G01L 9/12 — путем измерения изменений электрической емкости

Номер патента: 1719941

Опубликовано: 15.03.1992

Авторы: Акимов, Дуркин, Зиновьев, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...резьбовых отверстиях.Положительный эффект, заключающийся в увеличении точности, достигается засчет точности выставки величины зазора ипридания профильной формы диска вместес электродом измерительной емкости,На фиг. 1 показаны конструкция датчикадавления и топология электродов на поверхности мембраны; на фиг. 2 - профильность(вогнутость) диска по отношению к мембране.Датчик давления включает мембрану 1,крышку 2, диск 3, закрепленный в крышке 2с помощью резьбовой шпильки 4 и гайки 5.Последняя служит для поджатия диска 3 доупора к винтам 6, которые установлены попериферии корпуса 2, На планарной стороне мембраны 1 и диске 3 в зеркально отображенном виде размещены центральные 7и периферийные 8 электроды.Датчик давления работает...

Номер патента: 1719942

Опубликовано: 15.03.1992

Авторы: Зиновьев, Феоктистова

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...подвижной части 2, со стороны, обратной воздействию измеряемой среды, а также на противолежащей стороне диска 5 выполнены центральные электроды 6, образующие переменную емкость Сх. На периферийной неподвижной части 3 с той же стороны, э также на диске 5 выполнены периферийные электроды 7, образующие эталонную емкость Сэ. От внешней среды электроды, образующие емкости, защищены гермопроходником 8, в котором предусмотрены контакты 9 для соединения электродов 6 и 7 с преобразователем емкости в напряжение или ток, При помощи штуцера 10 конструкция устанавли-. вается на контролируемые обьекты.Датчик давления работает следующим образом,При подаче измеряемого давления Рх на мембрану 1 происходят ее прогиб и перемещение центральной...

Номер патента: 1721454

Опубликовано: 23.03.1992

Автор: Голов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчиком, емкостным

...постоянным значение Сюл, автоматически выдерживается постоянным зазор до, что обеспечивает компенсацию температурной погрешности.Сравнение заявляемых технических решений показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что рабочую температуру датчика компенсируют путем установления постоянного зазора между подвижной мембраной и электродом. Это позволило установить соответствие признаков критерию "новизна". На фиг. 1 изображен датчик индикаторного давления, разрез; на фиг. 2 - графики изменения индикаторного давления.Датчик состоит из электрода 1, соединенного с корпусом 2 через диэлектрическую втулку 3, Во втулке 3 выполнена резьба, в которую ввернут электрод. Подвижная мембрана 4 лежит на упоре 5 с отверстиями б для...

Номер патента: 1723473

Опубликовано: 30.03.1992

Авторы: Городецкий, Зиновьев, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчика, емкостного, настройки

.... приращений емкостей от влияющих фактоную за одно целое с корпусом, пластину 3, 1:5 ров, а следовательно, снижение погрешно. установленнуюсзазором, которыйопреде- сти. Затем окончательно закрепляют ляется кольцом 4. На поверхностях мембран-:пластину с мембраной путем, например, ны 2 и аластин 3, обращенных друг к другу, . сварки и замеряют измерительную и опор- сформированы методом напыления элект.- ную емкости при двух предельных. рабочих роды 5 и 6 измерительной емкости (Си). и 20 температурах, например при минимальной электРоДы 7 и 8 опоРной емкости (Со), кото и максимальной 12, с последУюЩим РасчеРые подкЛючены к электРонномУ блокУ С том отношений Си 11/Сой иСи 2/Со 2, помоЩью пРовоДников 9. ЗлектРонный гДе Сит 1, Ситг, Сот,...

Номер патента: 1727008

Опубликовано: 15.04.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...а другой - на противолежащей монолитной пластине. Упругий элемент и пластина герметично соединены по периферии с деформацией в пределах упругости монолитных пластин и выводов при помощи втулки 16,Емкостный датчик давления работает следующим образом.Измеряемое давление воздействует на мембрану датчика, Под воздействием измеряемого давления жесткий центр мембраны, а следовательно, и жесткий центр монолитной пластины и расположенный в области жесткого центра подвижный электрод измерительного конденсатора перемещаются в направлении неподвижного электрода измерительного конденсатора, В результате этого межэлектродный зазор измерительного конденсатора уменьшается, а его емкость соответственно увеличивается, Емкость опорного конденсатора...

Номер патента: 1727009

Опубликовано: 15.04.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...Прекращают воздействие усилия. Помещают упругий элемент и пластину в корпус, приваривают выводной проводник к гермоконтакту. Помещают датчик в установку электронно-лучевой сварки ОЗЛЭВ-1. создают в камере вакуум 10 Па. Нагревают его до максимально допустимой рабочей температуры 800 ОС. Нагрев датчи55 ка в вакууме приводит к испарению окислов, нитридсв и гидридов с внутренней поверхности датчика и, что особенно важно, с поверхности электродов и выводных проводников, Одновременно с процессами обезгаживания, удаления окислов, нитридов и гидридов происходит процесс взаимной диффузии материалов контактной площадки и выводных проводников под воздействием усилия, температуры и вакуума, т,е. происходит процесс диффузионной сварки в...

Номер патента: 1732201

Опубликовано: 07.05.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...(не показаны), котороеформирует выходной сигнал, зависящийот отношения емкостей второй парыэлектродов и первой, а следовательно,и от измеряемого давления. При воз действии на датчик повышенной температуры емкость электродов первойпары изменяется в силу различныхпричин, Емкость электродов второйпары также изменяется, но так как 50 .длина втулки выбрана исходя из заявляемых соотношений, то изменениеемкости электродов второй пары будеттаково, что отношение емкостей второй и первой пары электродов в мини мальной степени будет зависеть оттемпературы. Один из электродов вто"рой пары расположен на стороне диска,более удаленной от мембраны, а другой электрод второй пары размещен(8) на пластине, установленной при помощи прокладки на...

Номер патента: 1739225

Опубликовано: 07.06.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостной

...на основе композиции молибден-никель (Як = 0,1 Ом/квадрат, пк= = 6, а = 3,6 10 С. Заявляемое соотношение в этом случае выглядит следующим образом.- з100636 "0 0113110 - зЕмкостный датчик давления работает следующим, образом,Под воздействием измеряемого давления на мембрану датчика жесткий центр мембраны, а следовательно, и расположенный в области жесткого центра подвижный электрод первой пары перемещается в направлении подвижного электрода, В результате этого межэлектродный зазор этой пары электродов уменьшается, а его емкость соответственно увеличивается, Емкость второй пары электродов не зависит от измеряемого давления вследствие сравнительно массивного опорного основания. Сопротивление электродов от давления не зависит вследствие...

Номер патента: 1744539

Опубликовано: 30.06.1992

Авторы: Каршаков, Лебедев, Степанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...на недеформируемом участке корпуса.Предлагаемая конструкция датчика позволяет реализовать дифференциальный принцип преобразования, функция которого Р 1=(С 2- С 1)/(С 2+ С 1) обеспечивает линейность выходного напряжения от прогиба мембраны при равенстве начальных зазоров между электродами конденсаторов и начальных значений емкостей С 1 и С 2,При колебаниях температуры начальные зазоры между электродами конденсаторов изменяются на одну и ту же величину, что обеспечивает резкое снижение аддитивной температурной погрешности, Однако для этого нужно добиться идентичности функций преобразования обеих половин емкостного чувствительного элемента. Для дифференциального емкостого чувствительного элемента может быть использована...

Номер патента: 1744540

Опубликовано: 30.06.1992

Авторы: Бачурина, Каршаков, Лебедев, Степанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...радиус жесткогоцентра по отношению к радиусу мембраны.Однако при этом емкость рабочего конденсатора уменьшается пропорциональноквадрату радиуса жесткого центра (радиуса .электрода рабочего конденсатора), что резко снижает емкость рабочего конденсатора,а следовательно, и чувствительность датчика к измеряемой величине.Целью изобретения является увеличение чувствительности датчика,Для достижения поставленной целипластина разделена на центральную подвижную и неподвижную периферийную части, соединенные между собой упругимиперемычками, причем центральная подвижная часть пластины жестко скреплена поцентру с мембраной, а электроды рабочегоконденсатора выполнены в виде колец ирасположены соответственно на периферииподвижной части пластины и на...

Номер патента: 1753312

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Семенов, Сивенков, Скопич, Чугунов

МПК: G01L 9/12

Метки: абсолютного, давления, датчик, емкостный

...дополнительный электрод, при этом до вакуумирования опорной камеры диск закрепляют на прикрепленном к упругой опоре штоке. предварительно поджав диск к диэлектрическому основанию, а затем в измерительную камеру подают давление, соответствующее верхнему пределу измерения, и перемещают введенный в датчик и закрепленный в корпусе упор до касания с жестким центром мембраны, после чего подают в измерительную камеру давление, превышающее атмосферное не менее, чем в 1,5 - 2 раза до образования зазора между диэлектрическим основанием и диском, а затем в измерительную камеру подают давление, превышающее в 1,2 - 1,5 раза верхний предел измерения, и отводят упор от мембраны на величину ее рабочего хода.На чертеже показана конструкция...

Номер патента: 1753313

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Акимов, Зиновьев, Шошин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...и внутренним кольцом б. В колпачке 4 с внутренней стороны дна выполнена проточка, образующая жесткий центр 7 и гибкое кольцо 8, а в верхней части колпачка 4 установлен диск 9, в котором размещен штуцер 10, сообщающийся с атмосферой. На планарной поверхности мембраны 2 размещен круглый подвижный электрод 11, а на утолщенном периферийном участке 3 - кольце- образные неподвижные электроды 12 и 10.На планарной внешней поверхности дна колпачка 4 на жестком центре 7 выполнен круглый неподвижный электрод 13 и кольцеобразный электрод 15, на гибком кольце 8 - кольцеобразный подвижный электрод 14, электроды 11 - 15 подсоединены с помощью проводников 18 с токовыводами 16 герморазьема 17.Датчик (фиг.1, 2) работает следующим образом,При подаче...

Номер патента: 1755074

Опубликовано: 15.08.1992

Авторы: Белозубов, Мокров

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...на величину,отличную от изменения размеров втулки,вследствие отличия ТКЛР втулки от ТКЛР 25опорного основания, В результате этого зазор между электродами, а следовательно, иемкость (С 1) дополнительных электродов изменяются в зависимости от температуры.Так как длина втулки выполнена в соответствии с заявляемым соотношением,то изменение емкости дополнительныхэлектродЬв от температуры будет таково,что скомпенсирует идентичное изменениеемкостей г 1 ервой и второй пар от температуры. Таким образом, на выходе усилителя 17формируется выходной сигнал, не зависимый от температуры.Расположение электродов дополнительной пары электродов по периферии 40опорного основания ина дополнительномкольце позволяет выполнить дополнительную емкость...

Номер патента: 1755075

Опубликовано: 15.08.1992

Авторы: Раков, Тимошенко, Хашев

МПК: G01L 13/02, G01L 9/12

Метки: давлений, датчик, разности

...содержит корпус 1, к которому приварены нижние концы цилиндрических трубчатых чувствительныхэлементов 2 и 3, К верхним концам трубчатых элементов приварен кронштейн 4, Верхние отверстия трубчатых элементов загерметизированы с помощью загл шек 5, вваренных в отверстия кронштейна 4. Нижние концы трубчатых элементов загерметизированы с помощью заглушек 6, вваренных в отверстия корпуса 1, Внутренние полости трубчатых элементов 2 и 3 через отверстия 7 и 8 соединены с внутренними полостями штуцеров 9 и 10, которые приварены к корпусу 1015 202530 3540 45 с помощью плавленого стекла закреплены на пластине 16, Пластина 16 через мерные прокладки 17 жестко соединена с двумя стойками корпуса 1, Толщина мерных прокладок 17 рассчитана, исходя...

Номер патента: 1760414

Опубликовано: 07.09.1992

Авторы: Апакин, Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...давления отличается тем. что в него10 элементами на продольной оси корпуса, адругие части всех проводников герметично,20 30 35 введен корпус с двумя параллельным торцовыми поверхностями и осевым центральным отверстием под выводные проводники, при этом основной и дополнительный упругие элементы герметично соединены между собой по периферии, герметична прикреплены к одной из торцовых поверхностей корпуса и расположены симметрична и параллельно аси корпуса, причем три выводных проводника выполнены из адножильнаго кабеля в металлической оболочке, два из них своей частью размещены в кон центричных а гносительно центра мембраны пазах, выполненных зеркально-симметрично в опорных основаниях основного и дополнительного упругих элементов, третий...

Номер патента: 1760415

Опубликовано: 07.09.1992

Авторы: Зиновьев, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...давления 0,5 Ра размер зазоров между электродами, опорной и измерительной емко- атЕй, а СЛЕДОватЕЛЬНО, И ВЕЛИчИНа ОПОРНОЙ и измерительной емкостей равны между собой, и таким образом температурная деформация корпусных деталей приводит к одинаковому изменению величин емкостей,поэтому не вызывает изменения выходного сигнала от температуры,На фиг, 1 изображен емкостный датчик давления, в разрезе; на фиг. 2 - показано сечение А-А на фиг, 1; на фиг. 3 - схематично показан прогиб мембраны от давления; на фиг, 4 - показаны значения погрешностей выходного сигнала в зависимости от величины давления при предельных температурах,Датчик давления содержит корпус 1 из диэлектрического материала, внутренние стенки которого расположены по оси...

Номер патента: 1765733

Опубликовано: 30.09.1992

Авторы: Клюев, Николаиди, Шушпанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, дифференциальный, емкостный

...8, в зазорах между которыми расположены плоские металлические пластины 9 неподвижной части, которые крепятся к стержню 10, Последний через изоляторы 11 жестко крепится к корпусу 1, Выводы от неподвижной и подвижной частей через гермовводы подсоединены к мосту переменного тока, состоящему из трансформатора 12, конденсатора 13 переменной емкости, измерительная диагональ которого подключена к фазочувствительному измерителю 14, а диагональ питания - к генератору 15 переменного тока, В полость 4, где размещен емкостный преобразователь, залита кремнийорганическая жидкость, Для первоначальной тарировки и выставки пластин 8 и 9 Относительно друг друга в состав датчикавключены два устройства выставки, состоящиейз цйлийдрическйх"йружин 16,...

Номер патента: 1765734

Опубликовано: 30.09.1992

Авторы: Бачурина, Лебедев, Степанов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...нелинейность характеристики, обусловленная тем, что подвижный электрод располагается над деформируемым участком мембраны и имеет плоскую поверхность,5 10 15 20 25 Для уменьшения нелинейности характеристики можно использовать квазидифференциальную схему измерения, для чего расположить кольцевые электроды измерительного конденсатора на периферии пластины и на недеформируемом торце корпуса, а электроды опорного конденсатора в центре мембраны и пластины, Однако и в этом случае невозможно полностью исключить нелинейность, так как величина опорной емкости будет зависеть от давления,Целью изобретения является уменьшение погрешности нелинейности,Поставленная цель достигается тем, что емкостный датчик давления, содержащий изготовленную за...

Номер патента: 1767375

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Акимов, Зиновьев, Шошин

МПК: G01L 9/12

Метки: давлений, датчик, разности

...четыре круговых неподвижных 15электрода.На фиг.1 схематично изображен датчикразности давлений; на фиг.2 и 3 - сеченияА - А и Б - Б на фиг.1 (топология размещенияэлектродов). 20Датчик давления включает вакуумированный корпус 1, цилиндрическое основание 2, в котором выполнены полость 3,ограниченная первой измерительной мембраной 4, и полость 5, ограниченная второй 25измерительной мембраной 6. Полость 3имеет доступ к измеряемой среде от магистрали. Полость 5 соединена каналом 7 иизолирована от полости 3 пластиной 8, Напротив мембран 4 и 6 установлен диск 9 с 30зазором, .величина которого задается толщиной кольца 10. На планарной сторонеоснования 2 (на мембранах 4 и 6) черездиэлектрический слой сформированы круговые электроды 11 и 12...

Номер патента: 1770790

Опубликовано: 23.10.1992

Авторы: Жегалин, Зиновьев, Круглов, Русских

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...датчика давления и топология на поДатчик давления включает емкостной преобразователь (ПЕ) 1 и преобразователь емкости в напряжение (ПЕН) 2 в описании не показан). ПЕ 1 включает преобразователь деформации - защемленную мембрану 3 с жестким центром 4 и утолщенным периферийным участком 5, выполненную за одно целое с опорным основанием б, пластину 7, которая крепится к периферийному участку 5 с заданным зазором, величина которого устанавливается за счет уголков 8. На мембране 3 и пластине 7 выполнены в зеркально-симметричном отображении центральные круглые электроды 9, образующие измерительный конденсатор, и кольцеобразные периферийные участки 10, образующие эталонный конденсатор, Кроме того, на мембране 3 установлены два...

Номер патента: 1775627

Опубликовано: 15.11.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...и 15 соответственно. Корпус выполнен из сплава 29 НК-ВИ, оболочки 2 и 8 выполнены из никелевого сплава. Оболочка 7 выполнена из легкого сплава олово-висмут, Диэлектрические кольца из вакуумплотной стеклокерамики СК. Упругие диэлектрические прокладки выполнены из армированного политетрафторэтилена. Диэлектрическое кольцо 16 служит для электрической изоляции корпуса.Способ реализуется следующим образом. Формируют токопроводящие электроды в виде двух сферических оболочек разного диаметра, сопряженных с цилиндрическими оболочками. Формирование проводится известными методами механической обработки, термо- или гальванопластики с последующей сваркой или пайкой. Помещают сферическую оболочку меньшего диаметра внутрь сферической оболочки...

Номер патента: 1778574

Опубликовано: 30.11.1992

Авторы: Котляров, Ольшевская

МПК: G01L 9/12

Метки: давления

...входу устройства сравнения 6 и 7, Кроме того, к второму входу устройства 7 сравнения подключен выход задатчика 10 кода йо, а к второму входу устройства б сравнения, а также к входу индикаторного регистра 8 подключен выход счетчика 7, Выход устройства б сравнения подключен к входу записи индикаторного регистра 8, Выход устройства 7 сравнения соединен с входом разрешения установки счетчика 4.Устройство для измерения давления работает следующим образом.Импульсы с выхода датчика 1 через О- триггер 2 поступают на вход счетчика 4. Триггер 2 предназначен для синхронизацииимпульсов с выхода датчика 1 тактирующими импульсами опорного генератора 3. При этом исключается перенос результата измерения в индикаторный регистр 8 во времяпробега единицы...

Номер патента: 1778575

Опубликовано: 30.11.1992

Авторы: Лукомский, Мельников, Мельникова

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...преобразователя перемещения центра мембраны, На мембране 4 со стороны, обращенной к уступу 5, нанесен . электрод 8 (фиг, 1, 3) емкостного преобразователя. Кварцевый узел охвачен защитным тонкостенным кожухом 9 с отверстием 10 в верхней части, через которое и осуществляется связь кварцевого узла с газовой средой, На плате. 1 со стороны, противоположной креплению кварцевого узла 2, установлены кварцевый резонатор 11 и автогенератор 12, которые подключены к электродам 7 и закрыты жесткой крышкой 13, образующей 1 герметичный обьем. Для снижения отрицательного последствия скачков давления газа через отверстие 10 с внутренней стороны кожуха 9 установлена предохранительная ажурная пластина 14, имеющая перед отверстием 10 сплошную...

Номер патента: 1778576

Опубликовано: 30.11.1992

Авторы: Артемов, Кудряшов, Шеленшкевич, Шульга

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, емкостный

...подложка 1 электростатически соединена состеклянной подложкой 11, на которой находится неподвижный электрод 12 с металлизированным проводником 12 и втораяконтактная площадка 13, которая при соединении должна совпасть с первой контактной площадкой 9 кремниевой подложки 1.При корпусировании ЧЭ емкостногопреобразователя давления может бытьприсоединен со стороны глубокой выемкимембраны непосредственно к корпусу илик стеклянной подложке, имеющей отверстие для соединения с внешней средой,давление которой измеряют, а затем к корпусу, 1778576Кремниевая подложка емкостного пре 0 образовэтеля давления разм "рам 88 мм сосформированными мембраной, локальнымилегированными зонами, подвижным электродом. металлизиравэнным пояском, металлизи...

Номер патента: 1778577

Опубликовано: 30.11.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...нулевого значения мультипликативной температурной погрешности необходимо:Со СоСхр Схрсгде Схр, Схрс - емкость измерительного конденсатора при воздействии измеряемого давления и температуры т, 20 Емкости конденсаторов Схр, Схрс равныКРСхр = Ео (11)Го - Мо Во, В - радиус мембраны при температуре то, т соответственно; Ь, Ь - толщина мембраны при температуре ьо, т соответственно;Ео, Ет - модуль упругости материала мембраны при температуре то, т соответственно,С= (17)ВжцВжц - радиус жесткого центра;до ит - коэффициент Пуассона материала мембраны при температуре то, т, соответственно.Так как величина С является отношением радиусов мембраны и жесткого центра, то термические расширения мембраны и жесткого центра взаимно компенсируются за...

Номер патента: 1779958

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Белозубов, Мокров

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...втулки равен наружному диаметру токопроводящей втулки как для обеспечения максимального значения начальной емкости электродов, так и величины изменения емкостей от измеряемых давлений за счет максимального исключения воздушногот, е, учитывать различное сочетание давлений, воздейстэующих на основную и дополнительную мембраны. Соотношения между размерами элементов конструкции подтверждается следующими соображениями, Из анализа фиг. 4 б, в, видно, что Нв = Н+ Я, так как в случае, если ширина втулки будет больше суммы электрода диэлектрической втулки и промежутка между электродами, то будет не полная модуляция емкости конденсатора С 7 -.д при воздействии ма ксимального превышения давления, воздействующего на основную мембрану, или неполная...

Номер патента: 1783333

Опубликовано: 23.12.1992

Авторы: Марин, Милотаев, Мордовин, Чугунов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...толщин. Каждая сбороч мембраны и дополнительного металлизироная единица преобразователя при данной . ванного слоя, выйолненного на керамичетехнологии имеет в конструктивном плане ском диске чувствительного элемента, свои индивидуальные особенности. Недо- одновременно кОнтролируя положение статок известного способа-прототипа как мембраны относительно базовой поверхнораз и выявляется из индивидуальных осо стикорпусайэлектрическоесопротивление бенностей изготовления сборок. Наличиемежду корпусом и дополнительным метал- определенной размерной цепи и нэбегайиелизированным. слоем на чувствительном допусков в ней практически не позволит элементе, В процессе измерения давления получить между обкладками конденсаторов" начальное значение...

Номер патента: 1783334

Опубликовано: 23.12.1992

Автор: Белозубов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчика, емкостного

...элементу усилием, приложенным к центру пластины, Величина усилия определяется в соответствии с заявляемым соотношением. Жестко закрепляют пластину на упругом элементе, например, при помощи сварки. Причем зоны закрепления выполняют на одинаковом расстоянии от выводных проводников, Прекращают воздействие усилия. Далее приступают к операции вакуумирования, Предварительно целесообразно поместить упругий элемент и пластину в корпус с герметизирующим отверстием, Все предыдущие действия аналогичны действиям при реализации способа по прототипу. По- мещают датчик в установку электронно-лучевой сваки ОЗЛЗВ, создают в камера вакуум 10 Па. Герметизируют датчик, заваривания герметизирующее отверстие электронным лучом, После герметизации....

Номер патента: 1789896

Опубликовано: 23.01.1993

Авторы: Андреев, Кармеев, Кудряшов, Левшина, Раков, Тимошенко, Хашев

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик

...влияния краевых эффектов в емкостном преобразователе, в датчике давления гнездо крышки, в котором установлен неподвикный электрод, перекрыто подвижным электродом измерительного конденсатора, который выполнен с большим диаметром, чем неподвижный электрод.Изобретение поясняется чертежом.Датчик давления содержит корпус 1, сваренный в нижней своей части электронно-лучевой сваркой со штуцером 2, Мембрана 3, имеющая жесткий центр 4 в виде "грибка", выполнена за одно целое с корпусом 1, На "грибке" мембраны с помощью плавленного стекла закреплен дисковый электрод 5 измерительного конденсатора, К центральной части электрода 5 лазерной сваркой приварен жесткий токоподвод 6, На периферййной утолщенной части мембраны плавленным стеклом...

Номер патента: 1789897

Опубликовано: 23.01.1993

Авторы: Белозубов, Мокров

МПК: G01L 9/12

Метки: выходного, давления, датчик, емкостный, сигнала, формирования

...или иной втулке. Для обеспечения минимальности габаритных размеров необходимо, чтобы длина металлической втулки была равна (см. фиг.1). 1 в = =Н 1+ Я+ Н 2, подставляя Н 1= М+ Я, Н 2= М, получим 1 в = 2(М + Я). Если 1 в будет больше 2(М + Я), то неоправданно увеличатся габаритные размеры, а если меньше, то невозможно будет размещение электродов на втулке,На фиг.1 изображен предлагаемый емкостный датчик давления; на фиг,2, 3 - развертки электродов на гибкой диэлектрической основе (соотношения между размерами межэлектродного зазора, толщин электродов и размерами других элементов конструкции для наглядности изменены); на фиг.4, 5 изображены структурная электрическая и эквивалентная схемы предлагаемого устройства формирования выходного...