Номер патента: 1642287

Авторы: Лебедев, Макаров, Марков, Степанов

ZIP архив

Текст

(56) Научно-техничеЧ 1, вып. 9, 1984, с, 1 14П,Степанов, Д.В ебеский сборник РКТ1-18,Изобретение ной технике, в ча ния.Целью изобр ние погрешност преобразования. тн но тся к измерительк датчикам давлевляется уменьшеейности функции ени нел ы )Я оо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение относится к измерительтехнике. Цель - уменьшение погрешности На чертеже изображена схема емкостного датчика давления, в котором уменьше-. ние погрешности нелинейности и увеличение чувствительности достигается нанесением слоя диэлектрика переменной толщины.Емкостный датчик давления содержит изготовленную за одно целое с корпусом 1 плоскую мембрану 2 с подвижным электродом 3 рабочего конденсатора и кольцевым электродом 4 эталонного конденсатора, размещенным на утолщенной недеформируемой части корпуса, На верхней пластине 5, скрепленной с корпусом 1, расположен неподвижный электрод 6 эталонного конденсатора и неподвижный электрод 7 рабочего конденсатора, на который нанесен слой 8 твердого диэлектрика переменной толщины. изменяющейся по определенному закону,линейности функции преобразования. Датчик давления содержит корпус с мембраной, на которой размещен подвижный электрод, а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с подвижным электродом рабочий конденсатор, На неподвижный электрод .рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины,.изменяющейся по закону, определяемому формулой, приведенной в описании изобретения, 1 ил. Под действием измеряемого давления прогибается мембрана 2, уменьшается зазор между электродами рабочего конденса-. тора и соответственно увеличивается емкость рабочего конденсатора.Нанесение на рабочий электрод слоя твердого диэлектрика, толщина которого изменяется по закону, указанному в формуле изобретения, позволяет весьма существенно снизить составляющую погрешности,обусловленную нелинейностью функции преобразования, увеличить емкость и чувствительность датчика, что значительно расширяет сферу его применения.Формула изобретения Датчик давления, содержащий корпус с мембраной, на которой по центру размещен подвижный электрод в виде круга, а напротив него на пластине установлен круглый неподвижный электрод, образующий с подвижным электродом рабочий конденсатор, а также два кольцевых электрода, расположенных зеркально симметрично, один из которых размещен на корпусе, а другой - на пластине, образующих вместе эталонный конденсатор, причем пластина жестко скреплена с корпусом, о т л и ч а ю щ и й с я. Банду Заказ 1140 Тираж 364 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб.; 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород,ина,тем, что, с целью уменьшения погрешности нелинейности функции преобразования, в нем на неподвижный .электрод рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика переменной толщины, изменяющейся по закону где бо - начальный зазор между подвижным и неподвижным электродами;ео, е - диэлектрические проницаемости соответственно воздуха и твердого 5 диэлектрика;Р = "/в -относительный радиус;г - текущее значение радиуса электро

Смотреть

Заявка

4660404, 27.01.1989

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

МАКАРОВ ИГОРЬ ЕГОРОВИЧ, СТЕПАНОВ ПЕТР ПЕТРОВИЧ, ЛЕБЕДЕВ ДИСАН ВАСИЛЬЕВИЧ, МАРКОВ ГЕОРГИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

Опубликовано: 15.04.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1642287-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>

Похожие патенты