Емкостный датчик давления

ЕЛЬСТ Степанов, Д.В.Леб льство С /12, 1969 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВ 21) 4662903/24-1022) 31.01.8946) 23,12.90. Бюл. М 4772) И.Е.Макаров, П.П.дев и М,В.Кузнецова53) 531,787 (088.8)56) Авторское свидетеМ 209786, кл. 6 01 1 9(54) ЕМКОСТНЫИ ДАТЧИК Я 2, 1615583 А 1 рительый датан для увстви- преобтрод 7 ердогоницае- авлен(57) Изобретение относится к изме ной технике, Предлагаемый емкостн чик давления может быть использов измерения давления с повышенной ч тельностью и высокой линейностью разования, На неподвижный алек конденсатора нанесена пленка 8 тв диэлектрика, диэлектрическая про мость которою изменяется по предст ному соотношению. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к датчикамдавления, содержащим емкостный преоб разователь давления в электрический сиг нал, 5Цель изобретения - повышение чувст вительности и уменьшение нелинейности.На фиг. 1 изображена конструкция емкостного датчика давления, в котором наэлектрод рабочего конденсатора нанесен 10твердый диэлектрик с переменной диэлектрической проницаемостью; на фиг. 2- вариант исполнения электрода рабочего конденсатора,Рмкрстный датчик давления содержит 15.изготовленную за адно целое с корпусом 1плоскую мембрану 2 с подвижным электродом 3 рабочего конденсатора и кольцевымэлектродом 4 эталонного конденсатора,размещенным на утолщенной недеформируемой части корпуса. На верхней пластине 5, скрепленной с корпусом 1, расположен неподвижный электрод 6 эталонногоконденсатора и неподвижный электрод 7рабочего конденсатора, на который нане;сен слой твердого диэлектрика 8 с перемен ной диэлектрической прон ицаемостью. Поддействием измеряемого давления прогибается мембрана 2, уменьшается зазор междуэлектродами рабочего конденсатора и соответственно увеличивается емкость рабочегоконденсатора.На фиг, 2 изображен электрод 7 рабочего конденсатора емкостного датчика давления, на который нанесены четыре линзы 9 - 3512 твердого диэлектрика с разными значениями диэлектрической проницаемости.Нанесение на электрод рабочего конденсатора слоя диэлектрика с изменяющейся по представленному. соотношению диэлектрической проницаемостью позволяетна порядок и более снизить составляющуюпогрешности измерения, обусловленнуюнелинейностью функции преобразования,увеличить емкость и чувствительность датчика, что значительно расширяет сферу егоприменения, При этом наименьшая величимна нелинейности обеспечивается при равенстве площадей участков кругового электрода и центрального.Формула изобретения 1. Емкостный датчик давления, содержащий корпус, изготовленную за одно це- лое с ним мембрану радиуса й, в центре которой закреплен электрод рабочего конденсатора в виде круга и концентрично ему на корпусе закреплен электрод эталонного конденсатора в виде плоского кольца, причем с начальным зазором бо от упомянутых электродов в корпусе закреплены соответственно им аналогичные по виду ответные электроды эталонного и рабочего конденсаторов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и уменьшения нелинейности, на ответный электрод рабочего конденсатора нанесен слой твердого диэлектрика толщиной д, диэлектрическая проницаемость которого выбирается из со- отношения 1 - -" 1 - 1 -- ггде 6, - диэлектрическая проницаемость воздуха;г - текущее значение радиуса,2. Датчик давления по и. 1, о,т л и ч а ющ и й с я тем, что слой твердого диэлектрика выполнен в виде концентрически расположенных относительно центрального круга кольцевых участков, причем площади участков и центрального круга равны, а диэлектрическая проницаемость каждого участка определена соотношениемЕоЕ1Г г 1 1)где гн, г - соответственно внутренний инаружный радиус участков;1 - порядковый номер участков;1=1 - порядковый номер центральногокруга,1615583 Составитель О Слюс Техред М. Мор гентал Корректор Л,Пилипен актор Е.Пап роивводотвенно.ивдательокид комбинат "Патент", г. ужгород, ул,Гагарина, 101 Заказ 3981 Тираж 469 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушскэя наб., 4/5