сместиться в зазоре между пла,корпус в технологическое приспособ- стиной и упругим элементом относи- . ление (не показано) центрируощее)5тельно контактной площадки и тем пластину и упругий элемент, прижи- самым не обеспечить электрического мают пластину к упругому элементу соединения в схеме датчика. ф усилием, приложенным к центру пла. стины с целью равномерного распределения прикладываемого усилия, Величина усилия определяется соотно- шением Формула изобретения 35...

Номер патента: 1631328

Опубликовано: 28.02.1991

Авторы: Артемов, Кудряшов, Лебедев, Моисейченко

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...схемы 10 сравнения иувеличению частоты на выходе преобразователя 13 напряжения в частоту,соответстВенно этому увеличиваетсяскважность импульсов и возрастаетэффективное компенсирующее давление,создаваемое электродами 3 и 6. 2 ил. К 1, а электрод 3 через конденсаторС и сопротивление В соединен с инверсным входом операционного усилителя 10 сравнивающего устройства(СУ), выход которого соединен с фазочувствительным демодулятором 11 (ФЧД),выходное напряжение которого складывается с опорным напряжением П источника 15 и поступает на вход преобразователя напряжение - частота 13(ПНЧ). Выход ПНЧ соединен с триггером (ТГ) 14, причем выход триггерасоединен с наружным кольцевым электродом 8 компенсирующей мембраны и с163тоящую из усилителя и...

Номер патента: 1642287

Опубликовано: 15.04.1991

Авторы: Лебедев, Макаров, Марков, Степанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с подвижным электродом рабочий конденсатор, На неподвижный электрод .рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины,.изменяющейся по закону, определяемому формулой, приведенной в описании изобретения, 1 ил. Под действием измеряемого давления прогибается мембрана 2, уменьшается зазор между электродами рабочего конденса-. тора и соответственно увеличивается емкость рабочего конденсатора.Нанесение на рабочий электрод слоя твердого диэлектрика, толщина которого изменяется по закону, указанному в формуле изобретения, позволяет весьма существенно снизить составляющую погрешности,обусловленную нелинейностью функции преобразования,...

Номер патента: 1642288

Опубликовано: 15.04.1991

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...ного конденсатора (электроды 6 и 7) не зависит от измерительного иэталонного конденсаторов, сигналы передаются на внешние выводы и на нормирующее устройство, которое формируетвыходной сигнал, зависящий от измеряемого давления. При воздействии высокойтемпературы измеряемой среды из диэлектрической пленки 10 вследствие ее принципиально более рыхлой структуры, по сравнению с металлическими пленками, а также всвязи с принципиальной необходимостьювакууми рования межэлектродного зазора5 датчика, происходит интенсивное газовыделение из.внутреннего обьема диэлектрической пленки 10. В связи с тем, что вэлектродах. выполнены равномерно размещенные по их поверхности сквозные отвер 10 стия, то газовыделение не приводит ксозданию перепада давлений по...

Номер патента: 1649320

Опубликовано: 15.05.1991

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчика, емкостного

...нарушаются механические, физико-химические, электрическиеи другие свойства диэлектрических оснований, во-вторых, - возможностями созданияи поддержания с требуемой точностьюнеобходимой теммературы. Поэтому при максимальной рабочей температуре датчика,равной 800 С, температура нагрева диэлектрических оснований выбрана равной 900 С,исходя из возможностей установки. Вакуумирование диэлектрических оснований до)- дА/ (Йми - к более глубокого по сравнению с рабочим при эксплуатации вакуума также имеет принципиальное значение, так как газоотделение повышается с увеличением вакуума.Поэтому, подвергнув диэлектрические основания одновременному воздействию высокой температуры (превышающей максимальную рабочую температуру) и вакуума более глубокого...

Номер патента: 1652839

Опубликовано: 30.05.1991

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...вакуумирования, Предварительно помещают упругий элемент и пластину в корпус 15 с герметирующим отверстием 16, приваривают выводной проводник 13 к контакту 17. Помещают датчик в установку электронно-лучевой сварки, создают в камерее вакуум 10 Па. Нагрев ают е го до максимально допустимой рабочей темопературы +800 С. Нагрев датчика в вакууме приводит к испарению окислов, нитридов и гидридов внутренней поверхности датчика и, что особенно важно, с поверхности электродов и выводных проводников, 1(роме то го, при воздействии температуры и вакуума в определенной степени уменьшается содержание окислов, нитридов и гидридов и во внутренних объемах металла, что приводит к качественному обезгаживанию внутреннего объема, а в том числе и...

Номер патента: 1663461

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Долгих, Шошин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...аппаратуру, преобразующую их в выходной сигнал пропорционально отношению емкостей С /С, где Сб емкость конденсатора при нулевом давлении. Величина этого отношения на самом низком уровне измеряемого давления соответствует значениюС/С(Р) - 1,т,е, емкость измерительного и эталонного конденсаторов устанавливается равным на самом низком уровне измеряемого.давления. Возникающие температурные напряжения в материале корпуса изменяют величины зазоров конденсаторов между обкладками 6-11 электродов неравномерно в силу неодинаковых изменений размеров толщин мембраны и пластины, образующих заЗораСледовательно, значение измерительной емкости СХ уже при давлении, равном нулю, изменяется пропорционально изменению температуры., причем значение...

Номер патента: 1663462

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Зиновьев, Феоктистова

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...2,пластину 3, пружину 4, калибровочноекольцо 5, упорную шайбу 6 и гермоввод 7. На жестком центре 8 мембраныразмещается подвижный электрод 9 измерительного конденсатора, а на корпусе - неподвижный электрод 10 эта"лонного конденсатора. На пластине 3 2 Оразмещаются неподвижные электроды11 и 12 измерительного и эталонногоконденсаторов соответственно. Упорнаяшайба 6 жестко соединена с гермовводом 7, через который проходит ка.бель 13.Устройство работает следующим образом.При воздействии давления на мембрану 2 последняя прогибается, расстояние между неподвижным 11 и подвижным 9 электродами конденсатора (измерительного) изменяется, сигнал передается иа вторичный преобразователь,При многократных перегрузках вовремя эксплуатации и...

Номер патента: 1673897

Опубликовано: 30.08.1991

Авторы: Савельев, Ярцев

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...поверхностью обращена в полость контролируемым давлением, внутг нняя ее полость связана со средой, и:1 еющей опорное давление, 1 ил,10 15 20 25 30 35 40 45 50 находится в обратной зависимости от величины зазора д,В процессе измерения давления оболочка 1 ( чувствительный элемент) деформируется, что приводит к изменению зазора д и. соответственно, емкости электрического конденсатора, Внешнее объемное обжэтие оболочки 1 приводит к появлению напряжений объемного сжатия в материале оболочки, что благоприятно сказывается на повышении предела прочности и на линейности деформации поверхности А внутренней полости оболочки 1 в зависимости от разности давлений Рк - в контролируемой среде и опорного РВеличина осевого перемещения внутреннего...

Номер патента: 1675703

Опубликовано: 07.09.1991

Авторы: Акимов, Зиновьев, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...и опорного Со конденсаторов устанавливаются равными, т.е, Со=Сх, и в преобразователе емкости в напряжение используетсяотношение емкостей - , то без подачи давСоления это отношение имеет выражениеСо СхСо Сх2)а при изменении давления это выражениеимеет вид 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 СС + ЬС(3)Со СхИз выражения (3) видно, что выходной сигнал изменяется пропорционально измеряемому давлению.Повышение точности в предлагаемом датчике обеспечивается тем, что профиль поверхности дна 5 колпачка 4, а следовательно, и профиль неподвижного измерительного электрода 12 под воздействием установленного с натягом во внутрь колпачка диска-герморазъема 6, приобретает выпуклую форму, т.е. такую же, как и профиль мембраны 2 при воздействии на нее...

Номер патента: 1677540

Опубликовано: 15.09.1991

Авторы: Белозубов, Ишкатов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...с электродами 8 и 9 образуют измерительный и эталонный конденсаторы, заключенные в замкнутую герметичную полость при помощи кольцевой прокладки 4. Пластина 3 и дополнительный диск 5 образуют конденсатор температурной компенсации, Электроды 8 и 9. пластина 3 и дополнительный диск 5 соединены проводниками с выводами 14 из герметичной зоны, ограниченной кожухом 15.Датчик работает следующим образом, Измеряемое статическое и динамическое давление высокотемпературной среды воздействует на упругий элемент 2, вызывая перемещение электрода 8 измерительного конденсатора, что приводит к изменению его емкости по сравнению с емкостью эталоного конденсатора. Одновременно от воздействия температуры и пропорционально ее величине меняется емкость...

Номер патента: 1679226

Опубликовано: 23.09.1991

Авторы: Билянский, Галюс, Секета, Ямников

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...генератора частоты. Для реализации коэффициента пропорциональности К в цепь обратной связи управляемого генератора частоты включен конденсатор С 1, который меняет угол наклона ветвей параболы. Угол наклона пластин конденсатора выбран экспериментально и зависит от стабильности параметров трубки Бурдона. При 55этом обеспечивается 1-ная погрешность зависимости выходной частоты отдавления,На фиг. 1 изображен датчик давления,общий вид; на фиг. 2 - схема преобразователя в виде управляемого генератора частоты.Датчик давления содержит корпус 1 с установленным в нем манометрическим элементом в виде трубки Бурдона 2, один конец которого жестко закреплен в держателе 32, другой его подвижный конец соединен с пластиной 5 конденсатора, неподвижная...

Номер патента: 1679227

Опубликовано: 23.09.1991

Авторы: Раков, Тимошенко

МПК: G01L 13/02, G01L 9/12

Метки: давлений, датчик, разности

...конденсатора выполнен по высоте длиннее подвижного электрода с тем, чтобы при его перемещении вверх-вниз обеспечивалось гарантийное перекрытие их площадей.К цилиндрическому корпусу 1 приварены эксцентричные фланцы 16 и 17. Во фланце 16 с помощью плавленного стекла вмонтированы герметичные электроды 18. На фланце 16 и 17 надет кожух 19 и герме 40 50,минимальные микродеформации),чтообеспечи вает незначительную погрешность от действия рабочих давлений, а также легче изготовить идентичные трубки с цилиндрическими отверстиями из однойкалиброванной заготовки.Таким образом, в предлагаемом техническом решении за счет использования двух жестко соединенных концами прямых трубок с эксцентричным каналом достигнуто повышение. чувствительности 5 10 15...

Номер патента: 1696920

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Абгарян, Варданян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...ребра, расположенные симметрично по диагонали этого коромысла, позволяющие произвести регулирование несимметричных инерционных моментов путем передвижения винтов на крайних ребрах 8 и 10 на коромысле с возможностью добавки инерционных грузов к этим же винтам.Так как силопередающая система в виде балок, несдвигаемых упругих шарниров и силопередающих стержней и мембран с жесткими центрами выполнены за одно целое с корпусом 1 и так как при действии давления Р центр мембраны 4 перемещается нвзначительно, то значением гистерезиса можно пренебречь,Перемещению плоского коромысла противодействуют узкие шейки 13 и 14, выполняющие роль опорных упругих шарниров. По размерам указанных шеек, по жесткости и упругости как мембран, так и...

Номер патента: 1702196

Опубликовано: 30.12.1991

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...гс: ),к ь н:. дивектрике и выголноны из комгозиции ванадий-никель толщи ЭЙЛК 3, Бс ЧНа Е)КЗЛ(3:ТРОГ)Н;.ГО зазор 50 мкм.Цсдгчнх Л ВР3рлбс)1 ЗЕГ С)ад)р(О 31 М 5 Рб )."Б Н(1 ,Ч) 1О)30)с(Е 1 Л 3 О 1 )с 11.8 и г)оп г ч: Г ", 1 п элекподц мембраи Н . . с, Ч - 3,3,с)",КОСТИ, 1 И 1, 31 с,"(П. .сг ,Еаед С Я ,3 ;3 У Л" Л КССГ, 3.,3, Уса тОК 3 С)МБс)Н Ву,3,:, " Отс,",т с:са Г я сд ,; .Леал.-:, :, у сс,КО,.;Г цс 3 раЛЬНОГО И ,Ои.ер "3)а 1.:аторов Оказд 1 аст 3.) О 1ТО, -,д си)Цд:ЬО 1;с/а ИгЕП г)С. ОадСта(ННО О 33-.3;. б И МЕМбраНЫ. прИЧЕМ ЗТО СЛ ЯН.", Ь 3,.ЧЕЛ. НОЙ М;РЕ,И" зиро аг) фог) Иговачием выходног) си а 3 а, В З.: . П Р.г: О; ОШРНИЯ ЗначеИ ЛО 3 ЕРИС)РГ)И 1 и1 ЗН 1 РаЛЬНОЙ ЕМКОСтойГ;,ээтнч, е:, 1 олО 3)н дискс . лачбоа"1 ЬбрадгСладуООИХ...

Номер патента: 1702197

Опубликовано: 30.12.1991

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...и В 2 диафрагмы ряв 4 ы (В 1=В 2) и радиусь кесткого центов 2 мембраны и диафрагмь( равны (го 1=гог), можно сделать вывод, что С 1- Сг.Для тоо чтобь под воздействием е(броускорония вели (и 4 а зазора между цстральньли эл "ктродами не изменялась, необходимо, чтобы прогибы от воздействия виброускорения у жестких центров 2 и 10 мембпяны и диафрагмы были равны, т,е, С(О 1= 0412, В (.ООТ ВЕТСтВИИ С ЭТИМ, ПРИРаВНЯВ правые части равенства (1) и (2), получим0 В 2 6 Вг 2АЮ- - , --- Авг . (3)Е3Е 2"2Учитывая предыдущие соображения (Вг=В 1, С 1= С 2) можно эа и исать;3 Г 1-,п 1 ) 01 В 1(9 Йг 3 (1 -,иг )1:2 "2В солон с те тп толщина жесткого ЦЕНтРа СУЦЕст:ЕНО г;О(ЬШЕ ТОЛЩИНЫ МЕМ- бр; ны или дафРгм -(, пряктически вся присигнал, однозначно...

Номер патента: 1702198

Опубликовано: 30.12.1991

Авторы: Зиновьев, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...ДавлГГ ил наизмери гол: 1;,. ндссаторах 1 как основн 01. та( и л (сп, и зль Ом), имеОщих Оди 1 ак 11 еьР .,.,(1,1 и э,Октродов (Сп иач=СИа ), б,г(л и од.Наковое изменениеемкосгей 1 Л ," А.". ). Значит, текущееЭнаЕНИЕ . МКОГГГ ОСНОВНОГО и ДОПОЛНИТЕЛ ЬНОГО И 1(РиЕ/1 ЬНЫХ КОНДЕНСВТОРОВимес одиа" Вую Величину при любых изценен 5 х де(1: "51 Рх(С 5 ам С 5 э; лакимо Э т гОбпа;О;1, Дост Г;(.;.Я СХОДИМОСТЬ МЕТРОЛОгиВдс .11., хпа,.тд 1 Нс(1 к ОсновнОГО и дополГе. идго " 1:(10 В;1 Г 1%та" -:5 ьалСда 5 1 . С 55 д С 1 амг:д Сиз1-а аг СэталГДЕ Сагао И Са, - ЗНВЧЕНИЯ ЕМКОСтЕй ОСОвного 7 и ДОГОлнсгелього 8 конденсатоРОВ,Ра 50 СВ Сгпаа И Сатаа ОбЕСПЕЧИВВРт.ся симметричностьо электродов, имеющихравные ради усь полуколец Тн и (а 51,С цельо увеличения...