Датчик давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1597627
Автор: Малугин
Текст
(19) (И) СПУБЛИН 1)5 С 01 1 9/12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 24) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ У 37 Земл ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Приборы и системы у1977, 9 9, с,42-43,(57) Изобретение предназначено для измерения давления с повышенной точ" ностью за счет уменьшения температурной погрешности. В датчике ни одна из трех пластин корпуса 2 не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширения. Для этого давление в обе полости преобразователя подается через полые кварцевые стойки 4, а пластины корпуса и мембрана 1 также выполнены из кварца. 1 ил..1597627 Формула изобретения Составитель О.СлюсаревТехред М. Ходанич Корректор Т,Малец Редактор Е.Папп Заказ 3044 Тираж 466 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к приборам для геофизических измерений, а именно к датчикам давления с емкостным преобразователем.Цель изобретения - повьппение точности измерений за счет уменьшения температурной погрешности.На чертеже изображен датчик давления. 10Датчик имеет кварцевую мембрану 1, неподвижные кварцевые пластины 2, вьпппифованные кольцевые углубления 3, полые кварцевые стойки 4, герметик 5, места 6 крепления кварцевых стоек.Емкостной преобразователь выполнен в виде трех пластин, сделанных иэ кварцевого стекла одной цилиндри" ческой заготовки, что позволяет избежать существующих небольших вари-; аций в коэффициентах линейного расширения различных заготовок. Центральная пластина является мембраной 1 и полностью посеребрена, Крайние пластины 2 неподвижны. В них вьпплифованы углубления и просверлены по два отверстия. Вокруг отверстия каждой пластины вышлифованы кольцевые углуб ления 3 с тем, чтобы к образовавшимся выступам можно было приварить кварцевые стойки 4, Отверстия, в которые вжигается серебро для электрического вывода, герметизируется герметиком 5. Полые кварцевые стойки герметично вставляются (через прокладки из вакуумной резины или посредством клапанного,механизма) в отверстия стенки объекта. Через них передается давление в обе полости преобразователя; на кварцевых стойках держится вся конструкция преобразователя.Датчик давления работает следующим образом.При подаче давления в измерительную камеру мембрана 1 прогибается, что приводит к изменению емкости.По изменению емкости судят о давле(нии.Преимущество датчика достигается тем, что ни одна из трех пластин корпуса не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширения. Датчик давления, содержащий корпус, выполненный из двух кварцевых пластин с выемками, кварцевую мембрану с подвижным электродом, разделяющую корпус на измерительную и опорную камеры, и неподвижные электроды,. закрепленные на корпусе напротив подвижного электрода, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повьппения точности эа счет уменьшения температурной погрешности, в него введены две полые кварцевые стойки, причем первая кварцевая стойка скреплена. с одной пластиной и сообщена своей полостью с измерительной камерой, а вторая стойка расположена симметрично первой, скреплена с другой пластиной и сообщена своей полостью с опорной камерой, причем пластины и мембрана выполнены из кварца с одинаковым коэффициентом температурного расширения.
СмотретьЗаявка
4303812, 26.06.1987
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ЗЕМЛИ ИМ. О. Ю. ШМИДТА
МАЛУГИН ВИТАЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/12
Опубликовано: 07.10.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1597627-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>
Датчик давления
Номер патента: 679835
Опубликовано: 15.08.1979
Авторы: Беликов, Радковский, Рябов
МПК: G01L 9/04
...поверхности пластини канал сформированы при помощи аниэотроп.ного травления, которое позволяет с большойточностью выдерживать необходимые размеры,Центральное отверстие в основании по формеповторяет поперечное сечение. балки и изготов.лено с помощью протяжки,зф При изменении разности давлений Р 1 и Рпроисходит деформация мембран, преобразуемаяс помощью транзисторов в электрический сигнал,Использование изобретения позволит иовы.сить точность измерения за счет уменьшенияи температурной погрешности, обусловленнойразличием коэффициентов линейного расширения материалов чувствительного элемента иподложки.Е Использование изобретения предусматриваетиспользование широко известных в планарнойтехнологии процессов. ирЭДатчик давления,...
Датчик давления
Номер патента: 1302154
Опубликовано: 07.04.1987
Авторы: Гадяцкий, Ерокина, Клочихин
МПК: G01L 9/04
...на фиг, 2 - разрез А-Ана фиг. 1.В основании 1, герметично соединенном со штуцером 2, установлены с помощью стеклянных изоляторов 3 стойки 4 по числу контактных площадок 5.Мембранная коробка образована монокристаллическими пластинами 6 и 7,соединенными в вакууме мягким припоем.20В пластине 6 с помощью изотропноготравления выполнено углубление, образующее вакуумированную полость мембранной коробки, На наружной поверхности мембраны методами планарной тех -нологии изготовлены диффузионные тензорезисторы с напыленными токопроводящими дорожками и контактными площад-.ками. В мембранной коробке на периферийных участках пластин выполнены З 0сквозные отверстия, через которые припомощи изоляторов 8 коробка закреплена на стойках, Проволочные...
Датчик давления с частотным выходом
Номер патента: 667840
Опубликовано: 15.06.1979
Авторы: Кравцов, Красов, Нестеренко
МПК: G01L 11/00, G08C 19/16
Метки: выходом, давления, датчик, частотным
...посредством гайки 6 с наружной 20резьбой. Электроды 4 посредством герметичных выводов 7 соединены с измерительной схемой, показанной на фиг. 2. Схема содержит разделительный конденсатор 8, предусилитель 9, дифференцирующий усили667840 Формула изобретена.ч Составител фиц Техред О. Лу Тираж 1089 ЦН И И ПИ Государственного по делам изобретений и 113035, Москва, Ж - 35, Рауш илиал П П П Патент, г. УжгороЛ. Кочураевговая КорректорПодписноекомитета СССР Редактор С. Хей Заказ 343837.Макаренк открытий ская наб., д. 4/5 д, ул. Проектная тель 10, разделительный конде нсатор 11, блок питания 12 и резисторы 13 и 14.Датчик работает следующим образом.При включении питания происходит само- возбуждение колебательной системы. При этом на приемном...
Датчик давления с частотным выходом
Номер патента: 691705
Опубликовано: 15.10.1979
Автор: Нестеренко
МПК: G01L 11/00, G08C 19/16
Метки: выходом, давления, датчик, частотным
...растяжками 3 предотвращающими смещение пластины 1 в ее плоскости, а также повышающими устойчивость конструкции при воздействии перегрузок и вибраций. Рабочие камеры 4 соединены с измеряемой средой входными каналами 9, которые выполнены либо в ниде узких отверстий (капилляров), либо в виде узких щелей. Постоянная времени системы входной канал-рабочая камера на порядок и более превышает время полупериода колебаний. Пластина 1, сильфоны 2 и рабочие камеры 4 образуют колебательную систему датчика.Для повышения равномерности сжатий - разряжений газа и снижения волновых явлений в рабочих камерах при работе в широком диапазоне частот в камерах 4 дополнительно установлены перегородки 5, имеющие в центральной части отверстия, при этом...
Датчик давления
Номер патента: 1065702
Опубликовано: 07.01.1984
Авторы: Ибрагимов, Королев, Малейко, Тачкин, Юревич
МПК: G01L 9/08
...второй кварцевый Резонатор, причем оба кварцевых резонатора подключены к .дифференциальной измерительнойсхеме, .вцентре .Упомянутой мембраны укреплен.флаиец, расположенный с зазоромотносительно введенного. в. датчикзахвата, который установлен перпендикулярно плоскости мембраны в направляющих, выведен через уплотнение эа пределы корпуса и снабженприводной рукояткой.На чертеже изображен датчик,общий вид.Датчик имеет герметичный корпус1 со штуцером 2 для подачи измеряемогодавления. Мембрана 3 с жесткимцентром 4 через силопередающий элемент 5, выполненный в виде упругогодержателя, опирается на первый кварцевый резонатор .б. В корпусе в тойже полости консольно закреплен второй кварцевый резонатор 7. Оба резонатора подключены к...
Предыдущий патент: Индуктивный датчик давления
Следующий патент: Электрокинетический преобразователь перепада давлений
Случайный патент: Фазовключающее устройство