Емкостный датчик давления

Номер патента: 1504523

Авторы: Костин, Левина, Титова, Фурсов

ZIP архив

Текст

(51)4 С 01 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТпо иэоБРетениям и ОткРытиямПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Электронная промышленност1984, В 1, с, 82,(54) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к вакуумной технике и может найти применениедля измерения давления практически 2любых газов в диапазоне 10 э.гПа, Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых давлений. При выполнении геометрических параметров датчика по представленному соотношению верхний предел измерения датчика расширяется, так как чувствительность его понижается в 1 Оэ раЛ после контакта мембраны 1 с керамической пла" той 2, Поэтому для перемещения центральной части мембраны на одну и ту . же величину требуется в 10 раз большая величина давления. 1 ил.Формула и з о б р е т е н и я 1 С=ЬС -С =(Р),-) (1+ ,) -10 Кад зл г Ь радиус мембраны;радиус глухого отверстия;зазор между мембраной и неподвижными электродами наплате;расстояние от торца платы додискового электрода. где К -г давления,Составитель О.СлюсаревТехред Л,Кравчук Редактор М.Циткина Корректор В.Гирннк Заказ 5243/42 Тираж 789 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 13035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул, Гагарина,101 3 1504523Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к вакуумметрии, и может найти применение дляизмерения давления практически любыхгазов в диапазоне 10 - 10Па,Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых давлений,На чертеже приведен датчик, общий вид.Датчик содержит плоскую мембрану1, жестко закрепленную в корпусепреобразователя, керамическую плату2 с двумя измерительными электродами 3 и 4, концентрично расположенными друг относительно друга и нарасстоянии дот мембраны и дополнительный электрод 5 на расстояниид+лд от мембраны. 20Датчик работает следующим образом.Под действием давлений Р мембрана1 прогибается и изменяется расстояние межцу мембраной и измерительными электродами 3 н 4. Измерение перемещения мембраны проводится поразности изменений емкостей междумембраной и измерительными электродами 3 и 4, т,е. 30 где ЬС -ЛСэ - изменение емкости между мембраной и измерительным электродом 4 и 353 соответственно,Изменение емкости д С являетсяфункцией измеряемого давления Р. Придостижении преобразователем верхней границы давления мембрана ложится на керамический диск 2, и придальнейшем увеличении давления частьмембраны, которая ограничена диаметром углубления в керамическом диске,начинает прогибаться. При этом изменяется емкость между мембраной 1 иизмерительным электродом 5, Изменение этой емкости является функцией При выполнении геометрических параметров датчика по представленному соотношению верхний предел измерения датчика расширяется, т.к, чувствительность датчика понижается в 10 раз после контакта мембраны с3керамической платой, Поэтому для перемещения этой части мембраны на одну и ту же величину требуется в 10 раз большая величина давления.Преимуществом датчика является расширение диапазона измерения давления в область высоких давлений, что, в свою очередь, позволяет с помощью одного датчика проводить измеренияЕмкостный датчик давления, содержащий размещенный в корпусе подвижный электрод в виде плоской мембраны, с одной стороны которой расположена камера измерительного давления, а с другой - камера опорного давления, в которой размещена керамическая плата с расположенными на ней с зазором относительно мембраны двумя неподвижными концентрическими электродами, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений, в него введен третий, дисковый,электрод, в плате по центру выполнено глухое отверстие, на дне которого расположен третий электрод,при этом геометрические параметры датчика удовлет воряют соотношению

Смотреть

Заявка

4283477, 11.06.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1614

КОСТИН ЛЕВ АНДРЕЕВИЧ, ЛЕВИНА НУРИЯ ФЕДОРОВНА, ТИТОВА ЛАРИСА ПАВЛОВНА, ФУРСОВ АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

Опубликовано: 30.08.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1504523-emkostnyjj-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Емкостный датчик давления</a>

Похожие патенты